【正文】 I 畢業(yè)論文 (設(shè)計(jì) ) 題 目 : 自動控制在光盤母盤 生產(chǎn)線上的應(yīng)用 Title Automatic Control in BD Motherboard Application of Production Line 院 系 ： 電氣與電子工程學(xué)院 專 業(yè) ： 電氣工程及其自動化 姓 名 ： XXX 指導(dǎo)教師 ： XXX II 2021 年 1 月 10 日 摘 要 光盤作為信息的載體得到了廣泛的應(yīng)用和推廣 。 它的容量也由 700MB 擴(kuò)展到現(xiàn)在的 50GB，由 VCD 發(fā)展為 DVD，近來又制造出藍(lán)光光盤，來滿足人們對高清影視和大容量可移動設(shè)備的需求。 光盤的最重要特點(diǎn)是可靠性高。其原因之一是由于光盤的數(shù)據(jù)刻錄是利用聚 焦激光光束在存儲介質(zhì)上燒蝕出凹坑，一旦記錄完成，寫入的數(shù)據(jù)就不容易在燒蝕的介質(zhì)上消失；原因之二，光盤在存儲數(shù)據(jù)時(shí)進(jìn)行的光學(xué)讀寫是非接觸形式 的，這是一種無損耗的讀寫，與傳統(tǒng)的磁盤讀寫截然不同，就算讀上 數(shù)萬次也絲毫不會減弱盤上的信號。日本柯達(dá)公司曾用現(xiàn)代科學(xué)方法去加速光盤的老化，測得只讀型光盤的使用壽命約在 209 年。光盤的優(yōu)勢還在于他的存取速度快、保存管理方便等特點(diǎn)。日本 TDK 公司不久前成功地在可擦寫藍(lán)光光盤 (Blu— rayDisc)上實(shí)現(xiàn)了 216Mbit／秒的刻錄速度，相當(dāng)于 6 倍速刻錄，在保存特性方面，也已確 認(rèn)在溫度為 80 度、濕度為 85％的環(huán)境下刻錄 150 小時(shí)，其抖動值仍然保持在 7％左右。 綜上 所述光盤的優(yōu)越性和廣泛普及性，它的大批量生產(chǎn)也是必然的。而制造光盤的母盤也就成了不可替代的必須品，母盤的生產(chǎn)質(zhì)量會直接影響到光盤的質(zhì)量。母盤對周圍環(huán)境的潔凈度、濕度、 酸堿度、光照等都有著嚴(yán)格的要求，這就要求母盤的生產(chǎn)環(huán)境必須是嚴(yán)格密封的，自動化要求非常高，不能有人為的參與。所以制造和生產(chǎn)母盤的自動化設(shè)備成為我的研究課題。 關(guān)鍵詞 ： ?光盤 ， 母盤 ， 抖動值 III Abstract CD as information carrier a wide range of applications and promotion. Its capacity by 700 MB also extended to the 50 GB now, The VCD development for DVD, Again recently made the BluRay Disc, To meet people to the hd video and large capacity is the demand of mobile devices. The most important characteristics of CD is high reliability. One of the reasons is because of the CD burning is to use data focused laser beam in on a storage medium ablation pits, Once pleted record, written to the data is not easily in the ablation disappear on the medium。 The second reason, and the CD in the store data for optical reading and writing are the contact form, this is a no loss, speaking, reading and writing, and traditional disk reading and writing are entirely different, even if read up on tens of thousands of times also doesn39。t thousands weakened the signal on the plate. Japan with modern science has kodak way to accelerate the ageing of the CD, the service life of the disc read only type of about 209 years. CD39。s advantages are still lies in his access speed and conservation management is convenient wait for a characteristic. Japan TDK pany not long ago successfully on removable bluray disc (BlurayDisc) to 216 Mbit/Sec burn rate, about 6 times the speed burn, in the preservation characteristics, has also confirmed in the temperature of 80 degrees, humidity is 85% under the environment of the burn 150 hours, the jitter values remain at around 7%. To sum up the superiority of the CD and wide popularity, with the mass production of the it is inevitable. And manufacturing the motherboard CD also became an irreplaceable must taste, the production quality motherboard will directly affect the quality of the CD. The surrounding environment of motherboard cleanliness, humidity, acidity, light and so have the strict requirements, which requires the motherboard production environment must be strictly sealed, Automation require very high, not someone for participation. So manufacture and produce the motherboard automation equipment to be my research subject. Key words: CD， Motherboard， Jitter Values IV 目 錄 摘要 ………………………………………………………………………… ..