【文章內(nèi)容簡介】 鑒于無錫新區(qū)現(xiàn)有多家微電子企業(yè)，且微電子企業(yè)的用水量較大，污水排放量較大。據(jù)統(tǒng)計(jì) 2020 年，無錫新區(qū)主要企業(yè)廢水排放量達(dá)到 萬噸，其中 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 11 電子類企業(yè)的廢水排放量 萬噸，占到總水量 70%左右。 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 現(xiàn)已建成投入試生產(chǎn)，排水量達(dá)到 8000 噸 /日左右，給新區(qū)新城污水處理廠造成了較大的壓力，為確保 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 二期擴(kuò)建工程的廢水得到妥善處 理，無錫新區(qū)規(guī)劃在 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 以東，即 312國道東側(cè)與 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 平行的地塊，建設(shè)無錫新區(qū)中水 回用示范工程 ，總規(guī)模為 30000 噸 /日，一期規(guī)劃 15000 噸 /日，規(guī)劃于 2020 年 6 月建成投入運(yùn)行。主要接納 海力士 意法 半導(dǎo)體有限 公司 的生產(chǎn)廢水（含氟廢水和酸性廢水），進(jìn)行深度處理，作為海力士公司、無錫協(xié)聯(lián)熱電廠和友聯(lián)熱電廠冷卻塔補(bǔ)水。無錫新區(qū)中水廠，總規(guī)模為 30000 噸 /日，一期規(guī)劃 15000 噸 /日，規(guī)劃于 2020 年 6 月建成投入運(yùn)行，主要為海力士－意法半導(dǎo)體有限公司服務(wù)。 本擴(kuò)建項(xiàng)目有 機(jī)廢水和生活污水經(jīng)廠區(qū)預(yù)處理后，達(dá)到接管標(biāo)準(zhǔn)后，排入無錫新區(qū)市政管網(wǎng)，匯入新城污水處理廠集中處理。新城污水處理廠于 2020 年 10月開始建設(shè)，規(guī)劃接納處理新區(qū)內(nèi)工業(yè)廢水、生活污水，一期 5 萬噸 /日，目前已建成投入運(yùn)行。該污水處理廠采用 MSBR 處理工藝，為改良型連續(xù)流序批反應(yīng)器系統(tǒng)，是在傳統(tǒng)的 A2/O 工藝基礎(chǔ)上結(jié)合 SBR 工藝特點(diǎn)和接觸絮凝過濾理論發(fā)展成功的污水處理新工藝；污泥壓濾脫水，尾水紫外線消毒處理后排入京杭大運(yùn)河；全廠處理設(shè)備施行自動(dòng)控制和監(jiān)控。其擴(kuò)建工程擬將長江北路的長江國際花園、太湖花園（一、二、三期） 、南站安居房、敘康里等生活小區(qū)的生活污水接入新城污水處理廠處理，目前這部分的生活污水干管正在沿著長江北路敷設(shè)。新城污水處理廠位置和管網(wǎng)布置見圖 25。 港口交通 開發(fā)區(qū)建有運(yùn)河港池碼頭，能停泊 220250 噸的貨船，通過長江可達(dá)全國各主要港口及聯(lián)通海外。無錫新區(qū)內(nèi)建有國際級(jí)集裝箱中轉(zhuǎn)站，日吞吐量為 2 萬噸。 在無錫新區(qū)內(nèi)建有無錫機(jī)場(chǎng)，已開通至北京、廣州、深圳等地的國內(nèi)主要大城市航線，即將改建成國際貨運(yùn)機(jī)場(chǎng)。 本地區(qū)陸路交通較為便利，無錫市是國內(nèi)高速公路骨干線的主要交匯點(diǎn)，是華東地區(qū)的交通樞紐，主要高速公路有： 滬寧高速公路、京滬高速公路、滬渝高速公路等及 31 104 國道等，此外京滬鐵路穿境而過。 供氣 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 12 目前新區(qū)工業(yè)主要采用人工煤氣，民用為管道液化氣。共鋪設(shè)燃?xì)夤艿?公里。分別鋪設(shè)在長江北路、太湖大道、新光路、旺莊路、漢江路、珠江路、新梅路以及高田東路等道路上，日供氣量 2 萬立方米。隨著“西氣東輸”工程的實(shí)施，將逐步替代人工煤氣及液化氣，確立天然氣利用的主導(dǎo)地位。同時(shí)開發(fā)區(qū)內(nèi)可提供 H O N2等多種氣體，并根據(jù)用戶需要提供工業(yè)用液化氣。 ③ 用地現(xiàn)狀與規(guī)劃： 新區(qū)用地功能結(jié)構(gòu)以京杭大運(yùn)河綠廊、滬寧交通綠廊以及 機(jī)場(chǎng)生態(tài)隔離廊道為分割，形成以無錫國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)為中心、東部和南部兩個(gè)配套工業(yè)園區(qū)齊頭發(fā)展的工業(yè)用地格局；以梅村為中心的東部生活居住區(qū)和以碩放為中心的南部生活居住區(qū)，與旺莊路以北商貿(mào)綜合配套區(qū)形成新區(qū)三足鼎立的居住商貿(mào)用地格局。新區(qū)分區(qū)用地現(xiàn)狀、規(guī)劃一覽表如表 5。 