江南電力光伏單晶爐sop操作標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范說明書(23頁)-作業(yè)指導(dǎo)-資料下載頁
2025-08-08 18:50本頁面
【導(dǎo)讀】①戴好乳膠手套，從箱子里取出石英坩堝。②拿起坩堝在燈光下觀察，確認(rèn)無裂紋，缺口，小孔，污漬等外觀不良事實。③將石英坩堝放入石墨坩堝后，應(yīng)注意石英坩堝邊緣應(yīng)與石墨坩堝邊緣相平行。①選取與要結(jié)晶的單晶硅類型相吻合的摻雜劑種類，稱取相應(yīng)的重量。不要讓摻雜劑飛灑到石英坩堝外。①右手上戴上棉手套，再戴上3至5副乳膠手套。手套容易損壞，所以一定要勤于更換。②將原料硅放入石英坩堝底部，逐步向上填補。填充操作時，原料硅和石英坩堝的接觸面積盡可能小。盡量避免石英坩堝與原材料硅的接觸，即使有接觸，也應(yīng)避免面接觸，而以點接觸的形式補充。②使用籽晶升降系統(tǒng)，下降籽晶夾和籽晶架。③用酒精擦拭籽晶夾和籽晶桿。⑤從籽晶頭有缺口一端插入，插至最底部，固定籽晶。固定后要確認(rèn)籽晶確無晃動，檢查確認(rèn)籽晶原點是否正確。到關(guān)閉位置，下降爐蓋。板處使氬氣流入，直至接近大氣壓，進(jìn)行氬氣的轉(zhuǎn)換。
【正文】 。 ? 下降坩堝至最下方，然后再提高，再次確認(rèn)鎂光。然后上升到籽晶的最高處。 注意：處理時不要讓硅棒材料出現(xiàn)裂痕。 第４章 其他的運行順序 ４－１ DIP 溫度導(dǎo)致的回熔 因 DIP 溫度導(dǎo)致的回熔應(yīng)按以下的順序?qū)嵤┎僮鳌? 回熔結(jié)束后進(jìn)行再溫調(diào)時，根據(jù)不同的情況，變更 DIP 溫度設(shè)定溫度的情況。 ① 按操作畫面下方的【 工序復(fù)位 】按鈕，自動程序復(fù)位。 ② 將操作面板右側(cè)的切換開關(guān)從自動切換至手動。 ③ 因為畫面表示會從自動控制畫面切換至手動操作畫面，按下畫面中間的【 籽晶 】按鈕，使顯示籽晶手動菜單。 ④ 按下【 停止 】按鈕，停止籽晶升降 (SL)。 ⑤ 使旋轉(zhuǎn)速度值 (SR)設(shè)定值慢慢減少，當(dāng)最后回轉(zhuǎn)停止在 0[rpm]處后，按下【 關(guān)閉 】按鈕，使籽晶回轉(zhuǎn) (SR)完全停止。 ⑥ 按下畫面中央【 坩堝 】按鈕，使顯示坩堝手動菜單。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 20/23 ⑦ 用【 停止 】按鈕停止坩 堝 升降 (CL)，用坩堝高速 電動 機控制坩堝回到 DIP處。 ※ 該做業(yè)是用于有坩堝升降 (CL)的轉(zhuǎn)肩程序后回熔的場合，如果沒有坩堝升降 (CL)的則不運行。 ⑧ 將旋轉(zhuǎn)速度值 (CR)的設(shè)定值變更為 2[rpm]。 ※ 因引晶切斷而導(dǎo)致的回熔，該做業(yè)不能實施。 ⑨ 按下畫面內(nèi)【 加熱器 】按鈕，使顯示加熱器手動菜單。 ⑩ 在直流轉(zhuǎn)換器溫度控制設(shè)定值與 DIP 溫度處同一值時變更，開始調(diào)節(jié)溫度。 ? 用籽晶高速電動機將晶棒浸入，開始回熔。 ? 回熔結(jié)束后，將籽晶上升至液面上方 20～ 30cm，按下畫面內(nèi)的【 籽晶 】按鈕，使顯示籽晶手動菜單。 ? 使旋轉(zhuǎn)速度值 (SR)設(shè)定值慢慢上升，籽晶回轉(zhuǎn) (SR)在引晶時，變更回轉(zhuǎn)數(shù)。 ? 按下畫面內(nèi)的【 坩堝 】按鈕，使顯示坩堝手動菜單。 ? 