薄膜材料物理--第二章薄膜的力學(xué)性質(zhì)(1)-wenkub.com
2025-01-05 12:31 本頁(yè)面
【正文】 但 這 些 缺 陷一 般 都 是 非 平 衡 缺 陷 ， 故 有 自 引 消 失 的 傾 向 ， 即 自 然 給 予 活 化 能會(huì) 消 失 薄 膜 內(nèi) 應(yīng) 力 薄 膜 中 存 在 兩 種 應(yīng) 力 ： 界 面 應(yīng) 力 和 生 長(zhǎng) 應(yīng) 力 。 若 薄 膜 中 的 殘 余 氣 體 再 跑 出 來(lái) ， 在 薄 膜 中 留 下 空 位 和 空 位 團(tuán) ， 從 而 出 現(xiàn) 張 應(yīng) 力 。2 、 淀 積 基 片 溫 度 吸 附 原 子 在 基 片 表 面 的 遷 移 能 力 決 定 薄 膜 的 結(jié) 構(gòu) 、 成 份 、 晶 粒 尺 寸 、 晶 面 取 向 以 及 各 種 缺 陷 的 工 藝 對(duì) 內(nèi) 應(yīng) 力 的 影 響 — 基 片 情 況 ， 淀 積 過(guò) 程 ， 薄 膜 本 身 。第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 01401 1 e x p ( ) l n l n 10 1 142 01 142 0 315 .5SSS m mmRR v vR T R TQ R T T TTCCCQ??? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ???? ? ? ? ?00克 羅 克 霍 姆 令 ， 得 到 有 序 化 溫 度 是 薄 膜 材 料 熔 點(diǎn) 的 1/（ 實(shí) 驗(yàn) 結(jié) 果 ） 由 此 可 求 出 原 子 的 有 序 化 活 化 能 。（ z ） 常 數(shù) （ z ） ， 即 薄 膜 單 位 寬 度 上 的 應(yīng) 力 S 與薄 膜 厚 度力d 成 正 比 。第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ???? ?? ???????????????界 面 應(yīng) 力（ 2 ） 本 征 應(yīng) 力生 長(zhǎng) 應(yīng) 力A 、 在 界 面 處 薄 膜 與 基 片 的 結(jié) 構(gòu) 失 配 形 成 的 內(nèi) 應(yīng) 力 ， 在 界 面 處 將 產(chǎn) 生 一 個(gè) 有 相 當(dāng) 厚 度 的 過(guò) 渡 層 。證 畢第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ? ?? ?? ?? ?616161618 1010 20 10 030 40 10 10 20 10SFFSFKKKK???????????????????????? ? ????????可 見(jiàn) ： 采 用 選 擇 基 片 或 者 改 變 淀 積 溫 度 的 辦 法 來(lái) 改 變 薄 膜 中 的 熱 應(yīng) 力 的 大 小 和 性 質(zhì) 。 第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 內(nèi)應(yīng)力的類(lèi)別與起源 按起源分：熱應(yīng)力 — 薄膜和基片的熱脹系數(shù)不同 而引起的。 壓應(yīng)力過(guò)大 → 薄膜起皺或脫落。若 從 一 定 數(shù) 值 突 然 變 到 無(wú) 限 大 表 示 薄 膜 是 物 理 附 著 （ 只 有 物 理 附 著 ， 界 面 成 分 和 性 質(zhì) 不 連 續(xù) ）若 ()Rt 是 漸 變 ， 則 薄 膜 是 化 學(xué) 附 著 （ 有 中 間 層 過(guò) 渡 ）第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 167。 作用薄膜附著力的一種量度。 ③ 提高溫度 ,有利于薄膜和基片之間原子的相互擴(kuò)散 → 擴(kuò)散附著有利于加速化學(xué)反應(yīng)形成中間層 → 中間層附著 須注意： T↑→ 薄膜晶粒大 → 熱應(yīng)力 ↑→ 其它性能變 第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) ④ 淀積方式：濺射強(qiáng)于蒸發(fā)，電壓（濺射）高 → 附著好 ∵ 濺射粒子動(dòng)能大，轟擊表面清洗且使表面活化 → 附著強(qiáng) 電鍍膜的附著性能差 (∵ 有一定數(shù)量的微孔） 附著性能差 ⑤ 淀積速率 ↑ → 殘留氧分子膜中 → 中間層少 → 附著力下降 → 薄膜結(jié)構(gòu)疏松 → 內(nèi)應(yīng)力大 ⑥ 淀積氣氛對(duì)薄膜附著力的影響 淀積初期 → 氧和水蒸氣分壓 → 氧化膜中間層 → 附著 ↑ 第 三 講 第二章 薄膜的力學(xué)性質(zhì) 167。 ② 化學(xué)鍵力（鍵能 ） 共價(jià)鍵 離子鍵 金屬鍵 價(jià)電子發(fā)生了轉(zhuǎn)移， 短程力，不是普遍存在。 方法：在基片上鍍一層薄金屬層（ Ti、 Mo、 Ta、
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