薄膜電子學(xué)的應(yīng)用ppt課件-資料下載頁
2025-05-02 12:03本頁面
【正文】 注： SSBW, Surface Skimming Bulk Wave STW, Surface Transverse Wave 注： SAFM, Scanning Acoustic Force Microscopy 注： named after the British scientists who discovered it, Lord Rayleigh. 注： IgG是免疫球蛋白 G(Immunoglobulin G， IgG)的縮寫。根據(jù)結(jié)構(gòu)的不同將免疫球蛋白分為五種， IgG是人的免疫球蛋白之一，其他還有 lgA、 lgM、 IgD和 lgE.。 注： named after the British scientists who discovered it, . Love. FBAR ? Film Bulk Acoustic Resonator 串 聯(lián) F B A R并 聯(lián) F B A R| S2 1|上 阻 帶下 阻 帶通 帶I NO U T串 聯(lián) F B A R并 聯(lián) F B A RAgilent FBAR雙工器實物剖析 ST在 ISSCC 2022上發(fā)布全球第一款集成 FBAR濾波器的 WCDMA接收 IC，采用 GeSi:C BiCMOS工藝， AlN作壓電薄膜 三種主流結(jié)構(gòu)的 FBAR 空氣隙 FBAR的制備工藝 表面微機械工藝，需要 CMP 處理 固態(tài)裝配型 FBAR制備工藝 需要制備多層高低阻抗交替的聲學(xué)層作為布拉格反射層用，且每層厚度需精確控制在四分之一波長 硅反面刻蝕型 FBAR制備工藝 ? ?( ) ( )j k z j k z j tu z A e B e e ????0D D = 0f?? ? ? ?Tu?? ? ?Linear Momentum Gauss39。 Law in Piezoelectric Electromechanical Constitutive Eqs. Wave Equation 233 33 33zzuuT c ez z t z???? ?? ? ?? ? ? ?3 3 3 3 3zuDezz?? ??? ? ???0 z air air Φ x OneDimensional FBAR Model Stress and displacement continuous at the boundaries between layers Zero stress on free surfaces Pt AlN Al PM film reflected incident FBAR Impedance from Cascaded ABCD Matrices 12VVABIICD? ? ? ????? ? ? ?????? ? ? ?Stress = Voltage Velocity = Current MBVD model Equivalent Circuit of FBAR Co Rx Lx Cx ZL Unloaded FBAR Loading by Al, Pt, and film ? ?1oxCC? ??effL?1oC??fs fp D e v ic e 1 31 + j0 1 + j00 j10 + j10 + j0Between fs and fp the crystal is inductive with Lx ideally varying from 0 to ? FBAR傳感器原理 AlN Au 敏感薄膜 mCAmff fq ??????? )(/2 ??原理： 1. FBAR表面微小的質(zhì)量變化 ?微小的頻率變化 2. 敏感薄膜對特定的待檢測物具有選擇性 Au FBAR的傳感器的結(jié)構(gòu) 電子鼻 NN用來檢測甲醛、甲苯等有害氣體 如：用 TiO2做敏感膜檢測甲苯； 用聚丙烯酰胺做敏感膜檢測甲醛等 傳感器陣列 Frequency generator amp。 counter An odor source with the known activity of ponents Sensor array with different receptors 05101234567A response diagram of sensor array 可一次檢測多種不同的氣體 壓電傳感器產(chǎn)品 ? NDK（日本電波株式會社） – 30 MHz 免疫感應(yīng)系統(tǒng) QCM(基于石英的壓電傳感器 )雙感應(yīng)器 質(zhì)量傳感器 ——膜厚監(jiān)控 ? 主要廠商： Inficon 生物傳感器 ——科學(xué)分析儀器 ? 主要廠商： Qsense Au sensor Metals, oxides SiO2, Al2O3, Ti, Pt, Ag, W, Cu, Cr, Ir, Ta, FeC3, TaN, CeO2, Fe, Zn, ZnO2, Fe2O3, ZnS, FeS, Stainless steel, ..., and custom made Polymers PS, PC, PMMA, PTFE, PE, PP Users can coat with own polymers Hydroxyapatite nanocrystalline, RMS ~2 nm
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