拉晶工藝及操作規(guī)程(2)-資料下載頁
2025-01-10 12:40本頁面
【正文】 底，造成漏硅事故。 ? e) 回熔完成后進行常規(guī)作業(yè)，并做好相關(guān)記錄。 收尾 ? 當堝底余料少于投料量的 10％時（可根據(jù)晶體長度判斷，即： 55kg投料時，按直徑 154mm計算，晶體長度1150mm，其他投料重復類推，按直徑 154mm計算，每公斤長度 23mm，或者根據(jù)堝位判斷），可開始收尾。對于手動收尾，收尾前將自動等徑退出，堝升停止，但控溫部分的溫校速率可以保留；對于自動收尾，到達設(shè)定長度后自動進入收尾程序，需關(guān)閉堝跟，并在速度系統(tǒng)中將堝升速度清零、關(guān)閉堝升電源，計算機將按設(shè)定的收尾曲線自動收尾。收尾過程的開始階段不能過大提高拉速或者大幅提高溫度。 ? 收尾過程中應(yīng)時刻注意爐內(nèi)情況，適當調(diào)整拉速或者溫校參數(shù)。 停爐 ? 當堝內(nèi)出現(xiàn)結(jié)晶或收完尾后，若處于自動狀態(tài)需退出自動，降低堝位約 50mm左右 ,使晶體脫離液面。分步降低加熱功率到零，關(guān)閉加熱電源，停堝轉(zhuǎn)，慢慢降晶轉(zhuǎn)到零。 ? 將計算機內(nèi)以下參數(shù)復位： a)晶升速度歸零。 b)控溫單元退出自動。 c) 分次降加熱功率至 0。 ? 停爐冷卻時間為 4至 5小時，冷卻期間不停泵和氬氣，以加快冷卻，或者停爐后兩小時停氬氣和泵，自然冷卻 6小時后拆爐。停爐后一定要保證供水正常。在拆爐前半小時要抽空到極限，進行檢漏，將真空度及檢漏數(shù)據(jù)記錄下來。 ? 如果應(yīng)該換泵油或清洗機械泵、清洗真空管道等，則停加熱 2小時后，停氣、抽空、檢漏，記錄真空度及檢漏數(shù)據(jù)。然后開始換油或清洗。在換油、清洗過程中，要注意與換油人員的配合，嚴防誤開泵造成人身傷害。 熱場煅燒 ? 舊系統(tǒng)煅燒頻率 每兩個大清周期 (每隔 12爐 )進行一次煅燒，在爐子間隔 4天以上沒有使用并且真空度已經(jīng)不好的時候進行一次煅燒 .煅燒時間 :4~8h。 ? 煅燒要求 在爐子真空達到要求后 ,舊系統(tǒng)、爐子 6Pa一下 (新系統(tǒng)、爐子12Pa以下 )充氬氣，爐壓控制在 1300Pa~1600Pa，堝位放在平口位置，晶轉(zhuǎn)給 5rpm,堝轉(zhuǎn)給 1~2rpm,開始升溫。過程要求嚴格控制慢升溫 ,具體煅燒程序如下 : 第一次煅燒 分兩次 (間隔 2分鐘以上 )加功率到 30KW左右 ,恒溫舊系統(tǒng)半小時 (新系統(tǒng) 1小 時 ),檢查是否有火花以及漏電；如果電流表和電壓表同時搬動就要降低氬氣流量直到現(xiàn)象消除； 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 45KW左右 , 舊系統(tǒng)恒溫半小時 (新系統(tǒng) 1小時 )。 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 60KW左右 , 舊系統(tǒng)恒溫半小時 (新系統(tǒng) 1小時 )。 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 75KW左右 ,恒溫 1小時 。 分兩次 (間隔 2分鐘以上 ),加功率到 85KW左右 ,恒溫 2小時 。 關(guān)氬氣 ,抽真空 ,觀察真空情況 ,繼續(xù)高溫煅燒到真空 13Pa(新系統(tǒng) 16 Pa)以下，分多次降低功率到零 ,關(guān)閉加熱電源。 注 :加熱過程中要注意觀察 ,如果電流表和電壓表同時擺動 ,就要降低加熱功率和氬氣流量直到現(xiàn)象消失 30分鐘后再重新升溫。 對于新熱場、爐子根據(jù)上次煅燒情況，進行第二次或第三次煅燒。 第二次煅燒 加熱過程和第一次相同，在最后加功率到 90 KW,恒溫 4小時。關(guān)氬氣后 ,繼續(xù)煅燒到高溫真空 13 Pa以下時降溫。 第三次及以上煅燒 加熱過程第一次一樣 ,再最后加功率到 90KW,恒溫 1小時 .關(guān)氬氣后 ,繼續(xù)煅燒到高溫真空 13 Pa以下時降溫。 連接部位的檢查 1. 對于新裝的熱場 ,在開始的一段時間 (約 10爐以內(nèi) ),每爐檢查以下部位的連接情況 : 2. 電極螺絲 ,容易發(fā)生松動 ,導致打火。因此 ,對于已松動的 ,必須擰緊 。 對于沒松動的要先擰松再擰緊 ,以防粘結(jié)。擰緊的尺度是 :盡量的緊。 3. 下軸與托桿的連接螺栓 ,容易燒結(jié)在一起。因此 ,每爐都要先擰松 ,再擰緊 ,以防燒結(jié)粘死。擰緊的尺度是適可而止。 。因此每爐都要先擰松再擰緊。擰緊的尺度是：先擰緊后再退后 1/3~1/2圈。 5. 新裝加熱器時 ,加熱器與石墨電極之間墊碳紙。每次拆爐都要抬起加熱器，松動與石墨電極之間的連接 ,以防粘連。使用一月之后，以上四項檢查可以降低頻率到每次大清的時候檢查一次。
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