薄膜制備的真空技術(shù)基礎(編輯修改稿)
2025-05-30 18:46 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 乘積 ) 21 ppQC??薄膜制備的真空技術(shù)基礎 19 分子流氣體：流導 C與壓力無關(guān)，受管路形狀影響，且與 氣體種類、溫度 有關(guān)。 例：一個處于兩個直徑很大的管路間的通孔，設孔的截面積為 A，則其流導應正比于通孔兩側(cè)氣體分子向通孔方向流動的流量之差。通孔的流導 M2RTAnACπφ ??薄膜制備的真空技術(shù)基礎 20 粘滯流氣體：氣體流導的數(shù)值還隨氣體的壓力呈現(xiàn)復雜的變化。 一般規(guī)律是，當壓力升高時，氣體通過單位面積的流量有增加的趨勢，因而管路流導的數(shù)值隨壓力的升高而增加 。 不同流導 C C C3相互串聯(lián)或并聯(lián)，形成總流導 C： 串聯(lián)流導 并聯(lián)流導 3213211111CCCCCCCC??????薄膜制備的真空技術(shù)基礎 21 真空泵的抽速 思考：真空泵的抽速和管路的流導有何區(qū)別？ pQSp ?p — 真空泵入口處氣體壓力 Q — 單位時間內(nèi)通過真空泵入口處氣體流量 薄膜制備的真空技術(shù)基礎 22 圖 沒有回流 (a)和有回流 (b) 情況下真空系統(tǒng)的模型 圖 ： 流量相等 Q=C (ppp)= Sp pp 實際抽速 CSCSpQSpp???真空系統(tǒng)設計的一個 基本原則 ：確保 C大于 Sp。 當 Sp=C時， S=Sp/2。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎 23 真空泵可以提供的極限真空度 （存在氣體回流的情況） ppp?設：回流量 Qp， ppSQp ?0令 Q=0， 極限真空度 )1( 0ppSpQS p ???實際抽速 )1( pSQpSQpSQppppp ????流量相等 dtdpVdtpVdQ ???? )(VtSipeppptp ???? )()(00壓力隨時間的變化規(guī)律 t=0時的真空度 Back 薄膜制備的真空技術(shù)基礎 24 按獲得真空的方法，真空泵分為兩大類： ?輸運式真空泵： 采用對氣體進行壓縮的方式將氣體分子 輸送 至真空系統(tǒng)之外。（ 機械式氣體輸運泵 ，如旋片式機械真空泵、羅茨泵、渦輪分子泵；氣流式氣體輸運泵 ，如油擴散泵 ） ?捕獲式真空泵： 依靠在真空系統(tǒng)內(nèi)凝集或吸附氣體分子的方式將氣體分子 捕獲 ，排除于真空系統(tǒng)之外。（低溫吸附泵、濺射離子泵） ★ 某些捕獲式真空泵在工作完畢以后還可能將己捕獲的氣體分子釋放回真空系統(tǒng)。 真空泵簡介 薄膜制備的真空技術(shù)基礎 25 旋片式機械真空泵 ★ 工作原理： 依靠安臵在偏心轉(zhuǎn)子中的可以滑進滑出的旋片將氣體隔離、壓縮，然后排出泵體之外。 薄膜
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