江南電力光伏單晶爐sop操作標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范說明書(23頁)-作業(yè)指導(dǎo)-文庫吧資料
2024-08-25 18:50本頁面
【正文】 的轉(zhuǎn)換到收尾程序。 ③ 籽晶回轉(zhuǎn) (SR)是按照等徑 S/R 的設(shè)定值，坩堝回轉(zhuǎn) (CR)是按照等徑 C/R 的設(shè)定值，加熱器溫度是按照等徑加熱器的設(shè)定值控制的，坩堝上升 (CL)是以等徑 C/L的設(shè)定值為基準(zhǔn)，根據(jù)開始籽晶升降（ SL）前的位置來控制的。 ① 轉(zhuǎn)肩程序的拉晶直徑到達(dá)預(yù)定直徑時(shí)，將自動(dòng)換到等徑程序。 ⑥ 當(dāng)結(jié)晶的直徑停止變大時(shí)，既是從最大直徑縮小到轉(zhuǎn)肩等徑提升直徑設(shè)定值的時(shí)間，將籽晶提升（ SL）變換到轉(zhuǎn)肩等徑提升初始速度設(shè)定值后，操作面板左側(cè)的工序表示欄【 等徑 】出被加色顯示，然后自動(dòng)的進(jìn)行等徑程序。 ④ 籽晶回轉(zhuǎn) (SR)是按照轉(zhuǎn)肩 S/R的設(shè)定值，而加熱器溫度則按照轉(zhuǎn)肩加熱器的設(shè)定值控制的。 顯示轉(zhuǎn)肩程序開始的畫面 ② 轉(zhuǎn)肩程序開始時(shí)，操作畫面左側(cè)的狀態(tài)表示欄【 轉(zhuǎn)肩 】的按鈕將被加色顯示，按工序參數(shù)、子參數(shù)表的設(shè)定值進(jìn)行自動(dòng)程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 14/23 ３－２－８ 轉(zhuǎn)肩 程序 顯示轉(zhuǎn)肩程序開始畫面。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 13/23 ＜ 過程參數(shù)設(shè)定值的變更方法 ＞ １） 按主畫面的【 過程參數(shù) 】按鈕，使顯示 過程參數(shù)設(shè)置畫面。 ⑧ 即使結(jié)晶直徑接近放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑的設(shè)定值，但是卷尺測定值還是比規(guī)定的小的時(shí)候，應(yīng)是先按照下面的順序?qū)⒐ば騾?shù)中的放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑的設(shè)定變大，到達(dá)的瞬間按【 下一步 】按鈕，強(qiáng)行轉(zhuǎn)換。 ⑥ 當(dāng)結(jié)晶的直徑到達(dá)放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑設(shè)定值時(shí)后，操作面板左側(cè)的工序表示欄【 轉(zhuǎn)肩 】將被加色顯示，自動(dòng)轉(zhuǎn)換到 轉(zhuǎn)肩 程序。 ④ 籽晶回轉(zhuǎn) (SR) 是按照 S/R設(shè)定值，坩堝回轉(zhuǎn)是按照放肩 C/R設(shè)定值控制的。 ② 放肩程序開始時(shí)，操作畫面左側(cè)的工序表示欄【 放肩 】被加色顯示，按工序參數(shù)、子參數(shù)表的設(shè)定值進(jìn)行自動(dòng)程序。 ① 按【 放肩 】按鈕，開始放肩程序。 ⑧ 想手動(dòng)轉(zhuǎn)到放肩程序時(shí)，先按操作面板下面的【 下一步 】按鈕，再按下【 確定 】按鈕，即可手動(dòng)進(jìn)入放肩程序。 ⑥ 當(dāng)液體溫度到達(dá)引晶加熱器的設(shè)定值時(shí)，開始控制。 ④ 將籽晶下降至 NECK 籽晶液化 表面位置以下，浸入熔液，直到到達(dá)籽晶轉(zhuǎn)速 (S/R)設(shè)定前一直慢慢做業(yè)。 ② 程序開始時(shí)，操作畫面工序欄【 引晶 】加色顯示，按工序參數(shù)和子參數(shù)表的設(shè)定值，進(jìn)行自動(dòng)程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 11/23 ３－２－６ 引晶程序 到達(dá)穩(wěn)定目標(biāo)溫度保持時(shí)間的設(shè)定時(shí)間后，和提示音同時(shí)將出現(xiàn)下面的畫面，可以進(jìn)行接下來的操作。 ⑤ 經(jīng)過穩(wěn)定冷卻時(shí)間的設(shè)定時(shí)間到達(dá)后，調(diào)溫方式會(huì)自動(dòng)地從功 率控制變成溫度控制，維持在工序參數(shù)中輸入的穩(wěn)定目標(biāo)溫度的設(shè)定值。 ③ 坩堝回轉(zhuǎn) (CR)在引晶程序時(shí)，變更回轉(zhuǎn)數(shù)。 ① 按【 穩(wěn)定 】按鈕，開始穩(wěn)定程序 穩(wěn)定程序開始時(shí)顯示以下畫面。 ⑥ 在還沒到達(dá)化料完成時(shí)間的設(shè)定時(shí)間前原料硅就完全熔解的話，按【 下一步 】按鈕，然后再按【 確定 】按鈕的話即可手動(dòng)轉(zhuǎn)到安定程序。 ⑤ 當(dāng)達(dá)到化料完成時(shí)間的設(shè)定時(shí)間時(shí)，將出現(xiàn)提示音，在操作畫面上出現(xiàn)化料程序完成后應(yīng)該顯示的畫面。 ④ 將坩堝從原點(diǎn)上升至化料位置。 ② 化料程序開始時(shí)，操作畫面左側(cè)工序顯示欄的【 化料 】被加色顯示，由工序參數(shù)、子參數(shù)表的設(shè)定值進(jìn)行自動(dòng)程序。 ⑦ 不開始自動(dòng)程序的則按【 取消 】按鈕。 ⑤按下畫面左邊的【 化料 】按鈕。 ③ 確認(rèn)籽晶和坩堝的原點(diǎn)位置。 ３－２－３ 自動(dòng)程序的開始 ① 打開主真空閥門。 ③ 在 5分鐘內(nèi)進(jìn)行測量，泄漏率在 [Pa/min]內(nèi)，則可以進(jìn)行下面的程序。 ① 完全關(guān)閉二次側(cè)真空閥門，保持待機(jī) 20 秒。 ⑩ 重復(fù) ④～⑥ 操作。 ⑧ 從操作閥門的氬氣手動(dòng)菜單將 MFC 流量值設(shè)定為 150[SLM]，按下頂部托盤閥的【 打開 】按鈕，從頂板處使 氬 氣流入，直至接近大氣壓，進(jìn)行 氬 氣的轉(zhuǎn)換。 ⑥ 保持 30分鐘抽空狀態(tài)。 ④ 將輔助真空閥門慢慢地全部擰緊。 ② 確認(rèn)爐筒和爐體上的各種 閥門是否完全關(guān)緊 。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 7/23 ３－２ 運(yùn)行程序 ３－２－１ 抽取真空程序 將手動(dòng) /自動(dòng)切換開關(guān)切換至手動(dòng)，按下 【 氬氣 】 按鈕，出現(xiàn)以下畫面。 手動(dòng)菜單各工序 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 6/23 ① 如自動(dòng)控制畫面所示，畫面左側(cè)上部是表示個(gè)各工序，畫面左側(cè)下部為各工序控制值圖表，畫面右側(cè)則是當(dāng)時(shí)爐內(nèi)控制狀況的表示。 畫面下方的【 工序復(fù)位 】、【 下一步 】、【 觀察影像 】等各按鈕的使用方法將在之后各工序中追加說明。 自動(dòng) /手動(dòng) 共通表示 ① 手動(dòng)控制畫面所示，點(diǎn)擊畫面中間的【 籽晶 】、【 坩
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