江南電力光伏單晶爐sop操作標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范說明書(23頁)-作業(yè)指導(dǎo)-展示頁
2024-08-29 18:50本頁面
【正文】 堝 】、【 加熱器 】、【 壓力 】、【 泄漏檢查 】、【 氬氣 】、 等各個(gè)按鈕，即能顯示畫面左側(cè)相應(yīng)的手動(dòng)菜單，可以進(jìn)行設(shè)定值變更， 氬 氣流流入路徑的確認(rèn)和變更，以及泄漏檢查所需時(shí)間的確認(rèn)。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 4/23 ２－６ 設(shè)定值的輸入 ① 下列設(shè)定項(xiàng)目中，有新輸入或數(shù)值變更時(shí)，參考作業(yè)說明書，輸入各項(xiàng)。 ③ 將爐蓋緩慢下移，直至使?fàn)t蓋下端和爐體上端的空隙為 10mm左右。 抽取真空準(zhǔn)備 ① 將上爐蓋和爐體的法蘭接合處用浸有酒精的刷子擦拭干凈。 ⑥ 操作籽晶升降系統(tǒng)，將籽晶提升到行程上限。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 3/23 ⑤ 從籽晶頭有缺口一端插入，插至最底部，固定籽晶。 ③ 用酒精擦拭籽晶夾和籽晶桿。 籽晶的放置 ① 戴好乳膠手套。 要避免與石英坩 堝撞擊，要特別注意不能使石英 坩 堝 有 破損和缺口 ,注意不能掉落原料硅在外面 ,萬一出 現(xiàn)原料硅掉落在外，這些原料因?yàn)槲廴緦⒉荒茉偈褂谩? ? 填 充操作時(shí)，原料硅和石英坩 堝的接觸面積盡可能小。由于乳膠 手套容易損壞，所以一定要勤于更換。左手則戴上一副乳膠手套。 不要讓摻雜劑飛灑到石英坩 堝外 。 摻雜劑 的添加 ① 選取與要結(jié)晶的單晶硅類型相吻合的摻雜劑種類，稱取相應(yīng)的重量。 ③ 將石英坩堝放入石墨坩 堝后，應(yīng)注意石英 坩 堝邊緣應(yīng)與石 墨坩堝邊緣相平行 。 本 資 料來自 單晶爐操作說明書 TDRJN 系列 常州 江南電力光伏科技股份 有限公司 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 1/23 目 錄 第１章 序言 4 第２章 運(yùn)轉(zhuǎn)準(zhǔn)備 ２－１石英坩 堝 的 放 置 雜劑的添加 ２－３ 填入多晶硅原料 4 ２－４ 籽晶的放置 4 ２－５ 抽真空準(zhǔn)備 5 ２－６ 設(shè)定值的輸入 5 第３章 運(yùn)行程序 ３－１ 拉晶程序 5 ３－１－１ 手動(dòng)控制畫面表示的說明 5 ３－１－２ 自動(dòng)控制畫面表示的說明 6 ３－２ 運(yùn)行程序 ３－２－１ 抽真空程序 7 ３－２－２ 泄漏檢查程序 8 ３－２－３ 自動(dòng)程序的開始 8 ３－２－４ 化料程序 9 ３－２－５ 穩(wěn)定程序 10 ３－２－６ 引晶程序 11 ３－２－７ 放肩程序 12 ３－２－８ 轉(zhuǎn)肩 程序 13 ３－２－９ 等徑程序 14 ３－２－１０ 收尾程序 15 ３－２－１１冷卻程序 16 ３－２－１２晶棒的卸下 17 ３－２－１３ 清潔爐腔 18 第４章 其他運(yùn)行程序 ４－１ DIP 溫度導(dǎo)致的回熔 19 ４－２ 化料功率導(dǎo)致的回熔 20 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 2/23 石英坩 堝 的放置 ① 戴好乳膠手套，從箱子里取出石英坩 堝 。 ② 拿起坩 堝在燈光下觀察，確認(rèn)無裂紋，缺口，小孔，污漬等外觀不良事實(shí)。 操作時(shí)應(yīng)注意石墨材料上無裂紋等。 ② 在石英坩 堝內(nèi)添加 摻雜劑。 填入多晶硅原料 ① 右手上戴上棉手套，再戴上 3至 5副乳膠手套。 為了防止原料硅的污染、一定要用帶了多層手套的手 去抓原料，用另一只手握住裝原料的袋子。 ② 將原料硅放入石英坩 堝底部，逐步向上填補(bǔ) 。 ? 盡量避免石英坩 堝與原材料 硅的接觸，即使有接觸，也應(yīng)避免面接觸，而以點(diǎn)接觸的形式補(bǔ)充。 ③ 填充操作結(jié)束后，用真空吸塵 器 除去粘在爐體表面、爐體法蘭表面、加熱器表面上的原料硅粉末。 ② 使用籽晶升降系統(tǒng)，下降籽晶夾和籽晶架。 ④ 用 蝕 刻 液（氟 酸 1：硝酸 2） 蝕 刻籽晶 后，再用蒸餾水洗凈。 固定后要確認(rèn)籽晶確無晃動(dòng) ， 檢查 確認(rèn) 籽晶原點(diǎn)是否正確 。 ⑦ 將坩 堝下降到行程下限。 ② 提起升降機(jī)構(gòu)，用手推動(dòng)上爐蓋，在確認(rèn)上爐蓋的下方不會(huì)碰到坩堝后，將起重旋鈕轉(zhuǎn) 到關(guān)閉位置，下降爐蓋。 ④ 然后再一點(diǎn)一點(diǎn)慢慢做業(yè)， 將上爐蓋和爐體間的法蘭正確的關(guān)閉，并將起重機(jī)構(gòu)下降至最 低的極限位置。 1. 工序參數(shù)設(shè)定 2. 過程參數(shù)表設(shè)定
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