【正文】 23 ? 舉例： Glass/M/2H/L/A ? 在 550nm 處， ?Glass: n= ?M: Alq3 n= ?H: ITO n= ?L: n=？ λ0/4λ0/2λ0/4型增透膜 : G/M2HL/A 24 IMPROVED MLAR ON PMMA ? Requires 3 or more layers – 中間層必須是 H halfwave (n=) – 中間層計(jì)算時(shí)可作為 2 quarterwaves – 假設(shè) M層： Alq3 n= – 假設(shè)玻璃基底 n= 22211222. 05 1. 51 851 1. 71 / 1. 51 85 1. 38 772. 05 1. 71nYn ??? ? ? ? ??2 2 2 21 3 3 12 2 2 22 4 2r r srrY ? ? ? ? ?? ? ? ???????????25 Desig n 1: Re flect an ceWavel e ngth (nm)Reflectance (%)350 400 450 500 550 600 650 700 750 800 850 900 950 1000012345678910Glass/M/L/A Glass/M/2H/L/A 26 27 28 29 30 31 32 33 34 多層減反膜設(shè)計(jì)方法 兩類方法： ? 以 G/M2HL/A作為初始膜系，將目標(biāo)設(shè)計(jì)指標(biāo)輸入設(shè)計(jì)軟件，同時(shí)將 膜厚 和 折射率 作為可調(diào)自變量 ，由計(jì)算機(jī)進(jìn)行設(shè)計(jì)；（缺點(diǎn)：常出現(xiàn)現(xiàn)有膜料無法滿足預(yù)定要求） ? 以 G/M2HL/A作為初始膜系，將目標(biāo)設(shè)計(jì)指標(biāo)輸入設(shè)計(jì)軟件，將 折射率固定 ， 膜厚可調(diào) ， 允許 計(jì)算機(jī)在三層結(jié)構(gòu)無法滿足要求時(shí) 增加膜層數(shù) 。 8 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 單層增透膜 單層增透膜是減少界面反射的最簡(jiǎn)單途徑，如右圖用矢量法分析： 2121210101 , nnnnrnnnnr??????從矢量圖上可以看到，合振幅矢量 r隨著 r1和 2之間的夾角 2δ而變化合矢量端點(diǎn)的軌跡為一圓周。 一 .減反射膜（增透膜） ?保護(hù) 作用 ?顏色 質(zhì)量 5 6 薄 膜 光 學(xué) —— 基礎(chǔ)理論 矢量法 對(duì)于 層數(shù)較少 的減反射膜可以 用矢量法作近似計(jì)算 和設(shè)計(jì)，這種方法有兩個(gè)前提： ?膜層沒有吸收； ?在確定多層膜的特性時(shí)只考慮入射波在每 個(gè)界面的單次反射； 7 薄 膜 光 學(xué) —— 基礎(chǔ)理論 矢量法 為了避免在作矢量圖時(shí)方向混亂，我們可以規(guī)定： 1． 矢量的模 r1, r2, r3, r4… ，正值為指向坐標(biāo)原點(diǎn)，負(fù) 值為離開原點(diǎn)。為了克服以上的缺點(diǎn)人們?cè)O(shè)計(jì)出了三層以及多層增透膜。 半導(dǎo)體有很高的折射率，例如硅約為 4。但是它存在著兩個(gè)主要的缺陷，首光對(duì)大多數(shù)應(yīng)用來說 剩余反射還顯得太高 ，此外，從未鍍膜表面反射的光線，在色彩上仍保持中性；而從鍍膜表面反射的光線就不然， 破壞了色的平衡 ． 其結(jié)果是不可能作出良好的色彩還原 ，作為變焦距鏡頭超廣角鏡頭，大相對(duì)孔徑等新型透鏡系統(tǒng)中的鍍層，那更是不能符合要求。例如，大功率激光系統(tǒng)要求某些元件有極低的表面反射，以避免敏感元件受到不需要的反射的破壞，并且對(duì)于薄膜往往有激光閾值的要求。解 (b)的膜層總厚度比解 (a)的小，它對(duì)波長(zhǎng)的敏感性也較小，所以通常取此解。紅外材料鍍膜從原理上講同可見是一致的，只不過材料的選擇余地較小。顯然，當(dāng) n2n3時(shí)，有 Y＞ n3．也就是說，在玻璃基片上先鍍一層高折射率的 λ0／ 4波長(zhǎng)厚的膜層后，假想基片的折射率好象從 n3提高到 Y=n2