薄膜材料物理--第二章薄膜的力學(xué)性質(zhì)(1)-資料下載頁
2025-01-08 12:31本頁面
【正文】 層 壓 應(yīng) 力 、 本 征 應(yīng) 力 5 . 0 1 0第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ????????使 薄 膜 處 于 壓 應(yīng) 力 狀 態(tài) — 選 基 片 材 料 ；1 、 基 片 情 況 基 片 表 面 晶 格 結(jié) 構(gòu) 須 與 薄 膜 相 匹 配 ；基 片 溫 度 （ 淀 積 時(shí) ） 對 內(nèi) 應(yīng) 力 影 響 大 。2 、 淀 積 基 片 溫 度 吸 附 原 子 在 基 片 表 面 的 遷 移 能 力 決 定 薄 膜 的 結(jié) 構(gòu) 、 成 份 、 晶 粒 尺 寸 、 晶 面 取 向 以 及 各 種 缺 陷 的 工 藝 對 內(nèi) 應(yīng) 力 的 影 響 — 基 片 情 況 ， 淀 積 過 程 ， 薄 膜 本 身 。 數(shù) 量 和 分 布 。第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ?????????? ? ? ? ?????3 、 淀 積 過 程 對 薄 膜 內(nèi) 應(yīng) 力 的 影 響 影 響 因 素 ： 淀 積 方 式 、 熱 源 溫 度 、 淀 積 速 率 、 入 射 角 度 和 環(huán) 境 氣 氛 。濺 射 鍍 膜 濺 射 氣 體 進(jìn) 入 膜 內(nèi)（ 1 ） 淀 積 方 式 本 征 應(yīng) 力 增 大 蒸 發(fā) 鍍 膜 慢 蒸 本 征 應(yīng) 力 小淀 積 速 率 晶 粒 平 均 尺 寸 內(nèi) 應(yīng) 力 大（ 2 ）例 外 ： 有 例 外 具 體 情 況 具 體 分 析第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ????????????（ 3 ） 環(huán) 境 氣 氛 可 直 接 進(jìn) 入 結(jié) 構(gòu) 不 夠 緊 密 的 薄 膜 中 ， 從 而 產(chǎn) 生 壓 應(yīng) 力 。 若 薄 膜 中 的 殘 余 氣 體 再 跑 出 來 ， 在 薄 膜 中 留 下 空 位 和 空 位 團(tuán) ， 從 而 出 現(xiàn) 張 應(yīng) 力 。高 氧 氣 壓 下 靶 表 面 氧 化 濺 射 氧 化 膜 張 應(yīng) 力 鉭 膜 ：低 氧 氣 壓 下 在 基 片 上 發(fā) 生 氧 化 壓 應(yīng) 力第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 1 0 91 0 84 1 0 1 5 0 0 0 .0 1 1 04 1 0 1 5 0 0 5 1 0mmmG G TG T C GG T C??????? ? ? ? ???? ? ? ??? 大小薄 膜 材 料 本 身 與 內(nèi) 應(yīng) 力 的 關(guān) 系 ：與 原 材 料 的 切 變 模 量 、 熔 點(diǎn) 量 、 熔 點(diǎn) 之 間 有 某 種 關(guān) 系硬 的 （ Pa ） 、 難 熔 （ ） Pa軟 的 （ Pa ） 、 易 熔 （ ） Pa 鈦 薄 膜 的 微 分 應(yīng) 力 ： 經(jīng) 最 大 值 后 ， 下 降 到 性 質(zhì) 相 反 的 應(yīng) 力 （ 例 如 從 張 應(yīng) 力 變 到 壓 應(yīng) 力 或 相 反 ） 薄 膜 應(yīng) 力 隨 厚 度 有 變 化 應(yīng) 選 用 合 適 的 厚 度 ， 附 著 力第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ??? 生 長 應(yīng) 力 與 薄 膜 厚 度 無 關(guān) ； 薄 膜 的 內(nèi) 應(yīng) 力 與 它 在 空 氣 中 暴 露 的 時(shí) 間 有 密 切 的 關(guān) 系 ， 往 往 從張 應(yīng) 力 變 為 壓 應(yīng) 力 。 因 為 在 疏 松 的 薄 膜 中 ， 大 量 吸 附 空 氣 中 的 水分 和 氧 而 造 成 的 。 薄 膜 中 的 各 種 缺 陷 是 產(chǎn) 生 本 征 應(yīng) 力 的 主 要 原 因 。 但 這 些 缺 陷一 般 都 是 非 平 衡 缺 陷 ， 故 有 自 引 消 失 的 傾 向 ， 即 自 然 給 予 活 化 能會(huì) 消 失 薄 膜 內(nèi) 應(yīng) 力 薄 膜 中 存 在 兩 種 應(yīng) 力 ： 界 面 應(yīng) 力 和 生 長 應(yīng) 力 。第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ????????????????????? ? ? ? ????低 溫 退 火 — 晶 格 振 動(dòng) 相 互 交 換 能 畸 變 位 置 的 原 子 恢 復(fù) 正 常 中 溫 退 火 — 原 子 活 化 能 大 與 空 位 、 填 隙 原 子 、 位 錯(cuò) 復(fù) 合 或 者 移 到 表 面 和 晶 界 面 而 消 失高 溫 退 火 — 原 子 的 擴(kuò) 散 加 劇 進(jìn) 一 步 消 除 凍 結(jié) 的 缺 陷 ， 再 結(jié) 晶 晶 粒 增 大 晶 界 減 小 退 火 溫 度 的 選 擇 應(yīng) 注 意 薄 膜 發(fā) 生 氧 化 、 雜 質(zhì) 偏 析 或 者 相 變 過 程
試題試卷相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1