【文章內容簡介】 參考，點擊右上角之上下鍵，即可觀察每一層堆疊情況。按關閉(右上角x鍵)即可離開，離開後會出現(xiàn)監(jiān)控波長以供選擇。*監(jiān)控波長選擇，可移動鍵盤→←鍵或用滑鼠點選224。223。選取所需監(jiān)控波長，鍵盤↑↓鍵或用滑鼠點選↑↓可切換膜層，選至最後一層時，點選儲存鍵即可儲存，若按取消鍵，就不會儲存新選擇之監(jiān)控波長。*選取監(jiān)控波長一般原則: ?所選取的監(jiān)控波長位於較強之光量處，如此雜訊影響較小，一般大於10000以上，所以在選取長波或短波時需特別小心。 ?選取有回頭點之監(jiān)控波長，其最後一段穿透率變化量需大於 % 以上。 ?在沒有回頭點的監(jiān)控波長下，選取有較佳折射率校正之區(qū)域，一般可選在中波長區(qū)域，如500nm650nm，所選監(jiān)控波長光量變化約最大量的一半為宜。 ?在監(jiān)控波長可能出現(xiàn)不同數(shù)量的回頭點時，儘可能選在參考波長附近那一條。?如修改膜層再測試時，沒有回頭點之監(jiān)控波長儘量不要更改之。如果是認定前次所選不是很恰當?shù)脑?，就另當別論。?若鍍製多層膜，黑藥跟白藥監(jiān)控點建議選擇同一點。 分析檔參數(shù)設定將游標移至”製程分析”224?！狈治鰴n參數(shù)設定”點選,。1) 起始波長與終止波長是分析波長之開始(最短波長)與截止(最長波長)，而起始校正波長與終止校正波長是光譜量測系統(tǒng)校正波長，此四個參數(shù)與光譜系統(tǒng)是相關的，無法更改的，也不允許更改。2) 監(jiān)控波長數(shù)提供使用者設定所要分析之波長數(shù)，以供選擇，波長數(shù)愈多，分析時間愈長，一般不太需要更改原設定值。 基材檔資料 1) 將游標移至”製程分析”224?！被臋n資料”點選，即出現(xiàn)如圖 。此畫面之功能鍵提供了增加基材與刪除基材資料功能。其中AIR為內建資料，不能刪除，也不能編輯修改。2) *01新增基材資料: ”功能”選項點選”增加基材材料”，鍵入所要基材名稱，按下OK即可完。 *02刪除基材資料: ，將滑鼠點選所要移除的基材(呈現(xiàn)反藍) ，再點選”功能”選項裡的”刪除基材材料”，按是即可刪除，反之按否。(需注意刪除路徑檔名是否正確)。 3)要修改基材之NK值,可直接點”材料編輯”224?！憋@示資料”，便可進行資料修改。若要增加或減少資料筆數(shù)，可從功能選項裡的增加資料及刪除資料來進行。 膜材檔資料1) 將游標移至”製程分析”224?！蹦げ臋n資料”點選，即出現(xiàn)如圖 。此畫面之功能鍵提供了增加膜材與刪除膜材資料功能。2) *01新增膜材資料: ”功能”選項點選”增加膜材材料”，鍵入所要膜材名稱，按下OK即可完。 *02刪除膜材資料: ，將滑鼠點選所要移除的膜材(呈現(xiàn)反藍) ，再點選”功能”選項裡的”刪除膜材材料”，按是即可刪除，反之按否。(需注意刪除路徑檔名是否正確)。 3)要修改膜材之NK值,可直接點”材料編輯”224?！憋@示資料”，便可進行資料修改。若要增加或減少資料筆數(shù)，可從功能選項裡的增加資料及刪除資料來進行。 膜材分析結果 將游標移至”製程分析”224?！蹦げ姆治鼋Y果”點選，即出現(xiàn)如圖 。此畫面提供使用者不需再經(jīng)膜層分析，就可再觀察監(jiān)控片膜層推疊的分析光譜。