………… .IV Abstract …………………………………………………………………………… .… ..V 修改意見 ........................................... 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 1 緒 論 ........................................................... 1 母盤的發(fā)展?fàn)顩r及其前景 .......................................... 1 母盤生產(chǎn)流程 .................................................... 1 母盤自動化研究的目的和意義 ...................................... 1 2 母盤的設(shè)計(jì)及其工程環(huán)境 ............................................ 3 預(yù)刻槽 ATIP 信息及其信息區(qū)數(shù)據(jù)和物理參數(shù) ......................... 3 溝槽形狀的設(shè)計(jì)以及專用信息和附加信息的確定 ...................... 4 母盤刻錄系統(tǒng)的設(shè)計(jì) .............................................. 4 母盤的工程化環(huán)境 ................................................ 8 3 母盤生產(chǎn)線的布局及設(shè)備配置 ....................................... 10 母盤設(shè)備的建廠布局 ............................................. 11 母盤生產(chǎn)線水、電、氣方案 ....................................... 12 4 母盤生產(chǎn)線的工藝和自動化控制 ..................................... 15 母盤生產(chǎn)線的工藝控制 ........................................... 15 母盤生產(chǎn)線的自動化控制 ......................................... 18 5 全文總結(jié) ........................................................ 22 結(jié)論 ........................................................... 22 本文的不足 ..................................................... 22 致 謝 ............................................................ 23 附 錄 .......................................................... 24 參考文獻(xiàn) ......................................................... 45 1 緒 論 母盤 的發(fā)展?fàn)顩r及其前景 近年來，母盤制造技術(shù)得到了人們更多的關(guān)注，出現(xiàn)了許多新的亮點(diǎn)，新廠家進(jìn)入了這個(gè)市場，不少老廠家在老設(shè)備上使用了新的技術(shù)和新的工藝。例如大多數(shù)母盤設(shè)備激光刻錄 部分采用了半導(dǎo)體激光技術(shù)，減小了設(shè)備體積，延長了激光器的使用壽命，簡化了激光器的電路，使光路的調(diào)整更為簡單，許多母盤設(shè)備刻錄速度達(dá)到 CD 8倍速， DVD 3 倍速， 一些設(shè)備采用 UV照射工藝去除電鑄后壓模表面的光刻膠。在感光材料選用方面，染料聚合物技術(shù)是刻錄時(shí)寫后直讀，利用閉環(huán)反饋技術(shù)實(shí)時(shí)回放讀取信息，根據(jù)反饋信號可優(yōu)化調(diào)整激光刻錄能量，并可以檢查刻錄錯(cuò)誤和缺陷，以利于及時(shí)中斷刻錄，避免了材料和時(shí)間上的浪費(fèi)。另一種廣泛使用的光刻膠技術(shù)，工藝成熟，刻錄的坑型規(guī)范、清晰對 DVD 來說，能達(dá)到較好的抖晃 參數(shù)，另外通過改 進(jìn)工藝，已經(jīng)能夠很好的控制云紋的產(chǎn)生。在金屬化方面鎳層濺鍍技術(shù)與化學(xué)沉積技術(shù)并存，不同的工藝方法具有各自的特點(diǎn)。由于這些技術(shù)不斷的創(chuàng)新和進(jìn)步，促進(jìn)了母盤技術(shù)的不斷更新和發(fā)展 。 母盤 生產(chǎn)流程 目前廣泛使用的母盤自動化制造技術(shù)雖然不完全相同，但是都是以玻璃基盤為傳遞載體。制造工藝包括玻璃基片清洗、涂光刻材料、烘干、冷卻、激光刻錄、顯影、形成金屬鎳導(dǎo)電層、電鑄、壓模與玻璃分離、壓模表面化學(xué)處理和清洗、涂保護(hù)膠、烘干、拋光沖孔。然后檢測電 信號 參數(shù)和物理參數(shù)。用過的玻璃需要進(jìn)行清洗和化學(xué)處理，以利于循環(huán)利用 ，清洗后若挑選不當(dāng)，重復(fù)使用玻璃基片上的缺陷會嚴(yán)重影響壓模成品率的提高，而且玻璃的耗用量占成本的比例較大。 母盤自動化研究的目的和意義 目前有一種不需要玻璃基片的母盤制造技術(shù)已經(jīng)商用化。只要將準(zhǔn)備好的專用鎳基毛坯盤放入設(shè)備，直接送到 LBR 去刻錄，顯影、濺鍍工藝之后也不需要送去電鑄，僅僅沖中心孔就完成了母盤的制造。省去了電鑄、清洗、背面拋光等復(fù)雜工序和設(shè)備，簡化了工藝和操作，也使設(shè)備的前期投資大大降低。它的自動化程度同樣決定了成本 的大小，高集成的自動設(shè)備不但節(jié)省了人力，因?yàn)樯倭巳藶榈母缮?，減少了母盤 基盤在各個(gè)工藝制作過程中的損壞，從