拉晶工藝及操作規(guī)程(2)(已修改)
2025-01-22 12:40 本頁(yè)面
【正文】 拉晶工藝及操作規(guī)程 陜西西京電子科技有限公司 一、拉晶工藝流程圖 配料 煅燒 拆、清爐 裝料 抽真空 充氬氣 化料 引晶 縮頸 放肩 轉(zhuǎn)肩 等徑 收尾 停爐 庫(kù)房 檢驗(yàn) 晶棒 說(shuō)明： a)單晶制造工藝流程為方塊標(biāo)注環(huán)形部分，即由配料工序開(kāi)始，至晶棒終止； b)配料工序的入口為庫(kù)房管理部門； c)晶棒工序的出口為檢驗(yàn)； d)在本工藝流程中，如果拉晶為連續(xù)工作時(shí)，在停爐到清爐完后 , 從裝料重新開(kāi)始，如在按要求開(kāi)爐次數(shù)后或長(zhǎng)時(shí)間沒(méi)有開(kāi)爐時(shí)，要從煅燒開(kāi)始； e)在本工藝流程中，如果放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑過(guò)程中掉苞，根據(jù)工藝要求回熔或者取出。 二、具體操作規(guī)程 、清爐 ?拆清爐的目的是為了取出晶體，清除爐膛內(nèi)的揮發(fā)物及雜質(zhì)，清除石墨件上的附著物、石英碎片等雜質(zhì)。 ?在拆清爐過(guò)程中必須穿戴好勞保防護(hù)用品（換工作服，戴好口罩、手套），認(rèn)真閱讀拉晶記錄，了解上爐設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)情況。 取出晶體 ? 在連續(xù)生產(chǎn)的情況下，確定停加熱 5小時(shí)后，才能拆爐；拆爐時(shí)充氣到正壓后，打開(kāi)副室門，快速提升晶體。如果晶體完全提升到副爐筒內(nèi)，則閉合翻板閥 ,升起副爐筒，用托盤防護(hù)后，將副爐筒轉(zhuǎn)出；如果晶體不能完全提升到副爐筒內(nèi)，則需在喉口墊厚木板加以防護(hù)，然后才能升起副室及爐蓋，連晶體一起轉(zhuǎn)出；轉(zhuǎn)出時(shí)注意推動(dòng)的速度要均勻，以防止晶體撞到爐體 。 ? 擺放好取晶框后，快速降下晶體，嚴(yán)禁使晶體接觸到取晶框（會(huì)導(dǎo)致上軸鋼絲繩因跳槽而損壞），剪斷細(xì)頸后逐步釋放重錘，控制好重錘的旋轉(zhuǎn)和晃動(dòng)，防止鋼絲繩跳槽或籽晶磕碰損傷，此過(guò)程中注意個(gè)人安全防護(hù)。將取出的晶棒放置到規(guī)定地方冷卻。 檢查鋼絲繩、籽晶、取出熱系統(tǒng)部件 ? 檢查鋼絲繩是否完好可用，若有變硬、毛刺或其它損壞情況，則應(yīng)請(qǐng)維修人員去除老化、損壞部分，或更換新籽晶。 ? 戴好高溫隔熱手套，按順序取出導(dǎo)流筒、保溫蓋冷卻；用手或鉗子夾住石英鍋的上端部分提起取出，將石英鍋整體提出并取出爐內(nèi)廢石英、堝底料標(biāo)記后放在指定位置，不要讓殘骸和碎料掉入爐內(nèi)，取出的堝底料不能接觸到石墨。然后將三瓣石墨堝、石墨堝托取出冷卻。最后再將主室爐筒升到最高位，旋轉(zhuǎn)出來(lái)（垂直方向上要離開(kāi)熱系統(tǒng)）固定穩(wěn)定。必要時(shí)，取出保溫筒，加熱器以及電極護(hù)套爐底部件等。 清爐過(guò)程 ? 待取出的石墨件自然冷卻后 ,進(jìn)行徹底清理。石墨件的附著物用砂紙打磨后，用刷子和吸塵器對(duì)石墨件作整個(gè)吸塵，用棉布或毛巾擦拭直至干凈。 清掃干凈的標(biāo)準(zhǔn)是：導(dǎo)流筒、上下保溫蓋、保溫筒、三瓣堝、石墨堝托等，必須打掃到全部露出石墨的本色，特別是不能留有黃色的揮發(fā)物。 ? 將爐子內(nèi)壁、爐蓋、主爐筒、小副室、副爐筒、兩個(gè)抽氣口、觀察窗、依爾根信號(hào)孔及其防護(hù)玻璃清理干凈。先用吸塵器把爐內(nèi)的揮發(fā)物等吸凈，再用沾有酒精的棉布或毛巾徹底擦拭，不能留有任何揮發(fā)物。 ? 拆開(kāi)防爆閥上的擋板，清理管道內(nèi)的揮發(fā)物；打開(kāi)除塵罐，清理罐內(nèi)以及除塵網(wǎng)上的揮發(fā)物；清理完成后，安裝時(shí)應(yīng)檢查密封圈，注意將密封處擦干凈，如發(fā)現(xiàn)密封圈有損壞時(shí)應(yīng)及時(shí)更換。 ? 在進(jìn)行以上清理時(shí)，必要時(shí)可以使用細(xì)砂紙打磨（石墨器件除外）。凡是用砂紙打磨過(guò)的地方，最后必須用酒精擦拭干凈，損壞嚴(yán)重的石墨件要及時(shí)更換。 安裝熱系統(tǒng) ? 將清理過(guò)的石墨熱系統(tǒng)各部件按 “ 爐底碳?xì)?” 、 “ 爐底護(hù)盤 ” 、“ 下保溫筒 ” 、 “ 排氣口護(hù)套 ” 、 “ 坩堝護(hù)套 ” 、 “ 電極護(hù)套 ” 、“ 石墨電極 ” 、 “ 石墨加熱器 ” 、 “ 石墨螺絲 ” 的順序安裝。注意在 “ 石墨電極與爐體電極、加熱器與石墨電極以及加熱器與石墨螺絲接觸面處加一層完整無(wú)損的碳箔；然后按順序安裝 “ 中、上保溫筒 ” 、 “ 石墨托桿 ” 、 “ 石墨堝托 ” 以及 “ 三瓣堝 ” 。 ? 將熱藕錐取光孔與保溫筒上預(yù)留口對(duì)正。 ? 除上、下保溫蓋、導(dǎo)流筒以外的所有石墨件安裝完畢后，互相對(duì)中（偏差在 2mm之內(nèi)）。堝位對(duì)平口后，檢查堝位是否為 “ 0”。若不是，設(shè)定堝位值為 “ 0”，設(shè)定好后如無(wú)特殊情況，任何時(shí)候不允許隨意設(shè)定、更改堝位。 給定堝轉(zhuǎn) 2rpm，檢查平口、堝轉(zhuǎn)動(dòng)是否平穩(wěn)、是否晃動(dòng)，要求堝擺動(dòng)在 2mm范圍內(nèi)。往回裝石墨件時(shí)，進(jìn)行如下檢查，并調(diào)整正常。 ? a)加熱器石墨螺釘是否緊固，之間的碳紙是否完好。 ? b)托桿與下軸連接是否穩(wěn)固、對(duì)中。
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