【正文】 水洗滌 車間不同廢氣的專用排氣筒高空連續(xù)排 放 2 堿性廢氣 NH3 顯影 3 有機(jī)廢氣 IPA， Thinner 清洗、顯影、漂 洗 濃縮后熱氧化（焚燒）＋二次焚燒 4 特殊廢氣 AsH3， PH3， SiH3 擴(kuò)散、 CVD、離子注入、干蝕 熱氧化（焚燒）和水淋處理＋二次水洗滌 5 含氟廢氣 各類含氟廢氣（ PFCs），含 F Etch、 CVD 熱氧化（焚燒）和水淋處理＋二次水洗滌 （ 3）固體廢物 作為集成電路生產(chǎn)廠家，其生產(chǎn)和職工生活所產(chǎn)生的固體廢棄物和廢液種類主要包括兩大類： 圖 1 廢物分類 處置圖 固體廢物 廢容器、試劑瓶 廢焚渣、活性炭 廢手套抹布凈化紙 廢包裝材料 廢液 有機(jī)廢液 廢光刻膠顯影液 廢硫酸磷酸等 含氨廢液 廢氫氟酸 污水處理污泥 有毒物質(zhì)是否超標(biāo) 委托處理 分類收集 委托有資質(zhì)單位處置 液體包裝桶 固體木料、袋 分類存放 逐漸加入廢水處理 原料企業(yè)回收復(fù)用 生活垃圾 廢物（回收站）利用 環(huán)衛(wèi)部門處理 N Y 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 21 （ 4）噪聲 本擴(kuò)建項目主要噪聲源空壓機(jī)等都安置在室內(nèi)進(jìn)行隔聲降噪，空調(diào)排風(fēng)風(fēng)機(jī)均加裝消聲器，噪聲對廠界的影響貢獻(xiàn)很小，且本項目位于工業(yè)區(qū)，周圍無居民點(diǎn)，無擾民噪聲源，不需強(qiáng)制安裝環(huán)境保護(hù)圖形標(biāo)志牌。目前本項目附近無居民點(diǎn)，可以滿足衛(wèi)生防護(hù)距離的要求。 評價結(jié)果表明，本項目建設(shè)投產(chǎn)后，廢氣凈化裝置正常運(yùn)行時，排放的大氣污染物對周圍環(huán)境影響很小，不會造成周圍區(qū)域的空氣環(huán)境質(zhì)量下降。 地下水、 土壤和底泥均達(dá)到相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境質(zhì)量良好。根據(jù)臺灣統(tǒng)計的數(shù)字，用每噸用水量可創(chuàng)造的年產(chǎn)值來衡量，電子半導(dǎo)體晶圓廠是鋼鐵廠的 倍、 石化廠的 倍、果糖漿廠的 22 倍。 進(jìn)口自用生產(chǎn)性原材料符合國家海關(guān)總署的稅收優(yōu)惠政策。 原材料和產(chǎn)品的先進(jìn)性分析 PFC 氣體的改進(jìn)。 電機(jī)變頻驅(qū)動。本項目 12 英寸 微米集成電路，屬于 外商投資高新技術(shù)產(chǎn)品 。 發(fā)改委 2020 年第 26 號公告《當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點(diǎn)領(lǐng)域指南（ 2020 年度）》中第 17 條指出 “集成電路產(chǎn)業(yè)包括設(shè)計、制造、封裝和測試等環(huán)節(jié)。 工業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整規(guī)劃綱要指出了我國在高技術(shù)的關(guān)鍵和核心領(lǐng)域，國有資本 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 13 要發(fā)揮帶動作用。 供氣 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 12 目前新區(qū)工業(yè)主要采用人工煤氣，民用為管道液化氣。新城污水處理廠于 2020 年 10月開始建設(shè)，規(guī)劃接納處理新區(qū)內(nèi)工業(yè)廢水、生活污水，一期 5 萬噸 /日，目前已建成投入運(yùn)行。 2020 年，海力士－意法半導(dǎo)體有限公司在無錫新區(qū)出口加工區(qū)落戶，此項目對推動中國微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有深遠(yuǎn)影響，無錫在國內(nèi) IC 產(chǎn)業(yè)高地的地位更加凸現(xiàn)。 梅村污水處理廠位于雪梅東路東、伯瀆港南，一期處理規(guī)模為 3 萬 m3/d，用于處理梅村工業(yè)園及鎮(zhèn)區(qū)污水。C ，供汽半徑約 10 公里。新區(qū)供電采用雙回路供電，可根據(jù)用戶需要分別提供 110KV、 35KV、 10KV、 不同等級的電壓。 