薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ)-wenkub.com
2025-04-30 18:46 本頁(yè)面
【正文】 優(yōu)點(diǎn)：絕對(duì)測(cè)量，測(cè)量結(jié)果與氣體種類無(wú)關(guān)，線性度很好。 —— 與熱偶真空規(guī)結(jié)合使用的高真空規(guī) 陰極發(fā)射的電子電流強(qiáng)度 Ie、氣體分子的碰撞截面、氣體分子的密度 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 39 離子電流與氣體壓力之間的關(guān)系 測(cè)量范圍： 1~107Pa 缺 點(diǎn)： 測(cè)量值與所測(cè)氣體 種類有關(guān)。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 37 皮拉尼真空規(guī)：又稱熱阻式真空規(guī)，通過(guò)測(cè)量熱絲的 電阻隨溫度的變化 來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的測(cè)量。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 36 熱電勢(shì)隨氣體壓力的變化曲線 缺點(diǎn)：非線性，測(cè)量結(jié)果與氣體種類有關(guān)，零點(diǎn)漂移嚴(yán)重。（真空計(jì)、規(guī)管） ? 絕對(duì)真空計(jì)： 通過(guò)測(cè)定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)（ U型真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)等） 特點(diǎn)：測(cè)量比較準(zhǔn)確，氣壓低時(shí)測(cè)量極其困難 ? 相對(duì)真空計(jì)： 通過(guò)測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量，并與絕對(duì)真空計(jì)比較后得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)（放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等） 特點(diǎn)：準(zhǔn)確度略差，可測(cè)量低氣壓 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 34 由儀器測(cè)出的真空度與真空室的實(shí)際真空度 之間可能會(huì)由于 溫度 不同而存在誤差。 活性很高的 Ti原子以吸附或化學(xué)反應(yīng)的形式捕獲大量氣體分子并使其在泵體內(nèi)沉積下來(lái)，實(shí)現(xiàn)無(wú)油高真空環(huán)境。 適用范圍： 1~108 Pa 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 30 低溫吸附泵 工作原理： 依靠氣體分子在低溫條件下自發(fā)凝結(jié)或被其他物質(zhì)表面吸附而獲得高真空。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 26 理論抽速 Sp=轉(zhuǎn)子與定子間的體積 V 轉(zhuǎn)速 f抽速范圍 :1~300L/s，極限真空度： 101 Pa 特點(diǎn)： 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 、工作可靠 缺點(diǎn)：油污染 工作原理示意圖： 單獨(dú)使用或高真空系統(tǒng)的前級(jí)真空 吸氣 壓縮 排氣 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 27 羅茨（ Roots）真空泵 工作原理： 泵內(nèi)兩個(gè)呈 8字型的轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)。 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 23 真空泵可以提供的極限真空度 （存在氣體回流的情況） ppp?設(shè)：回流量 Qp， ppSQp ?0令 Q=0， 極限真空度 )1( 0ppSpQS p ???實(shí)際抽速 )1( pSQpSQpSQppppp ????流量相等 dtdpVdtpVdQ ???? )(VtSipeppptp ???? )()(00壓力隨時(shí)間的變化規(guī)律 t=0時(shí)的真空度 Back 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 24 按獲得真空的方法，真空泵分為兩大類： ?輸運(yùn)式真空泵： 采用對(duì)氣體進(jìn)行壓縮的方式將氣體分子 輸送 至真空系統(tǒng)之外。通孔的流導(dǎo) M2RTAnACπφ ??薄膜制備的真
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