薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ)-資料下載頁(yè)
2025-05-03 18:46本頁(yè)面
【正文】 溫度 不同而存在誤差。 在分子流狀態(tài)，而且真空室與測(cè)量點(diǎn)之間存 在較細(xì)的管道連接時(shí)，測(cè)量壓力 pm和實(shí)際壓力 pc之間的關(guān)系將可由 分子凈通量為零 的條件得 出： mcmcTTpp ?Tc、 Tm — 真空室和測(cè)量點(diǎn)處氣體溫度 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 35 熱偶真空規(guī)和皮拉尼（ Pirani）真空規(guī) ★ 熱偶真空規(guī)工作原理：將作為熱絲的 Pt通過恒定強(qiáng)度的電流。在達(dá)到熱平衡以后，電流提供的加熱功率與通過空間熱輻射、金屬絲熱傳導(dǎo)以及氣體分子熱傳導(dǎo)而損失的功率相等，因而 熱絲的溫度將隨著真空度的不同而有規(guī)律變化 。 設(shè)計(jì)基礎(chǔ)：氣體 熱導(dǎo)率 隨氣體壓力的變化。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 36 熱電勢(shì)隨氣體壓力的變化曲線 缺點(diǎn)：非線性，測(cè)量結(jié)果與氣體種類有關(guān)，零點(diǎn)漂移嚴(yán)重。 優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。 測(cè)量范圍 : 氣體的熱導(dǎo)率將隨著氣體壓力的增加而上升，因而熱絲的溫度會(huì)隨著氣體壓力的上升而降低。這時(shí)，用熱電偶測(cè)出了熱絲本身的溫度，也就相應(yīng)測(cè)出了環(huán)境的氣體壓力。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 37 皮拉尼真空規(guī)：又稱熱阻式真空規(guī)，通過測(cè)量熱絲的 電阻隨溫度的變化 來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的測(cè)量。 優(yōu)缺點(diǎn)：同熱偶真空規(guī) 類型：定溫度型，定電流型 和定電壓型。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 38 電離真空規(guī) ★ 工作原理：熱陰極發(fā)射出的電子在飛向陽(yáng)極過程中碰撞氣體分子使之電離。離子收集極接收電離的離子，根據(jù)離子電流強(qiáng)度 Ii的大小測(cè)量環(huán)境真空度。 —— 與熱偶真空規(guī)結(jié)合使用的高真空規(guī) 陰極發(fā)射的電子電流強(qiáng)度 Ie、氣體分子的碰撞截面、氣體分子的密度 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 39 離子電流與氣體壓力之間的關(guān)系 測(cè)量范圍： 1~107Pa 缺 點(diǎn)： 測(cè)量值與所測(cè)氣體 種類有關(guān)。 ▲ 為了消除真空規(guī)本身放氣對(duì)高真空度時(shí)測(cè)量值的影響，在使用之前需加熱至稍高的溫度進(jìn)行預(yù)先烘烤，以減少測(cè)量時(shí)放氣的影響。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 40 薄膜真空規(guī) 工作原理：薄膜在氣體壓力差下產(chǎn)生機(jī)械位移。 測(cè)量范圍 下限： 103Pa 上限：取決于薄膜材料本身抗破壞的強(qiáng)度或薄膜的位移極限。 優(yōu)點(diǎn)：絕對(duì)測(cè)量，測(cè)量結(jié)果與氣體種類無(wú)關(guān)，線性度很好。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 41 ★ ★ 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 42 Back 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 43 本章小結(jié) 1. 概念：平均自由程，通量，流導(dǎo)，抽速 2. 真空的劃分， 氣體流動(dòng)狀態(tài)的劃分（克努森準(zhǔn)數(shù) Kn） 3. 真空泵的工作原理及適用范圍 （ 旋片式機(jī)械真空泵、渦輪分子泵、濺射離子泵 ） 4. 真空計(jì)的工作原理及適用范圍 （ 熱偶真空規(guī)、電離真空規(guī) ）
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