拉晶工藝及操作規(guī)程(2)-文庫(kù)吧
2024-12-26 12:40 本頁(yè)面
【正文】 ? c)確認(rèn)石墨堝托及三瓣堝是否完好可用。 ? d)托桿與石墨堝托、石墨堝托與三瓣堝托之間的接口連接必須吻合良好，作到旋轉(zhuǎn)、滑動(dòng)自如。 裝料 ? 檢查所備原料及母合金是否與隨工單相符，觀察包裝有無(wú)破損現(xiàn)象，區(qū)分原料的大小、破碎程度，如原料不符合要求（如：料未清洗）應(yīng)及時(shí)更換；按要求穿戴好勞保用品。 ? 檢查石英坩堝無(wú)問題（破損、裂紋、氣泡、黑點(diǎn)、色澤）后，將坩堝放入三瓣石墨堝內(nèi)，盡量裝水平。裝坩堝時(shí)要防止將坩堝外壁的石英渣子帶入堝內(nèi)。 ? 裝完坩堝，須另?yè)Q裝料用的手套后，才能開始裝料，佩戴一次性手套后，不允許接觸原料以外的東西，否則更換手套。在裝料過程中應(yīng)檢查硅料中是否有夾雜異物，表面是否氧化，有無(wú)水跡等。 ? 裝料的原則，從縱向來說，小塊的料放在坩堝底部；最大塊的料放中部，中等大小的料放在最上邊；從徑向來說，大塊的放在周圍，小塊的放在中心。必要時(shí)要把大塊的料敲小，盡量利用好堝內(nèi)空間，否則到最后可能料裝不下。 ? 中下部的料可以裝得緊湊些并且貼近堝壁，但應(yīng)該是自然堆砌，而不是硬擠。上部的料塊，仍可輕輕靠在堝壁上，但應(yīng)該注意四點(diǎn)： a)減少料塊與堝邊的接觸面積，以防止掛邊； b)在料塊的相對(duì)位置方面，要預(yù)估料塊在垮料后，是否會(huì)架橋，然后進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整； c)裝最上面部分時(shí)，小塊的料不要靠在堝壁上（掛上后難以被烤下）； d)不論是上、中、下哪個(gè)部位，料塊尖銳部位不能直接對(duì)著坩堝壁。 ? 裝完料后，用洗塵器吸干凈石英堝、石墨堝、加熱器上沿，頂層炭氈上的料渣，給定堝轉(zhuǎn) 2rpm，檢查堝轉(zhuǎn)動(dòng)是否平、是否晃動(dòng)，要求堝擺動(dòng)在 2mm范圍內(nèi)，快速降坩堝到化料位置，注意不要超過下限即最低堝位 （此處指熱場(chǎng)裝配時(shí)確定的安全下限，每套熱系統(tǒng)剛使用時(shí)都要確定最低堝位，并明確標(biāo)記在此爐記錄本上。確定最低堝位的方法：在裝爐過程中，對(duì)好平口后，取出三瓣石墨坩堝，降堝位直到堝托距離石墨電極 20mm距離時(shí)的堝位值。） ，防止造成短路。 ? 堝位降到位后停止堝轉(zhuǎn)，安裝下保溫蓋及導(dǎo)流筒，安裝時(shí)要戴上薄膜手套，以防手沾污多晶料，并且要避免導(dǎo)流筒與多晶料接觸。 ? 檢查無(wú)誤后，擦拭干凈主爐室、副爐室密封面，合上爐蓋，確認(rèn)籽晶的型號(hào)和質(zhì)量，檢查籽晶是否裝好。籽晶夾頭裝到重錘上時(shí)不能擰得過緊，正確操作為：擰緊后再擰回 1/3到1/2圈。整個(gè)拆裝爐、裝料過程中，籽晶不能有任何磕碰、損傷，對(duì)是否損傷有疑問時(shí)，應(yīng)更換新籽晶。打開小副室門，用沾有酒精的棉布或毛巾擦拭干凈翻板閥的密封圈及翻板閥內(nèi)部，關(guān)上翻板閥。停穩(wěn)籽晶后，打開翻板閥，關(guān)好小副室門，準(zhǔn)備抽空。 ? 按要求做好記錄。 抽空 ? 直拉單晶硅是在減壓狀態(tài)下進(jìn)行單晶生長(zhǎng)的，所謂減壓就是將氬氣從副室上端通入，同時(shí)機(jī)械泵從主室下部排出，使?fàn)t內(nèi)壓力保持在 1200～ 1600Pa左右。 ? 檢查熱藕錐的信號(hào)線，檢查觀察窗口，如影響觀察則清洗干凈，并裝好。 ? 檢查通水情況正常后，才能啟動(dòng)主室泵。循環(huán)水壓力 ～。 ? 啟動(dòng)泵時(shí)，需點(diǎn)動(dòng)兩、三次后，再開泵。真空閥必須慢慢打開一半（ 50），保持約 1分鐘左右后，再完全打開（ 100）。不經(jīng)點(diǎn)動(dòng)直接開泵和過快地打開球閥都是錯(cuò)誤地操作方法。爐內(nèi)真空度在連續(xù)抽空 30分鐘應(yīng)達(dá)到 。當(dāng)真空抽不下去時(shí)，可以開啟氬氣閥門向爐內(nèi)通入氬氣，保持 3～ 5分鐘后關(guān)閉氬氣，繼續(xù)抽真空，若在充氬氣三次后，真空還是抽不下去，要與維修聯(lián)系檢修。 ? 按要求做好記錄。 充氬氣 ? 真空度低于 ,方可打開氬氣閥，打開副室氬氣閥門 V2使?fàn)t內(nèi)壓強(qiáng)保持在 1200～ 1600Pa之間。 ? 通氬氣的壓力及流量為 ，當(dāng)爐壓達(dá)到規(guī)定要求后，準(zhǔn)備加熱。 ? 按要求做好記錄。 化料 ? 化料功率的選擇 打開加熱開關(guān)，用一個(gè)小時(shí)的時(shí)間，均勻的分四次將功率加到最高功率 85～ 90kw，具體操作：調(diào)節(jié)加熱功率值，一般為 50、 70、 85左右。在料全部熔完之前，還剩余少量小料塊時(shí)，應(yīng)適當(dāng)降低功率，以防止跳料。升溫過程一定按照上述過程，加熱速度不宜太快，否則易造成石英坩堝炸裂。 ? 堝轉(zhuǎn)的啟動(dòng)、停止 塌料后根據(jù)情況給坩堝轉(zhuǎn)速 1～ 2 r/min，以使坩堝均勻受熱。 ? 堝位升降的把握 一旦塌料之后，應(yīng)該馬上將坩堝升上來。以后隨著料的逐漸垮下，應(yīng)該逐漸升高
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