使旋轉(zhuǎn)速度值 (CR) 設(shè)定值慢慢上升，坩 堝 回轉(zhuǎn) (CR)引晶時，變更回轉(zhuǎn)數(shù)。 ※ 因無引晶引起的回熔不需要使用該做業(yè)。 ? 這時判斷液面溫度是否穩(wěn)定，當(dāng)液面溫度不穩(wěn)定時，稍等片刻，即可進(jìn)行引晶程序。 ? 用籽晶高速電動機將籽晶浸入液面。 ? 在籽晶與液面接觸的地方，即表面張力引 起的凹形液面處形成 DF 線后，將切換開關(guān)從手動切換到自動。 ? 因為操作畫面會從手動控制畫面回到自動控制畫面，按下畫面下方的【 工序控制 】按鈕，進(jìn)行引晶重啟。 ? 在程序發(fā)音同時，畫面左側(cè)的工序表示欄引晶畫面左下角的自動直徑將被加色顯示，籽晶升降 (SL)控制開始。以后，用常規(guī)的自動控制實施引晶程序。 ４－２ 化料功率導(dǎo)致的回熔 對等徑程序以后的結(jié)晶進(jìn)行回熔時，為了讓化料在短時間內(nèi)完成，調(diào)溫方法從溫度控制變成功率控制，與化料完成功率同一值時做回熔。 為了重新做化料程序，回熔結(jié)束后，手動實施安定程序。 ① 按下操作 面板下方【 工序復(fù)位 】按鈕，使自動程序復(fù)位。 ② 將操作面板右側(cè)的切換開關(guān)從自動切換至手動。 ③ 因為畫面表示是從自動控制操作畫面切換到手動控制操作畫面的，按下畫面中間的【 籽晶 】按鈕，使顯示籽晶手動菜單。 ④ 按下 【停止 】按鈕，使籽晶升降 (SL)停止。 ⑤ 使旋轉(zhuǎn)速度值 (SR)設(shè)定值慢慢減少，當(dāng)最后回轉(zhuǎn)停止在 0[rpm]處后，按下【 關(guān)閉 】按鈕，使籽晶回轉(zhuǎn) (SR)完全停止。 ⑥ 按下畫面中央【 坩堝 】按鈕，使顯示坩堝手動菜單。 ⑦ 用【 停止 】按鈕停止坩 堝 升降 (CL)，用坩堝高速 電動 機控制坩堝回到 DIP處。 ⑧ 將 旋轉(zhuǎn)速度值 (CR)的設(shè)定值變更為 2[rpm]。 ⑨ 按下畫面內(nèi)【 加熱器 】按鈕，使顯示加熱器手動菜單。 ⑩ 使加熱器功率的設(shè)定值與化料完成功率處于同一值。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 21/23 ? 用籽晶高速 電動 機將坩堝移動至最下限處，把圓洼坑轉(zhuǎn)移到最低限的位置 ，把結(jié)晶漬上開始回熔。 ? 回熔完成后，將籽晶移動至 ReChamber 的 BuBooto處，用坩堝高速 電動 機將坩堝移動到 DIP處。 ? 將籽晶控制、 坩堝控制變更為安定 程序控制，加熱器功率設(shè)為 50kW。 ? 因為液體溫度會下 降，當(dāng) DIP 溫度接近 2～ 5℃度左右時，將直流轉(zhuǎn)換器溫度控制設(shè)定值變更為 DIP TDRJN 系列單晶爐操作說明書 22/23 溫度，從功率控制變?yōu)闇囟瓤刂啤? ? 經(jīng)過和安定工程液體溫度安定等待時間相當(dāng)時間后，開始引晶程序。 ? 用籽晶高速電動機將籽晶下降至預(yù)熱位置以下，將籽晶回轉(zhuǎn) (SR)慢慢變更到引晶程序同一值。 ? 籽晶預(yù)熱結(jié)束后，手動將籽晶浸入液面。 ? 出現(xiàn)表面張力的凹處 DF線后，將操作面板右側(cè)的切換開關(guān)從手動切換到自動。 ? 因為操作畫面會切換到自動控制畫面，按下工序控制的【 引晶 】按鈕，開始引晶程序。 ? 以 后，按正常的自動控制再次進(jìn)行引晶程序。
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