若使用者對製程未分析或膜厚有所改變的話，此功能就會反白，提省使用者注意。 監(jiān)控波長選取 將游標移至”製程分析”224。”監(jiān)控波長選取”點選，即出現(xiàn)如圖 。此畫面提供使用者不需再經(jīng)膜層分析，就可再選取所要的監(jiān)控波長。若使用者對製程未分析或膜厚有所改變的話，此功能就會反白，提省使用者注意，必需再經(jīng)分析，才可獲得正確的監(jiān)控波長以供選擇。 資料轉換 1) 此鍍膜系統(tǒng)提供了直接由 TFCalc 薄膜設計軟體所設計的光學膜厚轉換到製程檔裡的膜厚欄，可免除資料書寫、鍵入的麻煩與錯誤。尤其膜層愈多顯現(xiàn)的效率愈好。2) 操作即為簡單，將游標移至”製程分析”224?！辟Y料轉換”點選，即出現(xiàn)如圖 ，點選路徑及所要轉換的薄膜設計檔檔名，再按下”開啟”鍵，就會出現(xiàn)如圖 。在此畫面輸入所要取代的膜層起始位置與終止位置，按下”O(jiān)K”即可完成，若有疑問或不想儲存按下”Cancel”即可離開。提醒使用者需事先由檔案功能開啟所要修改之製程檔。 比率(Tooling)設定 1) 提供使用者快速更改膜藥的Tooling Factor，只要製程中會用到的膜材即會出現(xiàn)在下拉式圖框中，將其點選出來，再輸入比率，按下”確定”鍵，如此就會將此比率值寫入製程檔裡相對應的比率欄中，若有疑問或不想儲存按下”退出”即可離開。2) 此比率值需做膜材測試、量測、計算方可得知。 製程監(jiān)控 此主下拉功能細分下列幾項次功能 自動蒸著 補層蒸著 製程組態(tài)設定 電子鎗組態(tài)設定 電極組態(tài)設定 電子鎗掃瞄設定 離子源組態(tài)設定 參考光量掃瞄 暗區(qū)掃瞄 監(jiān)控波長顯示 蒸著製程狀態(tài)訊息 蒸著製程廣波域訊息 蒸著製程監(jiān)控波長訊息 蒸著製程石英膜厚訊息 蒸著製程蒸著速率訊息 蒸著製程氧氣流量訊息 蒸著製程真空訊息 蒸著製程鍍藥預融 手動蒸著1) “自動蒸著”與”補層蒸著”功能提供了實際鍍膜蒸著的進入點。2) 與蒸著製程監(jiān)控的相關參數(shù)有製程組態(tài)參數(shù)、電子鎗參數(shù)、電極參數(shù)、電子鎗掃瞄參數(shù)與離子源參數(shù)等等，若系統(tǒng)中沒有提供某項設定功能，則此功能列呈現(xiàn)反白。3) 蒸著製程訊息含狀態(tài)訊息、廣波域訊息、監(jiān)控波長訊息、石英膜厚訊息、蒸著速率訊息、氧氣流量訊息、真空訊息與鍍藥預融等等，在不同的蒸著條件下，系統(tǒng)會自動出現(xiàn)不同的訊息圖框，即時顯示蒸著狀況，以利使用者隨時掌握。每一訊息框可獨立放大、縮小或關閉，是不會影響自動蒸著程序，若關掉其中某一訊息框，可點選相對應之下拉功能鍵將其顯示出來，如關閉監(jiān)控波長訊息，將游標移至”製程監(jiān)控”224?！闭糁u程監(jiān)控波長訊息”點選，即可顯示出監(jiān)控波長訊息框，非必要，請勿任意關閉自動顯示之訊息框。 自動蒸著 1) 將游標移至”製程監(jiān)控”224。”自動蒸著”點選，即可進入自動蒸著，在實際啟動電子鎗蒸著前，需滿足製程所設定之條件與參數(shù)，否則無法進行實際蒸著。大致所要滿足的條件如下: (***.tfc)是否選擇正確，有對話框出現(xiàn)，請操作者確認。