江南電力光伏單晶爐sop操作標準規(guī)范說明書(23頁)-作業(yè)指導(編輯修改稿)
2024-09-22 18:50 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 會自動地從功 率控制變成溫度控制，維持在工序參數(shù)中輸入的穩(wěn)定目標溫度的設(shè)定值。 ⑥ 按下主畫面【 穩(wěn)定 】按鈕，顯示安定程序進行狀況。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 11/23 ３－２－６ 引晶程序 到達穩(wěn)定目標溫度保持時間的設(shè)定時間后，和提示音同時將出現(xiàn)下面的畫面，可以進行接下來的操作。 ① 按【 引晶 】按鈕，開始引晶程序 顯示引晶程序開始。 ② 程序開始時，操作畫面工序欄【 引晶 】加色顯示，按工序參數(shù)和子參數(shù)表的設(shè)定值，進行自動程序。 ③ 經(jīng)過引晶籽晶燒灼時間后，籽晶開始下降到引晶籽晶燒灼位置處。 ④ 將籽晶下降至 NECK 籽晶液化 表面位置以下，浸入熔液，直到到達籽晶轉(zhuǎn)速 (S/R)設(shè)定前一直慢慢做業(yè)。 ⑤ 在籽晶接觸液體部分出現(xiàn)水蒸氣，形成 DF線后啟動籽晶底速上升。 ⑥ 當液體溫度到達引晶加熱器的設(shè)定值時，開始控制。 ⑦ 到達引晶目標直徑的設(shè)定值， 設(shè) 定 值 到達后開始維持引晶直徑， 到達引晶保持定時器的設(shè)定值時，將自動的轉(zhuǎn)到放肩程序。 ⑧ 想手動轉(zhuǎn)到放肩程序時，先按操作面板下面的【 下一步 】按鈕，再按下【 確定 】按鈕，即可手動進入放肩程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 12/23 ３－２－７ 放肩程序 引晶程序完全按照子參數(shù)設(shè)定那樣完成時，出現(xiàn)下面的畫面，表示可以進行下面的程序。 ① 按【 放肩 】按鈕，開始放肩程序。 顯示放肩程序開始的畫面。 ② 放肩程序開始時，操作畫面左側(cè)的工序表示欄【 放肩 】被加色顯示，按工序參數(shù)、子參數(shù)表的設(shè)定值進行自動程序。 ③ 慢慢下降籽晶 (SL)直到到達 S/L設(shè)定值。 ④ 籽晶回轉(zhuǎn) (SR) 是按照 S/R設(shè)定值，坩堝回轉(zhuǎn)是按照放肩 C/R設(shè)定值控制的。 ⑤ 溫度控制是按照加熱器設(shè)定值進行控制的。 ⑥ 當結(jié)晶的直徑到達放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑設(shè)定值時后，操作面板左側(cè)的工序表示欄【 轉(zhuǎn)肩 】將被加色顯示，自動轉(zhuǎn)換到 轉(zhuǎn)肩 程序。 ⑦ 如果卷尺測定值達到 應該執(zhí)行的放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑，而未到達放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑的程序設(shè)定值時，也不能進行接下來的程序，因為結(jié)晶設(shè)定的直徑更大的原因，按【 下一步 】按鈕，才能完成強制性的轉(zhuǎn)換程序。 ⑧ 即使結(jié)晶直徑接近放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑的設(shè)定值，但是卷尺測定值還是比規(guī)定的小的時候，應是先按照下面的順序?qū)⒐ば騾?shù)中的放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑的設(shè)定變大，到達的瞬間按【 下一步 】按鈕，強行轉(zhuǎn)換。 把這時直徑的數(shù)值設(shè)定為下次 CROWN 轉(zhuǎn)肩提升直徑的設(shè)定值。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 13/23 ＜ 過程參數(shù)設(shè)定值的變更方法 ＞ １） 按主畫面的【 過程參數(shù) 】按鈕，使顯示 過程參數(shù)設(shè)置畫面。 ２） 點擊表示值后，用十進制數(shù)值輸入。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 14/23 ３－２－８ 轉(zhuǎn)肩 程序 顯示轉(zhuǎn)肩程序開始畫面。 ① 當放肩程序的拉晶直徑到達預定值時，將自動換到轉(zhuǎn)肩程序。 顯示轉(zhuǎn)肩程序開始的畫面 ② 轉(zhuǎn)肩程序開始時，操作畫面左側(cè)的狀態(tài)表示欄【 轉(zhuǎn)肩 】的按鈕將被加色顯示，按工序參數(shù)、子參數(shù)表的設(shè)定值進行自動程序。 ③ 程序轉(zhuǎn)換后，籽晶提升 (SL)會慢慢加速，到達轉(zhuǎn)肩 S/L的設(shè)定值。 ④ 籽晶回轉(zhuǎn) (SR)是按照轉(zhuǎn)肩 S/R的設(shè)定值，而加熱器溫度則按照轉(zhuǎn)肩加熱器的設(shè)定值控制的。 ⑤ 開始 轉(zhuǎn)肩坩堝進度比率控制。 ⑥ 當結(jié)晶的直徑停止變大時，既是從最大直徑縮小到轉(zhuǎn)肩等徑提升直徑設(shè)定值的時間，將籽晶提升（ SL）變換到轉(zhuǎn)肩等徑提升初始速度設(shè)定值后，操作面板左側(cè)的工序表示欄【 等徑 】出被加色顯示，然后自動的進行等徑程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 15/23 ３－２－９ 等徑 顯示等徑程序開始畫面。 ① 轉(zhuǎn)肩程序的拉晶直徑到達預定直徑時，將自動換到等徑程序。 顯示等徑程序開始的畫面 ② 等徑程序開始時，操作畫面左側(cè)的工序表示欄【 等徑 】，【 等徑 】處將被加色顯示，為了使等徑目標直徑按預定控制直徑，開始籽晶提升 (SL)的變動。 ③ 籽晶回轉(zhuǎn) (SR)是按照等徑 S/R 的設(shè)定值，坩堝回轉(zhuǎn) (CR)是按照等徑 C/R 的設(shè)定值，加熱器溫度是按照等徑加熱器的設(shè)定值控制的，坩堝上升 (CL)是以等徑 C/L的設(shè)定值為基準，根據(jù)開始籽晶升降（ SL）前的位置來控制的。 ④ 當結(jié)晶長到達等徑溫度控制開始長度的設(shè)定值時，溫度運作開始，開始控制液體溫度。 ⑤ 當結(jié)晶長到達等徑收尾提升等徑長度的設(shè)定值時，操作面板左側(cè)的工序表示欄的【 收尾 】處被加色顯示，自動的轉(zhuǎn)換到收尾程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 16/23 ３－２－１０ 收尾程序 顯示收尾程序開始。 ① 當?shù)葟匠绦虻慕Y(jié)晶提升到達預期的長度時，將
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