【正文】 制 。顯影液的旋涂方法跟上面的清洗、旋涂的原理是一 樣的，這里就不再探討。母盤的檢測裝置也是是安裝在這個位置的，可以對母盤進行一個初步的檢測。 六、濺鍍機的自動控制， 這是 母盤 生產(chǎn)線 上最重要 一個工藝 之一 ，也是一個牽扯知識面比較廣的領(lǐng)域。在這里他利用的原理大概是，通過機械泵的預(yù)真空和分子泵的抽空濺鍍腔室，使濺鍍腔室達到一定的真空度，然后再通入惰性氣體氬氣，利用 AE直流電源來電離出電子，同時產(chǎn)生一個很強的磁場，電子順著強磁場做高速運動，去撞擊裝在陰極上的靶材，使靶材釋放帶電的離子很均勻的附著在母盤的盤面上。為了使濺射物更均勻的附著，加載母盤的機械手以設(shè)定的速度在不 停的勻速旋轉(zhuǎn)。隨著高速運動電子的撞擊陰極會產(chǎn)生大量的熱量，這時需要冷卻裝置，降低靶材的溫度，這里我們用的是水冷，用冷凍水做循環(huán)，來帶走所產(chǎn)生的熱量。這里的分子泵必須等到機械泵抽到一定真空度才能啟動，因為由于分子泵葉片的高速旋轉(zhuǎn)，空氣的阻力會將它打 碎，分子泵停止時也是一樣的，不能斷電馬上關(guān)掉，必須讓它緩慢的停下來，然后再關(guān)掉機械泵。濺鍍的作用主要是讓母盤產(chǎn)生一個反射層，同時這層濺鍍膜對母盤也起到一定的保護作用。 這里關(guān)于濺鍍的方面的知識在上面已有提及，在此不在討論。圖 42為濺鍍機打開時的示意圖 ， 圖 43為 濺鍍機關(guān)閉時的示意圖。 圖 42 濺鍍機打開 圖 43 濺鍍機關(guān)閉 5 全文總結(jié) 結(jié)論 本文首先對對母盤的基本參數(shù)進行了簡要的說明，按照順序依次介紹了母盤自動化生產(chǎn)線的建廠環(huán)境、電力配置、周邊設(shè)備的選型和部署。 并著重介紹了激光刻錄 工藝，以及激光刻 錄 元器件的原理和選型、各個廠家激光器優(yōu)劣的比較。母盤自動化生產(chǎn) 線是一個很大的工程，即使有 一面考慮不周都有可能造成停產(chǎn)。 機器上各個部件的選擇也要通過不斷的實驗來選擇出性 能穩(wěn)定、操作維修方便、售后服務(wù)好、運行安全的產(chǎn)品，然后再進行整體 的組合。 在整個自動化運行過程里面，它的工藝配方是最重要的。機器性能再好，如果配方是錯誤的一樣生產(chǎn)不出合格的產(chǎn)品。當(dāng)然好的工藝配方也要好的母盤設(shè)備和周邊設(shè)備的支持，不然產(chǎn)品質(zhì)量出現(xiàn)問題就很難查找原因。 本文的不足 本文最大的不足就是無法將母盤自動化生產(chǎn)設(shè)備的布局圖、電路圖整理羅列出來進行理論上的分析。還有一些實驗的數(shù)據(jù)和圖示也不能拷貝出來 與大家一起探討和做更深一步的研究。 致 謝 感謝 學(xué)校 對我?guī)啄甑呐囵B(yǎng)！ 感謝 學(xué)校 我在學(xué)術(shù)上的諄諄教誨。我不僅學(xué)到了知識，而且學(xué)到了做人的準(zhǔn)則 和嚴謹?shù)闹螌W(xué)作風(fēng) ? 。 在此， 我 表示衷心的感謝和崇高的敬意！ 陳永軍 2021年 1月 10日 附 錄 西門子 PLC源 程序 部分 代碼 ： 代碼 1—— Profibus 診斷、 PLC 與 Park 步進電機通訊 ProfibusDiag BEGIN := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 := FALSE。 DP_Error_Timer := T 0。 Error := FALSE。 Busy := FALSE。 Fault[1] := FALSE。 Fault[2] := FALSE。 Fault[3] := FALSE。 Fault[4] := FALSE。 Fault[5] := FALSE。 Fault[6] := FALSE。 Fault[7] := FALSE。 Fault[8] := FALSE。 Fault[9] := FALSE。 Fault[10] := FALSE。 Fault[11] := FALSE。 Fault[12] := FALSE。 Fault[13] := FALSE。 Fault[14] := FALSE。 Fault[15] := FALSE。 Fault[16] := FALSE。 Fault[17] := FALSE。 Fault[18] := FALSE。 Fault[19] := FALSE。 Fault[20] := FALSE。 Fault[21] := FALSE。 Fault[22] := FALSE。 Fault[23] := FALSE。 Fault[24] := FALSE。 Fault[25] := FALSE。 Fault[26] := FALSE。 Fault[27] := FALSE。 Fault[28] := FALSE。 Fault[29] := FALSE。 Fault[30] := FALSE。 Fault[31] := FALSE。 Fault[32] := FALSE。 Fault[33] := FALSE。 Fault[34] := FALSE。 Fault[35] := FALSE。 Fault[36] := FALSE。 Fault[37] := FALSE。 Fault[38] := FALSE。 Fault[39] := FALSE。 Fault[40] := FALSE。 Fault[41] := FALSE。 Fault[42] := FALSE。 Fault[43] := FALSE。 