【正文】 因此從環(huán)境保護的角度來看，在落實環(huán)評提出相關(guān)措施的情況下，本擴建項目建設(shè)是可行。保證項目建成后，不會改變周圍環(huán)境質(zhì)量，將對環(huán)境的影響降到最低。 綜上所述，本項目調(diào)查了周圍的群眾和相關(guān)的政府部門，調(diào)查結(jié)果表 明各層各級干部群眾對本項目普遍持支持態(tài)度，同時提出建議要求本項目加強廢水、廢氣、噪聲和固廢的處理工作，確保達標(biāo)排放，因此從公眾參與角度來看本項目可行。 認(rèn)為企業(yè)應(yīng)該堅持“可持續(xù)發(fā)展”理念，在發(fā)展企業(yè)經(jīng)濟的同時注重保護生態(tài)環(huán)境，做好三廢治理，協(xié)調(diào)發(fā)展社會經(jīng)濟和環(huán)境的綜合效益。 總結(jié)整個調(diào)查，公眾總體態(tài)度是對本項目支持的，同時也要求本項目作好污染物治理工作。有 %的被調(diào)查者認(rèn)為不止一項因素給環(huán)境帶來影響。 %的公眾認(rèn)為該項目建成后對地方經(jīng)濟的發(fā)展有著積極作用， %的人認(rèn)為會造成一定的影響， %的人認(rèn)為影響較小 ,另有 %的人認(rèn)為該項目對當(dāng)?shù)責(zé)o影響，無人認(rèn)為該項目會對當(dāng)?shù)禺a(chǎn)生負(fù)面影響 國家環(huán)境保護總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 25 %的公眾該項目建成后對居民的生活會造成影響但是可以承受，有%的 人認(rèn)為只有負(fù)的影響， %的人認(rèn)為沒有影響。 公眾對本項目 持支持態(tài)度的為 81 人，占總?cè)藬?shù)的 %，持有條件支持的人數(shù)為 21 人，占總?cè)藬?shù)的 %，其余 25 人表示無所謂，沒有反對的。 （ 3）公眾參與調(diào)查 調(diào)查結(jié)果表明： 公眾對擬建項目的了解（知道）的為 96 人，占總?cè)藬?shù)的 %，不知道的為 28 人，占被調(diào)查人數(shù)的 22%，另有 3 人沒填寫該項。 本項目各類固體廢物全部得到有效的處置，沒有外排，正常情況不會對外環(huán)境產(chǎn)生影響和危害。 本項目含氟廢水和酸性廢水經(jīng)廠區(qū)預(yù)處理后，達到新區(qū)中水回用示范工程接管標(biāo)準(zhǔn)后排入污水管網(wǎng)，由新區(qū)中水回用示范工程進行深度處理，達《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（ GB3838－ 2020）中Ⅳ類水標(biāo)準(zhǔn)，回用于海力士公司、無錫協(xié)聯(lián)熱電廠和無錫友聯(lián)熱電廠冷卻塔的補水，在新區(qū)范圍內(nèi)實現(xiàn)中水回用。 本項目 水污染物為氟化物、 TP、 COD、 SS、氨氮、總砷等，各自排放總量見表 111。 國家環(huán)境保護總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 23 表 11 全廠污染物總量核算情況 單位： t/a 類別 污染物名稱 一期工程 二期排放量 以新帶老削減量 全廠總外排量 竣工驗 收部分 已批待建部分 廢氣 廢氣量（ 104m3/a） 1131792 0 727080 0 1858872 氟化物 0 HCl 0 硫酸霧 0 NOX 0 NH3 0 異丙醇 0 非甲烷總烴 0 磷烷 0 硅烷 0 砷烷 0 廢水 廢水量 3045195 2507842 889505 2208980 4233562 氟化物 TP 0 COD 229 NH3N 0 SS 136 總砷 0 固廢 危險固廢 0 0 0 0 0 一般固廢 0 0 0 0 0 國家環(huán)境保護總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 24 （ 2） 污染物排放總量控制方案 本項目為新建項目特征污染物氟化物、 HCl、硫酸霧、 NOX、 NH異丙醇和非甲烷總烴的排放量具體見表 111。