freepeople性欧美熟妇, 色戒完整版无删减158分钟hd, 无码精品国产vα在线观看DVD, 丰满少妇伦精品无码专区在线观看,艾栗栗与纹身男宾馆3p50分钟,国产AV片在线观看,黑人与美女高潮,18岁女RAPPERDISSSUBS,国产手机在机看影片

正文內(nèi)容

薄膜的物理氣相沉積ⅱ-濺射法及其他p(1)-資料下載頁

2025-01-07 07:53本頁面
  

【正文】 更高的動能和遷移能力) 薄膜的物理氣相沉積 73 Ar O N CH4 薄膜的物理氣相沉積 74 其他形式: 空心陰極離子鍍 HCD 真空陰極電弧離子鍍 VAD及多弧離子鍍 磁過濾式真空陰極電弧離子鍍 FCVAD 主要應用領域:鋼及其他金屬材料的硬質涂層,比如各種工具耐磨涂層中廣泛使用的 TiN、 CrN等。 薄膜的物理氣相沉積 75 PVD三種基本鍍膜方法比較 薄膜的物理氣相沉積 76 Back 薄膜的物理氣相沉積 77 反應蒸發(fā)沉積 Back 反應蒸發(fā)沉積:使金屬蒸氣通過活性氣氛等離子體區(qū)后,沉積并反應生成相應的化合物。 應用領域:各種氧化物、碳化物、氮化物硬質涂層的沉積。 薄膜的物理氣相沉積 78 離子束輔助沉積 偏壓濺射:離子對于襯底表面的轟擊可以有效地改善薄膜的組織與性能,但入射離子的方向、能量、密度等條件很難得到綜合優(yōu)化。 —— 使用單獨離子源轟擊襯底表面 薄膜的物理氣相沉積 79 優(yōu)點:高速蒸發(fā)沉積 +偏壓濺射離子轟擊, 離子束的能量、方向可調 雙離子束: ?濺射靶材 ?轟擊襯底 控制薄膜沉積速率 控制離子流 離子源: ?考夫曼( Kaufman)離子源 ?霍爾( Hall)效應離子源 薄膜的物理氣相沉積 80 優(yōu)點: 可以提供高強度、能量可變、能量一致性好、方向發(fā)散角度小的離子束;背底真空度較高。 薄膜的物理氣相沉積 81 優(yōu)點: 結構簡單,工作可靠,特別適合于輸出較大束流強度的低能離子束。 缺點: 離子束具有一定的能量分布和角度分散;熱陰極的工作狀態(tài)會收到系統(tǒng)氣壓的限制。 薄膜的物理氣相沉積 82 Back 薄膜的物理氣相沉積 83 離化團束沉積 工作原理:離化原子團在電場的加速下沉積在襯底上。在與襯底接觸的瞬間,原子團發(fā)生破裂,原子分散開來并沉積在襯底表面。 —— 利用具有一定能量的離化原子團 Knudsen源 薄膜的物理氣相沉積 84 薄膜的物理氣相沉積 85 離化團束沉積將蒸發(fā)的高真空度與濺射的適當范圍能量的離子轟擊相結合,有如下 特點 : (1)原子團高速沖擊襯底將造成襯底局部溫度升高; (2)原子表面擴散能力強; (3)創(chuàng)造活化的形核位臵; (4)促進各個薄膜核心連成一片,成膜性好; (5)高能量原子團的轟擊具有濺射清潔襯底表面和離子淺注入作用; (6)促進襯底表面發(fā)生各種化學反應; (7)沉積速率高。 薄膜的物理氣相沉積 86 利用離化團束技術可以沉積各種材料,其 突出的特點 包括薄膜與襯底之間有良好的附著力,過程具有高真空度和高潔凈度,薄膜表面平整,抑制薄膜的柱狀晶生長傾向,可實現(xiàn)低溫沉積,可控制薄膜結構,甚至可實現(xiàn)單晶外延等。 Back 薄膜的物理氣相沉積 87 等離子體浸沒式離子沉積 工作原理:將欲被沉積薄膜的工件 浸沒 在均勻的 低壓 等離子體中,并且在工件上施加頻率為數(shù)百赫茲,數(shù)千伏的高壓負脈沖。在高壓負脈沖作用下,工件外表面處等離子體鞘層中的離子被迅速加速,并在獲得相應的能量之后沉積在工件的表面。 薄膜的物理氣相沉積 88 等離子體的產(chǎn)生方式: ?直流輝光放電,射頻輝光放電,微波激勵輝光放電 ( O CH N 金屬鹵化物、金屬羥基化合物等) ?磁控濺射輝光放電,真空陰極電弧放電 (各種固態(tài)物質蒸汽) 薄膜的物理氣相沉積 89 優(yōu)點: ( 1)設備相對簡單,適合大型復雜外形零件的薄膜沉積; ( 2)可完成多組元的同時沉積,對薄膜成分的控制能力強; ( 3)沉積離子的能量較高,有利于提高薄膜的致密性和附著力; ( 4)沉積溫度較低。 缺點:能夠沉積的薄膜種類有限。 (類金剛石薄膜, TiN、 AlN、 SiC、 TiOx等 ) 薄膜的物理氣相沉積 90 等離子體浸沒式離子注入 特點 :對離子注入沒有方向性的限制,適用于 對復雜形狀表面,甚至是深度較大的溝槽、深孔內(nèi)表面的離子注入。 應用 :金屬及其他材料的表面強化、半導體材料的表面摻雜等。 Back 薄膜的物理氣相沉積 91 本章小結 1. 濺射、濺射法及其特點 2. 輝光放電原理、過程 3. 等離子體鞘層及其電位分布 4. 濺射產(chǎn)額及影響因素、濺射閾值 5. 濺射沉積裝臵 (直流濺射,射頻濺射,磁控濺射) 6. 離子鍍,反應蒸發(fā)沉積,離子束輔助沉積
點擊復制文檔內(nèi)容
教學教案相關推薦
文庫吧 www.dybbs8.com
備案圖鄂ICP備17016276號-1