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 6 激光打標(biāo) 柵控制膜生長 介質(zhì)膜生長 預(yù)對準(zhǔn)圖形成形 離子注入薄氧化層 浮柵薄膜生長 隧道 氧化層生長 對準(zhǔn)圖形成形 高壓區(qū)成形 胞區(qū)隔離 Vt 注入 三井成形（ N 型、 P 型井） 低壓區(qū)成形 平面化工藝 周邊隔離 源漏型區(qū)域成形 柵選擇性氧化層生長 刻蝕 接下一頁 廢氣：酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣等 廢水：含 F 廢水、酸堿廢水、含四甲基氫氧化銨等 TCA、 N OH光刻膠、顯影液、純水等 廢氣：含 F、酸性、堿性、有機(jī)廢氣等。 供氣 本次需增加供氣量 154 Nm3/min，依托一 期。本項目生產(chǎn)過程中不使用蒸汽，加熱全部采用電加熱。 表 1 環(huán)境保護(hù)目標(biāo)表 序號 環(huán)境 環(huán)境保護(hù)對象 方位 距廠界 距離（ m） 性質(zhì) 規(guī)模（人） 環(huán)境功能 1 空氣 環(huán)境 海關(guān)直通點(diǎn) SE 580 行政辦公 150 《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)要求 2 星洲印象小區(qū) SW 860 居民區(qū) 3640 3 行創(chuàng)四路小區(qū) WNW 950 居民區(qū) 5000 4 國際學(xué)校 NW 1250 學(xué)校 2020 5 海力士員工宿舍 NNW 390 居民區(qū) 180 6 韓國人學(xué)校 NW 850 學(xué)校 500 7 地表水 環(huán)境 京杭大運(yùn)河 新城污水廠 受納水體 航運(yùn)、雨污 通道 《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》 Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn) 8 聲環(huán)境 四側(cè)廠界 1 米 《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo) 準(zhǔn)》Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn) 主要 原輔材料能源消耗 主要原輔材料一覽表見表 2。 供電 電源由開發(fā)區(qū)經(jīng)廠區(qū)變電站供給， 變電站依托一期。 12 英寸產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程與一期項目完全相同，具體見圖 1。位于梅村的 500KV 鴻山變電所正在建設(shè)中，建成后將成為無錫市區(qū)東南部電網(wǎng)的主要電源點(diǎn)和支撐點(diǎn)。 友聯(lián)熱電有限責(zé)任公司現(xiàn)有二臺 l00t/h 鍋爐和兩臺 15MW 抽汽式汽輪機(jī)，每臺汽輪機(jī)供氣量為 75t/h，現(xiàn)總供汽能力為 150 t/h，出廠壓力為 1Mpa，蒸汽溫度 180176。新區(qū)內(nèi)現(xiàn)有污水分別通過這 3 座污水處理廠處理后排放。無錫新區(qū)范圍內(nèi)除鴻山片區(qū)外，其余片區(qū)內(nèi)的污水皆已初步形成較為完整的污水收集系統(tǒng)，分別經(jīng)管網(wǎng)收集后排放至新城、梅村、碩放、城北、蘆村、太湖新城等六個污水處理廠進(jìn)行處理。 本擴(kuò)建項目有 機(jī)廢水和生活污水經(jīng)廠區(qū)預(yù)處理后，達(dá)到接管標(biāo)準(zhǔn)后，排入無錫新區(qū)市政管網(wǎng)，匯入新城污水處理廠集中處理。 本地區(qū)陸路交通較為便利，無錫市是國內(nèi)高速公路骨干線的主要交匯點(diǎn)，是華東地區(qū)的交通樞紐，主要高速公路有： 滬寧高速公路、京滬高速公路、滬渝高速公路等及 31 104 國道等，此外京滬鐵路穿境而過。 