薄膜制備的真空技術基礎(2)(編輯修改稿)
2025-05-30 18:46 本頁面
【文章內容簡介】 相當抽氣能力時的壓強范圍。 真空泵簡介 按真空獲得方法的不同 ,可以將真空泵分為兩大類 ,即 運輸式真空泵和捕獲式真空泵 . 運輸式真空泵 采用對氣體進行壓縮的方式將氣體分子輸送至真空系統(tǒng)之外 . 機械式氣體輸運泵 : 旋片式機械真空泵、羅茨泵和渦輪分子泵 氣流式氣體輸運泵：油擴散泵 捕獲式真空泵 則依靠在真空系統(tǒng)內凝結或吸附氣體分子的方式將氣體分子捕獲 ,排除于真空過程之外 .包括低溫吸附泵、濺射離子泵等。 真空泵簡介 旋片式機械真空泵 原理：利用插在偏心轉子中的數(shù)個可以滑進滑出的旋片將泵體內的氣體隔離、壓縮，然后將其排除泵體之外。 特點：結構簡單、工作可靠 缺點：油污染真空系統(tǒng)。 真空泵簡介 羅茨真空泵 真空泵簡介 油擴散泵 油擴散泵的特點 ?成本低廉、經(jīng)濟耐用、無振動 ?工作范圍：低真空 ～中、高真空 ?缺點：返油、預熱 真空泵簡介 渦輪分子泵 渦輪分子泵的特點 ?抽速大、無油、啟動快 ?工作范圍：低真空 ～中、高真空，大氣 ～超高真空 ?極限真空： 106/ 1010torr ?缺點：振動、成本高、易損 真空泵簡介 低溫吸附泵 低溫吸附泵的特點 ?成本低廉、簡單耐用 ?工作范圍：大氣 ～低真空 ?極限真空： 101~108pa ?優(yōu)點：無油、無振動 ?缺點：使用成本比較高 真空泵簡介 濺射離子泵 濺射離子泵的特點 ?抽速大、無油、無振動 ?工作范圍：中高真空 ～超高真空 ?極限真空： 108Pa ?缺點：惰性氣體抽速低 真空泵簡介 真空的測量 熱偶真空規(guī)和皮拉尼（ Pirani）真空規(guī) 測量原理：利用氣體的熱傳導現(xiàn)象，以氣體的熱導率隨氣體壓強的變化為基礎。 測量真空度的辦法通常先在氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后測量這個過程中與氣體壓強有關的物理量，再設法確定出真空壓強來。 真空的測量 熱偶真空規(guī) 工作原理 ?燈絲通過一定電流加熱； ?氣體分子通過碰撞冷卻燈絲； ?利用熱偶測量燈絲溫度的變化，并通過改變燈絲電壓維持燈絲電流恒定，從而確定氣體密度 －－－熱電偶規(guī)的特點 ?價格低廉、
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