Fault[44] := FALSE。 Fault[45] := FALSE。 Fault[46] := FALSE。 Fault[47] := FALSE。 Fault[48] := FALSE。 DP_activation_busy[1] := FALSE。 DP_activation_busy[2] := FALSE。 DP_activation_busy[3] := FALSE。 DP_activation_busy[4] := FALSE。 DP_activation_busy[5] := FALSE。 DP_activation_busy[6] := FALSE。 DP_activation_busy[7] := FALSE。 DP_activation_busy[8] := FALSE。 DP_activation_busy[9] := FALSE。 DP_activation_busy[10] := FALSE。 DP_activation_busy[11] := FALSE。 DP_activation_busy[12] := FALSE。 DP_activation_busy[13] := FALSE。 DP_activation_busy[14] := FALSE。 DP_activation_busy[15] := FALSE。 DP_activation_busy[16] := FALSE。 DP_activation_busy[17] := FALSE。 DP_activation_busy[18] := FALSE。 DP_activation_busy[19] := FALSE。 DP_activation_busy[20] := FALSE。 DP_activation_busy[21] := FALSE。 DP_activation_busy[22] := FALSE。 DP_activation_busy[23] := FALSE。 DP_activation_busy[24] := FALSE。 DP_activation_busy[25] := FALSE。 DP_activation_busy[26] := FALSE。 DP_activation_busy[27] := FALSE。 DP_activation_busy[28] := FALSE。 DP_activation_busy[29] := FALSE。 DP_activation_busy[30] := FALSE。 DP_activation_busy[31] := FALSE。 DP_activation_busy[32] := FALSE。 DP_activation_busy[33] := FALSE。 DP_activation_busy[34] := FALSE。 DP_activation_busy[35] := FALSE。 DP_activation_busy[36] := FALSE。 DP_activation_busy[37] := FALSE。 DP_activation_busy[38] := FALSE。 DP_activation_busy[39] := FALSE。 DP_activation_busy[40] := FALSE。 DP_activation_busy[41] := FALSE。 DP_activation_busy[42] := FALSE。 DP_activation_busy[43] := FALSE。 DP_activation_busy[44] := FALSE。 DP_activation_busy[45] := FALSE。 DP_activation_busy[46] := FALSE。 DP_activation_busy[47] := FALSE。 DP_activation_busy[48] := FALSE。 Not_present[1] := FALSE。 Not_present[2] := FALSE。 Not_present[3] := FALSE。 Not_present[4] := FALSE。 Not_present[5] := FALSE。 Not_present[6] := FALSE。 Not_present[7] := FALSE。 Not_present[8] := FALSE。 Not_present[9] := FALSE。 Not_present[10] := FALSE。 Not_present[11] := FALSE。 Not_present[12] := FALSE。 Not_present[13] := FALSE。 Not_present[14] := FALSE。 Not_present[15] := FALSE。 Not_present[16] := FALSE。 Not_present[17] := FALSE。 Not_present[18] := FALSE。 Not_present[19] := FALSE。 Not_present[20] := FALSE。 Not_present[21] := FALSE。 Not_present[22] := FALSE。 Not_present[23] := FALSE。 Not_present[24] := FALSE。 Not_present[25] := FALSE。 Not_present[26] := FALSE。 Not_present[27] := FALSE。 Not_present[28] := FALSE。 Not_present[29] := FALSE。 Not_present[30] :=