江南電力光伏單晶爐sop操作標準規(guī)范說明書(23頁)-作業(yè)指導(參考版)
2024-08-21 18:50本頁面
【正文】 ? 以 后，按正常的自動控制再次進行引晶程序。 ? 出現(xiàn)表面張力的凹處 DF線后，將操作面板右側的切換開關從手動切換到自動。 ? 用籽晶高速電動機將籽晶下降至預熱位置以下，將籽晶回轉 (SR)慢慢變更到引晶程序同一值。 ? 因為液體溫度會下 降，當 DIP 溫度接近 2～ 5℃度左右時，將直流轉換器溫度控制設定值變更為 DIP TDRJN 系列單晶爐操作說明書 22/23 溫度，從功率控制變?yōu)闇囟瓤刂啤? ? 回熔完成后，將籽晶移動至 ReChamber 的 BuBooto處，用坩堝高速 電動 機將坩堝移動到 DIP處。 ⑩ 使加熱器功率的設定值與化料完成功率處于同一值。 ⑧ 將 旋轉速度值 (CR)的設定值變更為 2[rpm]。 ⑥ 按下畫面中央【 坩堝 】按鈕，使顯示坩堝手動菜單。 ④ 按下 【停止 】按鈕，使籽晶升降 (SL)停止。 ② 將操作面板右側的切換開關從自動切換至手動。 為了重新做化料程序，回熔結束后，手動實施安定程序。以后，用常規(guī)的自動控制實施引晶程序。 ? 因為操作畫面會從手動控制畫面回到自動控制畫面，按下畫面下方的【 工序控制 】按鈕，進行引晶重啟。 ? 用籽晶高速電動機將籽晶浸入液面。 ※ 因無引晶引起的回熔不需要使用該做業(yè)。 ? 按下畫面內的【 坩堝 】按鈕，使顯示坩堝手動菜單。 ? 回熔結束后，將籽晶上升至液面上方 20～ 30cm，按下畫面內的【 籽晶 】按鈕，使顯示籽晶手動菜單。 ⑩ 在直流轉換器溫度控制設定值與 DIP 溫度處同一值時變更，開始調節(jié)溫度。 ※ 因引晶切斷而導致的回熔，該做業(yè)不能實施。 ※ 該做業(yè)是用于有坩堝升降 (CL)的轉肩程序后回熔的場合，如果沒有坩堝升降 (CL)的則不運行。 ⑥ 按下畫面中央【 坩堝 】按鈕，使顯示坩堝手動菜單。 ④ 按下【 停止 】按鈕，停止籽晶升降 (SL)。 ② 將操作面板右側的切換開關從自動切換至手動。 回熔結束后進行再溫調時，根據(jù)不同的情況，變更 DIP 溫度設定溫度的情況。 注意：處理時不要讓硅棒材料出現(xiàn)裂痕。 ? 下降坩堝至最下方，然后再提高，再次確認鎂光。 ? 差不多鎂光位置，回轉加熱器和石墨坩堝，確認兩者間是否有 2mm以上的間距。 ? 將加熱環(huán)設定在基本上中心位置。 ? 關上 潔 具確認加熱器的螺 絲是否有松弛，有松弛時，把其加緊同時要注意不要擰太緊。 ? 坩堝冷卻后，戴上 專用 手套，取出石英坩堝中殘余的底料，放入專門放底料的容器。 ⑩ 為了讓坩堝冷卻，放置在空氣中一個小時左右。 ⑧ 將爐體升降機構向上移動，使上爐蓋慢慢上升至最高 處。并且下降升降機構到行程下限。 ⑤ 將升降機構升降柄往下一點點移動，直至爐筒下部和出入氣門上部件間距只有 10mm左右。 ③ 使 用清洗潔具、除塵機，除去上爐蓋以及閥門內壁附著的氧化硅后、使 ”BEMCOT ”刷子滲入 IPA，擦拭爐筒內壁、圓型端口玻璃、閥門內壁、凸 緣 處。 ３－２－１３ 清潔爐腔 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 19/23 ① 拔下籽晶拉 鎖，用 “ BEMCOT”刷子包住 ,然后和籽晶拉 鎖別針一 起放在操作箱鍵盤上方專門放小東西的盒子中。 ? 用左手推動引晶下部，右手則用鉗子剪引晶最下部，然后再剪掉籽晶最前端引晶間的部分。 ? 用裝晶車的固定鏈綁住晶棒，防止晶棒的橫向轉動。 ? 移 走晶棒固定裝置。 ⑨ 用手將爐筒推開，將爐筒旋轉到取晶棒的位置。 ⑦ 將晶棒固定裝置安裝在爐筒法蘭上，以避免晶棒突然下落可能產(chǎn)生的事故。 ⑤ 取下爐筒與隔離閥連接的三個螺母。 ③ 按氬氣控制按鈕，在 MFC 流量值輸入 150[SLM]后，按下頂部托盤閥的【 打開 】按鈕。 ① 結束后切換至手動，冷卻 。 ⑨ 以上全部確認后按【 OK】按鈕，將 AUTO/MANUAL 切換開關切換到 MANUAL。 ⑦ 當?shù)竭_安全距離冷卻完成等待時間的設定值時，冷卻爐內直到取出結晶。 ⑤ 加熱器功率隨著冷卻功率的設定值慢慢的下降，同時籽晶回轉 (SR)、坩堝回轉 (CR)也慢慢變慢直至完全停止。 ③ 冷卻程序開始時，操作畫面左側工序表示欄【 結束 】會被加色顯示，由工序參數(shù)、子參數(shù)表的設定值進行自動程序。 TDRJN 系列單晶爐操作說明書 17/23 ３－２－１１ 冷卻程序 收尾程序按照子參數(shù)設定運行完時，出現(xiàn)以下畫面，表示可以進行冷卻程序。 ③ 坩堝上升（ CL） ,籽晶提升 (SL)為收尾 S/L設定值，之后加熱器溫度將按收尾 加熱器的設定值控制。 ① 當?shù)葟匠绦虻慕Y晶提升到達預期的長度時，將自動的轉換到收尾程序。 ⑤ 當結晶長到達等徑收尾提升等徑長度的設定值時，操作面板左側的工序表示欄的【 收尾 】處被加色顯示，自動
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