，分析資料檔(***.mit)是否讀取正確，有對話框出現(xiàn)，請操作者確認。，若有問題，會出現(xiàn)一些訊息或無法進入蒸著，可利用硬體測試作逐項測試，進而排除故障點。，若無法正確讀取，會出現(xiàn)警報訊息，提醒操作者注意，請排解確認後再重新進入。、監(jiān)控片位置或是否自動洩氣提示框，務必詳加確認。有必要可按”省略”鍵直接進入，需退出直接按下”放棄”鍵即可。 滿足了上面的條件即可初始化一些硬體動作，待完成後，就可進入鍍膜製程設定的第一層，往下就進入了自動蒸著程序，除非有問題或設定有手動操作程序，否則直到製程完了，不需任何手動操作。 2) 進入膜層蒸著程序一般有下列之程序，由於系統(tǒng)與版本的差異，設定動作或許先後有點差別或缺某些動作，但皆應在遮板打開前完成。1. 等待膜層設定之等待真空，或許未設定。2. 修正板就定位3. 監(jiān)控片位置定位確認4. 坩堝位置定位確認5. 通氧確認6. 石英條件確認7. 膜藥預融8. 參考光量確認(光學膜厚監(jiān)控)或石英膜厚確認是否歸零(物理膜厚監(jiān)控)9. 打開電子鎗遮板，進行蒸著10. 即時監(jiān)控膜厚與蒸著條件，達設定膜厚即關閉電子鎗與遮板，進入 下層，重複19之動作 補層蒸著1) 將游標移至”製程監(jiān)控”224?！毖a層蒸著”點選，即可進入補層蒸著，其程序如同自動蒸著。2) 什麼時機會用到補層蒸著程序呢？一般製程正常的話，只要點選”自動蒸著”，就可順利完成鍍膜製程，但製程中若有異?；驙顩r發(fā)生，迫使蒸著製程必要中斷的話，就必要利用”補層蒸著”由中斷層進入蒸著，完成整個鍍膜程序，否則只有報廢。3) 由於不同的膜層監(jiān)控方式，如進入層是光學膜厚監(jiān)控的話，；如進入層是石英膜厚監(jiān)控的話。4) 參數(shù)說明: *: 設定進入補層之層數(shù) *: 要進入補的那一層若未鍍過，而且監(jiān)控片是新的監(jiān)控片時，選擇”是(Yes)”，反之選”否(No)”。切記:進入層已鍍過或非堆疊的第一層，務必選否(No) ，否則會造成無法挽救的後果。 *: 設定進入層是否自動換層，若是選擇”是(Yes)”，反之選”否(No)”。若是因回頭點過多或雜訊過大中斷再進入的話，務必要選”否(No) ，手動換層，否則系統(tǒng)進入蒸著時，會有異常訊息出現(xiàn)或直接跳到下一層。 *: 若進入之補層是監(jiān)控片的第一層且尚未鍍過，確認現(xiàn)在監(jiān)控片是否用過，若用過則選擇”是(Yes)”，反之選”否(No)”。 切記:進入層已鍍過或非堆疊的第一層，務必選否(No) ，否則會造成無法挽救的後果。有的版本無此選項功能，監(jiān)控片內定不會轉動，若有需要須手動切換。*: 若進入之補層若尚未鍍過，選擇”是(Yes)”，反之選”否(No)”。石英膜厚監(jiān)控之補層會自動換層，無需設定?！斠磺性O定完成後，按”確定”即可進入補層蒸鍍，按”退出”就會離開蒸著程序，回到等待程序中。 製程組態(tài)設定1) 將游標移至”製程監(jiān)控”224?！毖u程組態(tài)設定”點選，即可進入系統(tǒng)相關參數(shù)設定，設定完成後，按下”確定”鍵即可儲存設定值並離開，若只是查詢參數(shù)，直接按下”取消”即可離開，任意修改不會被儲存。2