第四章-各類光學(xué)薄膜設(shè)計-1減反射膜20xx-資料下載頁
2025-07-23 22:19本頁面
【正文】 nt beyond this point is usually done using optimization routines supplied with optical thin film design software. ? Using a Simplex routine in Essential Macleod gives: 42 改善的設(shè)計 43 其它 AR層 ? What if AR coatings are needed to cover broader or multiple bands.（更寬的波段需要低反射？） ? More layers are needed.（需要更多層膜！） ? Refinement is critical.（膜層及膜厚精細(xì)改良很重要） ? An optimization routine which adds and subtracts layers is a great help. ? Consider using the Optimac routine supplied in the Essential Macleod software for: – Visible and 1064 nm dual band AR – Visible and 1550 nm dual band AR 44 Dual Band AR Examples 13 layers 45 0123454 0 0 5 0 0 6 0 0 7 0 0 8 0 0 9 0 0 1 0 0 0 1 1 0 0 1 2 0 0 1 3 0 0 1 4 0 0 1 5 0 0A n t i r e f l e c t i o n c o a t i n g a t 5 3 2 n m amp。 1 0 6 4 n m% ReflectanceW a v e l e n g t h ( n m )G\.25453M\ .06773H\ .0459M\ .10938L\ .05389H \.08113L \.21788F \Air M: H: L: F: 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 46 采用非均勻膜設(shè)計寬帶減反射膜（理論上） 47 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 高折射率基底材料的的減反射膜 在可見區(qū)應(yīng)用的大多數(shù)光學(xué)玻璃，通常在波長大于 3微米以后就不再透明．因此， 在紅外區(qū) 經(jīng)常采用某些特種玻璃和晶體材料特別是半導(dǎo)體材料。 半導(dǎo)體有很高的折射率，例如硅約為 4。 這些半導(dǎo)體基片若不鍍增透膜，就不可能廣泛地使用： 在可見區(qū)，其目的是將大約 4%的反射損失減小到千分之幾，在紅外區(qū) ，則是將 30%左右的反射損失減小為百分之幾直到千分之幾。 一般說在紅外區(qū)百分之幾的損失是允許的，因而低折射率基片通常很少鍍減反膜。紅外材料鍍膜從原理上講同可見是一致的，只不過材料的選擇余地較小。 48 Ge基片上面寬帶減反射膜 49 ? 硅 n= ? 鍺 n=4 ? 碲化鉛 n= ?可用單層硫化鋅、二氧化鈰、一氧化硅有效增透； ?近年來，更多使用高溫氧化物材料氧化釔（ n=） 、氧化鈧（ n=）。 50 紅外寬帶減反膜 ? 多采用 遙減法 設(shè)計： （ 1）膜層的厚度均為 λ0/4； （ 2）各膜層折射率均按照如下規(guī)律排列： nsnknk1…n 0 （ 3）可證明，只要恰當(dāng)?shù)钠ヅ淠拥恼凵渎剩?k層膜就可以在 k個波長位置實現(xiàn)零反射，此時膜層折射率應(yīng)滿足： n1/n0=n2/n1=…=n k/nk1=ns/nk （ 4） k個零反射點(diǎn)的波長分別為： 0 0 0 0 01 1 1 1 1, , , ..., ,2 2( 1 ) 2( 2) 4 2k k k k kk k k? ? ? ? ?? ? ? ? ???謝 謝！ 51
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