全廠事故應(yīng)急方案主要包括了匯報、消防救災(zāi)、醫(yī)療支援、緊急措施、通訊聯(lián)絡(luò)、現(xiàn)場處理、事故調(diào)查幾個部分。事故對策委員會（或領(lǐng)導(dǎo)會議）下設(shè)有車間救援組（ FAB ERT）、廠房緊急措施組、消防救災(zāi)隊，并在事故發(fā)生后立即在事發(fā)地點附近設(shè) 置現(xiàn)場指揮部。 火災(zāi)和爆炸的其他預(yù)防措施 設(shè)備的安全管理，抗靜電對策，要有防雷擊裝置，特別防止側(cè)雷擊，火源的管理，火災(zāi)的控制 事故決策系統(tǒng) 本項目在企業(yè)內(nèi)部設(shè)置運營事故對策委員會，并負(fù)責(zé)事故發(fā)生后的指揮和應(yīng)急處理。本項目在工程設(shè)計和建設(shè)上采取了較多預(yù)防控制措施，減少有毒有害物質(zhì)因發(fā)生火災(zāi)爆炸造成危害的可能。 針對以上風(fēng)險提出了對策措施和應(yīng)急預(yù)案。 表 10 噪聲治理措施 序號 設(shè)備名稱 臺數(shù) 單源聲級 dB(A) 防治措施 預(yù)計處理效果 1 空壓機 20 85 室內(nèi)隔聲、距離衰減、消聲器 廠界噪聲白天65 dB（ A），夜間 55dB（ A） 2 真空泵（電機） 18 87 室內(nèi)隔聲、距離衰減、消聲器 3 離心風(fēng)機 18 95 室內(nèi)隔聲、距離衰減、防震墊 4 引風(fēng)機 21 85 距離衰減、消聲器、防震墊 5 冷凍機組 2 85 室內(nèi)隔聲、距離衰減 6 冷卻塔 4組 70 淋水緩沖墊、防震墊 環(huán)境風(fēng)險評價結(jié)論及風(fēng)險防治措施 環(huán)境事故風(fēng)險分析的目的就是通過分析建設(shè)項目運營期內(nèi)可能發(fā)生的事故類型及其影響程度和范圍，以確定開發(fā)建設(shè)及生產(chǎn)項目什么樣的風(fēng)險是社會可以承受的，從而為工程設(shè)計提供參考依據(jù)。 表 9 項目主要廢氣分類 序號 廢氣類別 主要污染物成分 出現(xiàn)的工序 處理方法 處理后去向 1 酸性廢氣 HCl， HNO3， H2SO4 清洗、腐蝕、去 膠 洗滌塔 +二次水洗滌 車間不同廢氣的專用排氣筒高空連續(xù)排 放 2 堿性廢氣 NH3 顯影 3 有機廢氣 IPA， Thinner 清洗、顯影、漂 洗 濃縮后熱氧化（焚燒）＋二次焚燒 4 特殊廢氣 AsH3， PH3， SiH3 擴散、 CVD、離子注入、干蝕 熱氧化（焚燒）和水淋處理＋二次水洗滌 5 含氟廢氣 各類含氟廢氣（ PFCs），含 F Etch、 CVD 熱氧化（焚燒）和水淋處理＋二次水洗滌 （ 3）固體廢物 作為集成電路生產(chǎn)廠家，其生產(chǎn)和職工生活所產(chǎn)生的固體廢棄物和廢液種類主要包括兩大類： 圖 1 廢物分類 處置圖 固體廢物 廢容器、試劑瓶 廢焚渣、活性炭 廢手套抹布凈化紙 廢包裝材料 廢液 有機廢液 廢光刻膠顯影液 廢硫酸磷酸等 含氨廢液 廢氫氟酸 污水處理污泥 有毒物質(zhì)是否超標(biāo) 委托處理 分類收集 委托有資質(zhì)單位處置 液體包裝桶 固體木料、袋 分類存放 逐漸加入廢水處理 原料企業(yè)回收復(fù)用 生活垃圾 廢物（回收站）利用 環(huán)衛(wèi)部門處理 N Y 國家環(huán)境保護總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 21 （ 4）噪聲 本擴建項目主要噪聲源空壓機等都安置在室內(nèi)進行隔聲降噪，空調(diào)排風(fēng)風(fēng)機均加裝消聲器，噪聲對廠界的影響貢獻很小，且本項目位于工業(yè)區(qū)，周圍無居民點，無擾民噪聲源，不需強制安裝環(huán)境保護圖形標(biāo)志牌。 