光伏薄膜沉積ppt課件(2)-資料下載頁
2025-05-06 03:48本頁面
【正文】 法 (Catalytic):只適用於金屬材料 .將主動電解性金屬 (Pd及 Pt)沉積於基材上後利用光罩圖形得到圖案、電解反應(yīng)在接觸到電解液的表面發(fā)生 . 旋轉(zhuǎn)成膜 (spincoating):目前主要用於光阻膜上 . Thin Film Techniques – Liquid Phase(液向沉積 ) ? Liquid phase deposition : galvanic, spincoating, catalytic ? Galvanic流電（電鍍） ? Spin Coating（旋鍍法）：一般用於光阻 (photoresisit)塗佈 ? Catalytic method （電解法）：僅適用於金屬 旋鍍法的基本流程 微流電 ? 成形 PMMA在導(dǎo)電基板（金屬板加氧化鈦增加附著性） ? 流電法沈積金屬（鎳、銅、金以及鎳鈷、鎳鐵合金），鎳基的電解液常用 ? 可製成完工金屬件或作為射出之成形模具 溶膠 ─ 凝膠沈積法 ? 溶膠 ─ 凝膠沈積法 (Solgel) ? 將薄膜中的相關(guān)材料成分混合於溶劑中形成溶膠狀的 precursor ? 以 Spin coating塗佈 precursor形成均勻薄膜，溶膠狀懸浮中的固體粒子經(jīng)化學(xué)反應(yīng)構(gòu)成凝膠狀的網(wǎng)絡(luò) ? 熱處理後，移除溶劑可將凝膠網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)換成固相 ? 常用材料：二氧化矽 (SOG)、氮化矽、氧化鋁、鋯鈦酸鉛 (PZT) [5] 微機(jī)械學(xué) ? 用於設(shè)計及製造微米級的 3D機(jī)械結(jié)構(gòu)如膜、懸臂樑、齒輪、簧片及槽等以組成感覺器及致動器?？闪慨a(chǎn)主要的兩個製程為 矽基製程： 80%的產(chǎn)品以此技術(shù)為主 LIGA製程： 有高的縱橫比 ,可製造精度甚佳的 3D元件 ,很多金屬材料 ,可被使用可大量生產(chǎn)複雜的元件 . 積體光學(xué) ? 使用於製造平面微小光學(xué)元件 ,如開關(guān) ,調(diào)光器等 .可以傳導(dǎo)光線或轉(zhuǎn)換光為電子訊號 ,多整合多元件於同一基材上 .主要運用於通訊及微感覺器上 . 玻璃基材： 如光導(dǎo) ,藕合器 ,濾光格柵及頻譜量測器 .可利用離子交換或植入法讓導(dǎo)體在直徑方向的折射率有所變化而將光導(dǎo)入光纖 . 矽基 :是其基本材料 ,十分精密的微溝槽可用來做光導(dǎo)之修正 .氧化矽及氮氧化矽也可當(dāng)光導(dǎo)層 . 氧化鈮鋰 :有良好的光電性質(zhì) ,能在其上製造出被動及主動光學(xué)元件 . 光纖 ? 光纖在耦合 ,導(dǎo)引及光導(dǎo)媒體 (多為玻璃 ) 光信號之解耦合方面很有用 .光纖感覺器使光學(xué)量度系統(tǒng)得以微小化 .很多物理及化學(xué)量 ,如速度 ,壓力或污染濃度可以轉(zhuǎn)換為光參數(shù) ,如波幅 ,相位移 ,頻譜分析 ,頻率或時間訊號而得以評估 .因能不受干擾的將訊號傳送很遠(yuǎn)且高靈敏性 ,在控制工程上十分重要 . 流體技術(shù) ? 流體裝置可以簡單且安全的產(chǎn)生力量或移動 .流體輸送用途很廣且其體積小力量密度高 .如醫(yī)學(xué)上之微投劑系統(tǒng) ,吸管 .環(huán)保上之化學(xué)物分析 .元件主要元件如微閥門 ,微幫浦及流體開關(guān) . 系統(tǒng)技術(shù) ? 完整的系統(tǒng)是由感覺器 ,信號處理單元及致動器整合而成 ,以實現(xiàn)完整的功能 ,故需使用系統(tǒng)概念和架構(gòu)以及信號處理方法來整合系統(tǒng)元件 . 資訊科技 :電腦輔助軟體用於設(shè)計及製程之模擬是需要的 .測試及診斷也是必須的 . 際間連接技術(shù) :主要任務(wù)是製造機(jī)械的 ,電的及光學(xué)的連接物 ,以作為夾持 ,耦合及能源供應(yīng) .如光纖對準(zhǔn) ,不同膨脹係數(shù)之微機(jī)構(gòu)連接及廉價可靠的電連接器 .又如膠合 ,錫焊 ,焊接 ,黏線等 . 封裝 :把微系統(tǒng)用一個殼保護(hù)起來 ,使其敏感部分不受外界傷害及影響 ,並須留一介面與外界安全接觸 .陶瓷是很重要的封裝材料 ,由於有很高的尺寸安定性 ,氣密性及抗惡劣環(huán)境性 .其他如塑膠 ,矽 ,玻璃 . 材料暨效應(yīng) ? 因有各種不同功能性性質(zhì)的元件故需眾多的不同材料材料性質(zhì)對研發(fā)工作影響甚巨 MST共容性 (Compatibility):不貴可被微製造以及批量生產(chǎn)之材料 ,如金屬陶瓷高分子特殊玻璃及石英鑽石等 . 能量轉(zhuǎn)換效應(yīng) :機(jī)械的 ,電的 ,化學(xué)的及熱 ,磁等 . Piezoresistivity(壓阻 ) ? 壓阻 Piezoresistance: 材料電阻值會受材料應(yīng)變所改變 ? 大部分材料都具有壓阻特性 ? 半導(dǎo)體材料如 Si與 Ge其壓阻係數(shù)比金屬大一個 order ? sl, st : Longitudinal （與電流方向平行） and transverse （與電流方向垂直） stress ponent ? pl, pt : Longitudinal and transverse piezoresistance coefficient ttllRR psps ???Piezoelectric Material ? 壓電 (Piezoelectric)現(xiàn)象是一種存在某些材料的機(jī)電轉(zhuǎn)換 ? 1880由居禮兩兄弟在石英發(fā)現(xiàn)的特性 ? 無外加電場：正電與負(fù)電荷的中心不重合產(chǎn)生淨(jìng)電雙極，整個晶體因而產(chǎn)生淨(jìng)極化 (polarization) ? 在材料的居禮溫度以上晶體會變成立方晶，因而失去壓電性 [5] Piezoelectric Material ? 主要的壓電材料： Quartz(SiO2 crystal), PZT, PVDF, ZnO, LiNbO3, BaTiO3 ? 正壓電效應(yīng)：外加壓力產(chǎn)生電位差 ? 逆壓電效應(yīng)：外加電場使壓電材料產(chǎn)生變形
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