薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ)(2)(已改無錯字)
2023-06-03 18:46:14 本頁面
【正文】 方便、快捷、耐用 －－熱偶規(guī)的使用 ?工作電流：每支熱偶規(guī)的工作電流都不完全一樣。 真空的測量 Pirani真空規(guī) 工作原理 ?燈絲：測量燈絲、參比燈絲； ?參比燈絲密封在高真空管中； ?通過橋電流的大小測量氣體密度 (真空度 ) Pirani規(guī)的特點 ?價格低廉、方便、快捷、可靠 真空的測量 電離真空規(guī) 工作原理 ?由陰極、陽極和離子收集極組成； ?陰極電離氣體產(chǎn)生離子； ?離子收集極收集離子從而測量氣體密度。 電離真空規(guī) 的特點 ?靈敏、準(zhǔn)確，但燈絲容易損壞，價格比較高 電離真空規(guī) 的使用 ?工作電流：離子規(guī)的工作電流不能隨意改變； ?校準(zhǔn)：按真空計的具體步驟校準(zhǔn) 真空的測量 薄膜真空規(guī) 真空的測量 介紹第二種薄膜材料： DLC 膜 Ref: J. Robertson, Materials Science and Engineering R, 37 (2022) 129 介紹第二種薄膜材料： DLC 膜 DLC 膜是一種含有大量 sp3 的亞穩(wěn)態(tài)非晶碳薄膜 , 碳原子間主要以 sp3 和 sp2 雜化結(jié)合 , sp含量較少。 DLC 的結(jié)構(gòu)可以看成是由sp2( 石墨 )和 sp3( 金剛石 ) 雜化的碳原子高度交聯(lián)的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)和孤立的團(tuán)簇所組成 , 因而 DLC 膜的結(jié)構(gòu)和性能介于金剛石和石墨之間。受沉積環(huán)境和沉積方式的影響 , DLC 膜中還可能含氫等雜質(zhì) , 形成各種 C H 鍵。 根據(jù)薄膜中碳原子的鍵合方式 ( C H, C C, C= C) 及各種鍵合方式比例的不同 ,DLC 膜可分為含氫 DLC (hydrogenated amorphous carbon (a C∶ H)) 膜和無氫 DLC(amorphous carbon (a C))膜兩大類。 現(xiàn)在主要是用各種氣相沉積方法制備 DLC 膜 ,根據(jù)原理不同 , 可分為 化學(xué)氣相沉積 (chemical vapor deposition (CVD)) 和物理氣相沉積 (physical vapor deposition(PVD))兩大類。 含氫 DLC 膜 一般由化學(xué)氣相沉積制備 , 無氫 DLC 膜一般由物理氣相沉積制備。這些制備方法的共同特點都是 在薄膜的生長過程中受到中等
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