表 8 本項目主要廢水分類統(tǒng)計 序號 廢水類別 主要污染物成分 出現(xiàn)的工序 處理方法 排放去向 1 HF 廢水 HF、 SS、 PO43+ 腐蝕、 BG/CMP 化學(xué)沉淀 中水示范工程 2 酸性廢水 HNO H2SOHCl 氧化、刻蝕 中和 3 有機廢水 堿性廢水 NH3 CVD 中和 分別處理后合流進入污水處理廠 有機廢水 TN、各類氧化物 特殊氣體洗滌、生產(chǎn) 生化 顯影液 COD、 SS 高氮廢水 COD、 NH3－ N 4 蒸汽冷凝水 COD、 SS － 過濾 全部回用 5 冷卻水 COD、 SS 沙 濾 綠化和清下 水排放 5 生活污水 COD、氨氮、BOD總 P 辦公、生活 進入污水處 理廠 （ 2）廢氣 國家環(huán)境保護總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 20 本項目的廢氣種類比較多，按照生產(chǎn)工藝要求和廢氣處理的要求，分為含氟廢氣（ PFC）、有機廢氣（ VOC）、酸堿廢氣（硫酸等揮發(fā)的酸性廢氣，堿性廢氣為氨）、特殊有毒氣體幾類。為確保廢水的收集和處理正常運行，在車間設(shè)有中央控制室和自控設(shè)備，對整個廢水的輸送和處理進行自動控制，在廢水接管排口和清下水排口設(shè)置在線流量計和 COD 監(jiān)測儀，以確保廢水歸類處理和達標(biāo)排放。 不同的廢水在生產(chǎn)車間內(nèi)按照清污分流、異質(zhì)分流的原則，把含氟廢水、酸性、有機廢水、冷凝水、冷卻水廢水分開并通過各自不同的處理系統(tǒng)進行預(yù)處理。目前本項目附近無居民點，可以滿足衛(wèi)生防護距離的要求。 事故時，本項目發(fā)生工藝廢氣異常排放，根據(jù)預(yù)測，各污染物最大地面一次濃度雖未超標(biāo)，但都明顯高于正常排放的濃度的一個數(shù)量級。 根據(jù)噪聲預(yù)測結(jié)果分析， 項目建成后，各測點在晝間均能達標(biāo)排放，夜間除1和 4超標(biāo)外，其他均能達標(biāo)。含氟廢水、酸性廢水通過本項目自建的污水處理站預(yù)處理達無錫新區(qū)中水回用示范工程接管標(biāo)準(zhǔn)后，通過專門的管網(wǎng)排放進入無錫新區(qū)中水回用示范工程，進行深度處理，達到《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》IV 類水標(biāo)準(zhǔn)，中水示范工程的尾水回用至海力士公司、無錫協(xié)聯(lián)熱電廠和無錫友聯(lián)熱電廠冷卻塔的補水，在新區(qū)范圍內(nèi)實現(xiàn)中水回用；其他廢水通過自建的污水處理站預(yù)處理達新城污水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn)后，排入京杭大運河。 評價結(jié)果表明，本項目建設(shè)投產(chǎn)后，廢氣凈化裝置正常運行時，排放的大氣污染物對周圍環(huán)境影響很小，不會造成周圍區(qū)域的空氣環(huán)境質(zhì)量下降。 在疊加已批未建項目污染源情況下，正常氣象條件、小風(fēng)氣象條件下，污染物最大小時濃度均能達標(biāo)，對各主要保護目標(biāo)典型日均濃度和年均濃度貢獻值很 國家環(huán)境保護總局南京環(huán)境科學(xué)研究所 18 小。 對各 主要保護目標(biāo)典型日均濃度和年均濃度貢獻值很小。 在小風(fēng)時（ ），本項目對環(huán)境空氣中的氟化物、 HCl、硫酸霧、 NOX、氨、異丙醇、非甲烷總烴最大小時濃度均能達標(biāo)，磷烷、硅烷和砷烷濃度增量均很小。 地下水、 土壤和底泥均達到相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境質(zhì)量良好。 3 號測點噪聲滿足《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)