半導(dǎo)體薄膜的制備實驗的特殊性及教學(xué)嘗試(編輯修改稿)
2024-10-27 15:55 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 理； 簡述熱電偶規(guī)工作原理及使用注意事項； 簡述熱陰極電離規(guī)工作原理及使用注意事項； 簡述在濺射過程中所通氣體的作用； 簡述在濺射過程中濺射功率的調(diào)節(jié)及注意事項； 簡述化學(xué)清洗的方法及一般程序； 簡述靶材的技術(shù)要求及制備工藝過程。 半導(dǎo)體薄膜的制備和性能測試實驗的特殊性及教學(xué)嘗試 23 場景對話：實驗過程的一般描述及問答 (多數(shù)未列入實驗指導(dǎo)書和計算機演示中） ? 描述一：打開裝置說明各部分的用途 問物理原理，請自己總結(jié)問題 ? 描述二：調(diào)節(jié)儀器說明其作用 請紀錄和自己總結(jié)問題 ? 描述三：提示學(xué)生觀察實驗現(xiàn)象 請紀錄和自己總結(jié)問題 ? 以上三部分的描述必須體現(xiàn)在實驗報告中。 半導(dǎo)體薄膜的制備和性能測試實驗的特殊性及教學(xué)嘗試 24 描述一： ? A、金屬電極的制備： 為何要用兩級真空系統(tǒng)？ 兩級真空系統(tǒng)的測量、熱偶規(guī)與電離規(guī)的工作原理？ 擴散泵及旋片機械泵的工作原理？通冷卻水的作用 鍍膜時為何要對襯底加熱？ 熱蒸發(fā)原理及其要注意的事項（蒸發(fā)器與襯底之間 為何加擋板？金屬樣品及加熱絲的清洗 ） 襯底基片（硅片、玻璃片及其它）的清洗 半導(dǎo)體薄膜的制備和性能測試實驗的特殊性及教學(xué)嘗試 25 ? B、 ZnO薄膜的制備 為何要用分子泵 — 機械泵兩級真空系統(tǒng)？ 分子泵的工作 原理？它與擴散泵的差別？ 磁控濺射原理及問題 （ 1）直流磁控與射頻磁控濺射的差別 （ 2）磁控濺射中磁場與電場的共同作用下帶電粒 子的運動方式 半導(dǎo)體薄膜的制備和性能測試實驗的特殊性及教學(xué)嘗試 26 描述二 ： A、金屬電極的制備： 注意真空蒸發(fā)調(diào)節(jié)中的細節(jié) 真空泵及測量 裝置的開啟流程： 檢查系統(tǒng)的漏氣情況，尤其檢查鐘罩密封圈有 無纖維等異物，密封圈有無縱向劃痕？ 檢查電路及供水系統(tǒng)是否完好？ 注意擴散泵的開機時機，并相應(yīng)調(diào)節(jié)各真空閥 真空計測量時間的選擇 加熱鎢絲蒸發(fā)源時的注意事項 開啟蒸發(fā)源前為何要關(guān)閉真空計？ 蒸發(fā)電流為何要慢慢增加？ 半導(dǎo)體薄膜的制備和性能測試實驗的特殊性及教學(xué)嘗試 27 ? B ZnO薄膜的制備 真空泵及測量 裝置的開啟流程： 檢查系統(tǒng)的漏氣情況，尤其檢查鐘罩密封圈有 無纖維等異物 檢查電路及供水系統(tǒng)是否完好 注意分子泵的開機時機，并相應(yīng)調(diào)節(jié)各真空閥 氣體流量的設(shè)定 根據(jù)實驗要求設(shè)定濺射氣體與反應(yīng)氣體及其質(zhì) 量流量比 , 本實驗中用氧化鋅粉末靶，為 什麼還要加氧氣作為反應(yīng)氣體？ 實驗控制參數(shù)的設(shè)定 濺射功率、
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