表 5 新區(qū)分區(qū)用地現(xiàn)狀、規(guī)劃一覽表 編號 類別 代號 類別名稱 面積 (公頃 ) 占建設(shè)用地比例 (%) 占總用地比例 (%) 現(xiàn)狀 規(guī)劃 現(xiàn)狀 規(guī)劃 現(xiàn)狀 規(guī)劃 1 R 居住用地 396 2 C 公共設(shè)施用地 3 M 工業(yè)用地 4 W 倉儲用地 5 T 對外交通用地 6 S 道路廣場用地 7 U 市政公用設(shè)施用地 8 G 綠地 9 D 特殊用地 小計 建設(shè)用地 10 E 水域 11 農(nóng)田 12 村鎮(zhèn)住宅用地 13 村鎮(zhèn)工業(yè)用地 合計 總用地 13950 13950 產(chǎn)業(yè)政策相符性分析、清潔生產(chǎn)指標(biāo)水平分析 （ 1） 產(chǎn)業(yè)政策分析 經(jīng)查實，本項目屬于 《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄 (2020 年本 )》 中鼓勵類，第二十四條 信息產(chǎn)業(yè) 類中 線寬 微米以下大規(guī)模集成電路設(shè)計、制造 的項目。 中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會和中華人民共和國商務(wù)部聯(lián)合發(fā)布《外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄（ 2020 年修訂）》（第 24 號令）中，鼓勵類的 電子及通信設(shè)備制造業(yè) 第 5 類“ 集成電路設(shè)計與線寬 微米及以下大規(guī)模集成電路生產(chǎn) ”，本項目生產(chǎn) 12 英寸、 微米集成電路，屬于國家鼓勵外商投資 的產(chǎn)業(yè)。 國家 科學(xué)技術(shù)部、商務(wù)部 《 鼓勵外商投資高新技術(shù)產(chǎn)品目錄 (2020)》中第一類 電子信息 —— 微電子和光電子元器件 ，第 20 條明確指明 線寬 ≤ 微米的大規(guī) 模集成電路 。通過改變流動馬達(dá)來控制研磨液的流動角度的變化，從而達(dá)到減少 CMP 磨液的用量，平均減少 。比如有機(jī)廢 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 15 氣 VOC 的處理濃縮設(shè)備，可以把難以處理的 VOC 氣體濃縮 1020 倍，然后通過燃燒來處理；高效處理廢氣的凈氣焚燒設(shè)備，使用自動燃?xì)夥贌O(shè)備，專業(yè)處理AsH PH SiH BF3 等有毒有害氣體，內(nèi)設(shè)兩室燃燒 ,溫度高 達(dá) 700℃，廢氣處理效率達(dá)到 90%以上，進(jìn)一步水洗滌處理可穩(wěn)定達(dá)到 90%以上。對生產(chǎn)中用到的材料制定嚴(yán)格的定額、保管和領(lǐng)料制度，對全廠化學(xué)品的進(jìn)出過程進(jìn)行跟蹤管理，減少原料的非正常耗損。但單純從噸水產(chǎn)出來考慮，半導(dǎo)體行業(yè)不失為一個高效用水的行業(yè)。 4 號測點(diǎn)位于新 312 國道一側(cè)，車流量較大，造成夜間噪聲超標(biāo)。 本評價建議本項目衛(wèi)生防護(hù)距離為 100m。 無組織排放是考慮到硫酸霧 、鹽酸霧等 揮發(fā)，根據(jù)計算，本項目衛(wèi)生防護(hù)距離為 100 米。詳見表 9。 管理預(yù)防措施 國家環(huán)境保護(hù)總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 22 除了在工程工藝上考慮最佳的防護(hù)設(shè)計、防護(hù)措施和防護(hù)設(shè)備外，還需要在貯運(yùn)、生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)加強(qiáng)管理，才能 有效避免和減少化學(xué)品發(fā)生火災(zāi)、爆炸的風(fēng)險。該總量可作為考核量指標(biāo)向無錫市環(huán)保局申請。說明本項目在建設(shè)之前做了一定的宣傳，已經(jīng)為大部分公眾所知曉。 公眾對調(diào)查表中 8 問題的主要建議和要求有： 認(rèn)為項目建設(shè)單位應(yīng)該提高環(huán)保意識，并嚴(yán) 格按照國家對環(huán)保的要求做到“三同時”，不經(jīng)過“三同時”驗收，不允許進(jìn)行正常生產(chǎn)； 認(rèn)為項目建設(shè)單位應(yīng)該注重“以人為本”，把保護(hù)周圍群眾的身心健康作為一個重要事情來對待，在確保不給當(dāng)?shù)厝罕娚瞽h(huán)境帶來影響的情況下建設(shè)和生產(chǎn)。