微電子學概論chappt課件-資料下載頁
2025-05-04 22:34本頁面
【正文】 ：比沖75～ 125s， 推力 ， 功率 5W， 效率≥50%， 質量為幾克 ，大小為 1cm2。 微推進器 美國噴氣推進實驗室 (JPL)展示的采用 MEMS技術的電阻電熱式微推進器樣機 (固體升華方式 )。 微推進器由推進劑出貯箱 、微閥 、 微過濾器 、 微型噴口等組成 ， 微型噴口利用 MEMS技術中的體硅工藝制作 。 其性能目標為：比沖 50～ 75s， 推力， 功率 2W/mN， 質量為幾克 ， 大小為 1cm2。 微推進器 美國 TRW公司 、 航空航天公司和加州理工學院（ CIT） 組成的研究小組提出了一個 “ 數(shù)字推進概念 ” 方案 。 硅片上有集成電路來開啟和控制每個微推進器 。 整個推進系統(tǒng)還可充當衛(wèi)星的散熱器 ， 以進一步減小衛(wèi)星的有效載荷 。 制作方法可以用目前已成熟的 MEMS及 LIGA技術 。 圖為他們于 99年初發(fā)表了 3 5陣列的電阻電熱式微推進器樣機 。 微推進器 新概念的微型雙組元火箭發(fā)動機結構圖 ? 組成 : 由 5到 6片芯片疊在一起，內有混合燃燒室、噴口噴管、兩個泵和兩個閥以及冷卻管道的 多器件集成系統(tǒng)。用液態(tài)氧和乙醇作燃料 ? 性能：能產(chǎn)生 15N的推力，推力重量比達 1500:1， 是大火箭推進器的 10~100倍，反映了微系統(tǒng)的潛力 微推進器 結 束 語 ?MEMS技術及其產(chǎn)品的增長速度非常之高，并且目前正處在加速發(fā)展時期 MEMS技術 MEMS技術 一般意義上的系統(tǒng)集成芯片 廣義上的系統(tǒng)集成芯片 電 、 光 、聲 、 熱 、磁力等外界信號的采集 — 各種傳感器 執(zhí)行器、顯示器等 信息輸入與模 / 數(shù)傳輸 信息處理 信息輸出與數(shù) / 模轉換 信息存儲 作 業(yè) MEMS工藝與微電 子工 藝技術有哪些區(qū)別 。 列舉幾種你所知道的 MEMS器件 ， 并簡述其 用途 。
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