表 5 新區(qū)分區(qū)用地現(xiàn)狀、規(guī)劃一覽表 編號(hào) 類別 代號(hào) 類別名稱 面積 (公頃 ) 占建設(shè)用地比例 (%) 占總用地比例 (%) 現(xiàn)狀 規(guī)劃 現(xiàn)狀 規(guī)劃 現(xiàn)狀 規(guī)劃 1 R 居住用地 396 2 C 公共設(shè)施用地 3 M 工業(yè)用地 4 W 倉儲(chǔ)用地 5 T 對(duì)外交通用地 6 S 道路廣場(chǎng)用地 7 U 市政公用設(shè)施用地 8 G 綠地 9 D 特殊用地 小計(jì) 建設(shè)用地 10 E 水域 11 農(nóng)田 12 村鎮(zhèn)住宅用地 13 村鎮(zhèn)工業(yè)用地 合計(jì) 總用地 13950 13950 產(chǎn)業(yè)政策相符性分析、清潔生產(chǎn)指標(biāo)水平分析 （ 1） 產(chǎn)業(yè)政策分析 經(jīng)查實(shí)，本項(xiàng)目屬于 《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄 (2020 年本 )》 中鼓勵(lì)類，第二十四條 信息產(chǎn)業(yè) 類中 線寬 微米以下大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)、制造 的項(xiàng)目。 工業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整規(guī)劃綱要指出了我國在高技術(shù)的關(guān)鍵和核心領(lǐng)域，國有資本 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 13 要發(fā)揮帶動(dòng)作用。對(duì)信息技術(shù)、生物技術(shù)、新材料技術(shù)、先進(jìn)制造技術(shù)等體現(xiàn)國家競(jìng)爭實(shí)力的戰(zhàn)略性領(lǐng)域，國有資本要發(fā)揮帶動(dòng)、引導(dǎo)和促進(jìn)作用。在這些領(lǐng)域，國家一般不再采取投資辦 廠的進(jìn)入方式，重點(diǎn)在項(xiàng)目資本金籌措、基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究等方面給予支持，推動(dòng)這些產(chǎn)業(yè)發(fā)展，并以此吸引社會(huì)公眾投資和國際資本。并在產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整中具體明確“重點(diǎn)支持軟件、數(shù)字化技術(shù)、新材料、光纖復(fù)合材料、中醫(yī)藥、生物工程、先進(jìn)制造技術(shù)、環(huán)保技術(shù)以及企業(yè)信息化等領(lǐng)域的研究開發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，在一些重點(diǎn)行業(yè)突破一批產(chǎn)業(yè)關(guān)聯(lián)度大、對(duì)國民經(jīng)濟(jì)帶動(dòng)力強(qiáng)的關(guān)鍵技術(shù)。建設(shè)新一代高速寬帶信息網(wǎng)絡(luò)、深亞微米（ 微米以上）集成電路、數(shù)字高清晰度電視（ HDTV）系統(tǒng)??高技術(shù)高附加值船舶設(shè)計(jì)制造工程等一批重大工程。對(duì)市場(chǎng)前景好、帶動(dòng) 能力強(qiáng)并已基本成熟的綜合成套技術(shù)，通過產(chǎn)業(yè)化示范，迅速推廣應(yīng)用，形成規(guī)?；a(chǎn)能力，占領(lǐng)市場(chǎng)?！? 本項(xiàng)目為國有資本和引入國際資本共同投資建設(shè)的高新技術(shù)企業(yè)，生產(chǎn) 12英寸 微米集成電路，符合國家《工業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整規(guī)劃綱要》的要求。 中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會(huì)和中華人民共和國商務(wù)部聯(lián)合發(fā)布《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄（ 2020 年修訂）》（第 24 號(hào)令）中，鼓勵(lì)類的 電子及通信設(shè)備制造業(yè) 第 5 類“ 集成電路設(shè)計(jì)與線寬 微米及以下大規(guī)模集成電路生產(chǎn) ”，本項(xiàng)目生產(chǎn) 12 英寸、 微米集成電路，屬于國家鼓勵(lì)外商投資 的產(chǎn)業(yè)。 發(fā)改委 2020 年第 26 號(hào)公告《當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)領(lǐng)域指南（ 2020 年度）》中第 17 條指出 “集成電路產(chǎn)業(yè)包括設(shè)計(jì)、制造、封裝和測(cè)試等環(huán)節(jié)。我國每年需要大量的集成電路，但我國能自主設(shè)計(jì)生產(chǎn)的集成電路所占比率較低，這已成為我國信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。