江南電力光伏單晶爐sop操作標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范說明書(23頁)-作業(yè)指導(dǎo)-在線瀏覽
2024-10-20 18:50本頁面
【正文】 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 5/23 第３章 運(yùn)轉(zhuǎn)程序 ３－１ 拉晶程序 ３－１－１ 手動(dòng)控制畫面的說明 將手動(dòng) /自動(dòng)切 換開關(guān) 切換至手動(dòng)時(shí)，顯示下面的畫面 。 ② 畫面右側(cè)的自動(dòng) /手動(dòng)共同表示部分能顯示當(dāng)前爐內(nèi)控制狀況。 ３－１－２ 自動(dòng)控制畫面表示的說明 將手動(dòng) /自動(dòng)切換開關(guān)切換 至自動(dòng)時(shí)，顯示如下畫面。 ② 具體的操作方法在之后的各工序中追加說明。 ① 確認(rèn)主真空 閥門 ， 輔助真空 閥門是否完全關(guān)緊。 ③ 確認(rèn)主真空 泵 ， 輔助真空 泵是否啟動(dòng)；事先確認(rèn)油量。 ⑤ 確認(rèn)操作畫面中監(jiān)視窗口一欄的低位壓力值，當(dāng)達(dá)到 10[kPa]時(shí)，應(yīng)一邊使 氬 氣流入，一邊關(guān)閉輔助真空閥門，將主真空閥門慢慢完全打開。 ⑦ 30分鐘后，關(guān)閉主真空閥門。 ⑨ 從操作閥門氬氣手動(dòng)菜單按下頂部托盤閥的【 關(guān)閉 】按鈕，使氬氣的流入停止。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 8/23 ３－２－２ 泄漏檢查程序 將手動(dòng) /自動(dòng)切換開關(guān)切換至手動(dòng)，按下【 泄漏檢查 】按鈕，顯示如下畫面。 ② 按下泄漏檢查菜單的【 打開 】按鈕。 ④ [Pa/min]以上時(shí)，因?yàn)橛行孤┑牡胤?，按下泄漏檢查菜單的【 關(guān)閉 】按鈕， 321 抽取真空程序⑧中的工序，返回至大氣壓，清除凸緣面等，修補(bǔ)泄漏的幾處，重新實(shí)施抽取真空程序，重復(fù)泄漏檢查程序。 ② 設(shè)定操作面板 氬氣 手動(dòng)菜單 的 MFC流量值為 60[SLM]等，按下頂部托盤閥的【 打開 】按鈕，使氬氣從頂板流入。 ④ 將自動(dòng) /手動(dòng) /就地切換開關(guān)切換到自動(dòng)。 ⑥ 出現(xiàn)上述信息后，要開始自動(dòng)程序的話按【 確定 】按鈕。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 9/23 ３－２－４ 化料程序 化料程序開始時(shí)，若所有條件都具備則出現(xiàn)下面的畫面。 ③ 經(jīng)過 化料 初始化加 熱時(shí)間設(shè)定時(shí)間后，就開始給定預(yù)設(shè)的加熱器功率，在 化料 氬氣流量值設(shè)定流量，在子參數(shù)表中設(shè)定相應(yīng)的坩堝回轉(zhuǎn) (CR)和坩堝上升（ CL）的值。以后將隨著設(shè)定值移動(dòng)，最終將停止在 DIP位置上。這時(shí)如果多晶硅原料還未完全熔解的話則應(yīng)多放置一會(huì)，待其完全熔解后按【 確定 】按鈕，便可以手動(dòng)轉(zhuǎn)到穩(wěn)定程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 10/23 3－２－５ 穩(wěn)定程序 化料程序按照子參數(shù)設(shè)定完了時(shí)，顯示以下畫面，表示可以進(jìn)行下面的程序。 ② 穩(wěn)定程序開始時(shí)，操作畫面工序欄【 穩(wěn)定 】加色顯示，按照工序參數(shù)和子參數(shù)表的設(shè)定值，進(jìn)行自動(dòng)運(yùn)行。 ④ 加熱器輸入信號(hào)被變?yōu)榉€(wěn)定冷卻加熱器功率的設(shè)定值，液體溫度開始下降。 ⑥ 按下主畫面【 穩(wěn)定 】按鈕，顯示安定程序進(jìn)行狀況。 ① 按【 引晶 】按鈕，開始引晶程序 顯示引晶程序開始。 ③ 經(jīng)過引晶籽晶燒灼時(shí)間后，籽晶開始下降到引晶籽晶燒灼位置處。 ⑤ 在籽晶接觸液體部分出現(xiàn)水蒸氣，形成 DF線后啟動(dòng)籽晶底速上升。 ⑦ 到達(dá)引晶目標(biāo)直徑的設(shè)定值， 設(shè) 定 值 到達(dá)后開始維持引晶直徑， 到達(dá)引晶保持定時(shí)器的設(shè)定值時(shí)，將自動(dòng)的轉(zhuǎn)到放肩程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 12/23 ３－２－７ 放肩程序 引晶程序完全按照子參數(shù)設(shè)定那樣完成時(shí)，出現(xiàn)下面的畫面，表示可以進(jìn)行下面的程序。 顯示放肩程序開始的畫面。 ③ 慢慢下降籽晶 (SL)直到到達(dá) S/L設(shè)定值。 ⑤ 溫度控制是按照加熱器設(shè)定值進(jìn)行控制的。 ⑦ 如果卷尺測定值達(dá)到 應(yīng)該執(zhí)行的放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑，而未到達(dá)放肩轉(zhuǎn)肩提升直徑的程序設(shè)定值時(shí)，也不能進(jìn)行接下來的程序，因?yàn)榻Y(jié)晶設(shè)定的直徑更大的原因，按【 下一步 】按鈕，才能完成強(qiáng)制性的轉(zhuǎn)換程序。 把這時(shí)直徑的數(shù)值設(shè)定為下次 CROWN 轉(zhuǎn)肩提升直徑的設(shè)定值。 ２） 點(diǎn)擊表示值后，用十進(jìn)制數(shù)值輸入。 ① 當(dāng)放肩程序的拉晶直徑到達(dá)預(yù)定值時(shí)，將自動(dòng)換到轉(zhuǎn)肩程序。 ③ 程序轉(zhuǎn)換后，籽晶提升 (SL)會(huì)慢慢加速，到達(dá)轉(zhuǎn)肩 S/L的設(shè)定值。 ⑤ 開始 轉(zhuǎn)肩坩堝進(jìn)度比率控制。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 15/23 ３－２－９ 等徑 顯示等徑程序開始畫面。 顯示等徑程序開始的畫面 ② 等徑程序開始時(shí)，操作畫面左側(cè)的工序表示欄【 等徑 】，【 等徑 】處將被加色顯示，為了使等徑目標(biāo)直徑按預(yù)定控制直徑，開始籽晶提升 (SL)的變動(dòng)。 ④ 當(dāng)結(jié)晶長到達(dá)等徑溫度控制開始長度的設(shè)定值時(shí)，溫度運(yùn)作開始，開始控制液體溫度。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 16/23 ３－２－１０ 收尾程序 顯示收尾程序開始。 顯示收尾程序開始的畫面 ② 收尾程序開始后，操作畫面左側(cè)工序表示欄的【 收尾 】處被加色顯示，按工序參數(shù)、子參數(shù)表的設(shè)定值進(jìn)行自動(dòng)程序。 ③ 確認(rèn)晶棒從液
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