近期產(chǎn)業(yè)化的重點(diǎn)是：集成電路的設(shè)計(jì)及整機(jī)開發(fā)，整機(jī)產(chǎn)品所需的各種專用集成電路和系統(tǒng)級(jí)芯片， 線寬 微米以下的深亞微米集成電路及配套的 IP庫 ?！? 本項(xiàng)目生產(chǎn) 12 英寸 微米集成電路，屬于當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)。 國務(wù)院國發(fā) [2020]18 號(hào) 文《鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》第四十條“鼓勵(lì)境內(nèi)外企業(yè)在中國境內(nèi)設(shè)立合資和獨(dú)資的集成電路生產(chǎn)企業(yè)??”以及第四十二條“符合下列條件之一的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，按鼓勵(lì)外商對(duì)能源、交通投資的稅收優(yōu)惠政策執(zhí)行。 (一 )投資額超過 80 億元人民幣； (二 )集成電路線寬小于 的?！? 本項(xiàng)目生產(chǎn) 12 英寸 微米集成電路，屬于 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 14 18 號(hào)文鼓勵(lì)的集成電路產(chǎn)業(yè)。 國家 科學(xué)技術(shù)部、商務(wù)部 《 鼓勵(lì)外商投資高新技術(shù)產(chǎn)品目錄 (2020)》中第一類 電子信息 —— 微電子和光電子元器件 ，第 20 條明確指明 線寬 ≤ 微米的大規(guī) 模集成電路 。本項(xiàng)目 12 英寸 微米集成電路，屬于 外商投資高新技術(shù)產(chǎn)品 。 綜上所述，本項(xiàng)目屬于我國當(dāng)前產(chǎn)業(yè)政策所鼓勵(lì)和優(yōu)先發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，從產(chǎn)業(yè)政策相符性的角度上看項(xiàng)目可行。 （ 2） 清潔生產(chǎn) 指標(biāo)水平分析 生產(chǎn)工藝先進(jìn)性分析 項(xiàng)目生產(chǎn)工藝的先進(jìn)性體現(xiàn)在生產(chǎn)的全過程，包括藥品的配比、設(shè)備的改型、藥劑的輸送、廢氣的收集處理等。 工藝革新主要是對(duì)本工程在原有韓國生產(chǎn)線的基礎(chǔ)上進(jìn)行了部分改進(jìn)，做到了降低能源消耗和減少廢物排放，與一期項(xiàng)目的工藝一樣。 使用清潔工藝。這個(gè)工藝是專門為擴(kuò)散工序設(shè)計(jì)的，因此減少了濕法清洗的次數(shù)，帶來了生產(chǎn)量的提高，從而提高了勞動(dòng)生產(chǎn)率。 清潔處理流量改變技術(shù)。通過改變流動(dòng)馬達(dá)來控制研磨液的流動(dòng)角度的變化，從而達(dá)到減少 CMP 磨液的用量，平均減少 。 電機(jī)變頻驅(qū)動(dòng)。通過改變電機(jī)的速度來減少空氣、主清潔器、 RO 供應(yīng)泵等的能量消耗。 高效光源使用。在需要強(qiáng)光源的地方使用高效率的 KrF 燈，取代普通的汞燈和鎢燈，節(jié)省能源。 集成電路生產(chǎn)過程中用到大量的氣體，除一些有毒的化學(xué)氣體外還包括壓縮空氣、氮?dú)?、氦氣、氧氣等，每類系統(tǒng)都 有著獨(dú)立的供應(yīng)系統(tǒng)，以保證穩(wěn)定和連續(xù)地供應(yīng)生產(chǎn)需要的高質(zhì)量氣體。 生產(chǎn)設(shè)備的先進(jìn)性分析 本項(xiàng)目是屬于高尖端技術(shù)，所生產(chǎn)的產(chǎn)品達(dá)到納米級(jí)，其設(shè)備的自控設(shè)計(jì)和精度要求都十分高，目前基本依賴于進(jìn)口。因此整個(gè)生產(chǎn)線的技術(shù)設(shè)備都是很先進(jìn)的，包括原輔材料和能源供應(yīng)系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)等。比如有機(jī)廢 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 15 氣 VOC 的處理濃縮設(shè)備，可以把難以處理的 VOC 氣體濃縮 1020 倍，然后通過燃燒來處理；高效處理廢氣的凈氣焚燒設(shè)備，使用自動(dòng)燃?xì)夥贌O(shè)備，專業(yè)處理AsH PH SiH BF3 等有毒有害氣體，內(nèi)設(shè)兩室燃燒 ,溫度高 達(dá) 700℃，廢氣處理效率達(dá)到 90%以上，進(jìn)一步水洗滌處理可穩(wěn)定達(dá)到 90%以上。 原材料和產(chǎn)品的先進(jìn)性分析 PFC 氣體的改進(jìn)。在 THIN FILM 工段，用 C3F8取代原用的 C2F6，由于 C3F8比C2F6的活性更好，因此在 CVD 工序改變清潔氣體后，可以大大減少這類有毒氣體的用量和排放量，使用量可以減少 20%以上，散發(fā)量可以下降 15%。 光刻膠減量化。在膠片上涂光刻膠之前，在滿足技術(shù)工藝要求的前提下先把原料光刻膠適當(dāng)稀釋，可以減少光刻膠的消耗量，平均減少 。 原輔材料的選用和嚴(yán)格管理。對(duì)生產(chǎn)上使用 的大量有毒有害的原輔材料，在滿足