半導(dǎo)體制造工藝第2版-閱讀頁
2025-03-11 04:30本頁面
【正文】 層間介質(zhì)層刻蝕形成孔或槽，確定好線寬和圖形間距，然后將銅淀積到刻蝕好圖形的表面上，再經(jīng)過化學(xué)機(jī)械拋光方式除掉多余的銅；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院雙大馬士革工藝流程（第二層金屬）層間介質(zhì)淀積? PECVD淀積兩層 SiO2介質(zhì)，并使用HDPCVD淀積出致密的、沒有針孔的刻蝕阻擋層；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院金屬 2的線槽刻蝕? 利用光刻、刻蝕工藝刻蝕SiO2至刻蝕阻擋層，刻蝕出金屬 2層線槽的圖形；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院金屬層間通孔刻蝕? 繼續(xù)刻蝕掉刻蝕阻擋層和SiO2層，形成金屬 2與金屬 1之間的介質(zhì)隔離通孔圖形；完成互聯(lián)線的線寬和圖形的刻蝕；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院淀積金屬阻擋層? 在槽和通孔底部及側(cè)壁用離子化的PVD淀積銅擴(kuò)散阻擋層（ 鉭或氮化鉭 ）；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院淀積銅種子層? 用 CVD淀積連續(xù)的銅種子層，種子層必須是均勻且沒有針孔；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院銅電鍍? 用電鍍法淀積銅，既填充通孔窗口，也填充溝槽；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院用 CMP清除額外的銅? 用化學(xué)機(jī)械拋光方式清除額外的銅；? 這一過程的平坦化表面是為了下一道工序做準(zhǔn)備；學(xué)習(xí)情景三常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院? 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 04:50:0604:50:0604:502/1/2023 4:50:06 AM? 1以我獨(dú)沈久，愧君相見頻。 04:50:0604:50:0604:50Monday, February 01, 2023? 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 01 二月 20234:50:06 上午 04:50:06二月 21? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 二月 214:50 上午 二月 2104:50February 01, 2023? 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 4:50:06 上午 4:50 上午 04:50:06二月 21? 沒有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 04:50:0604:50:0604:502/1/2023 4:50:06 AM? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 04:50:0604:50:0604:50Monday, February 01, 2023? 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 01 二月 20234:50:06 上午 04:50:06二月 21? 1楚塞三湘接，荊門九派通。 二月 214:50 上午 二月 2104:50February 01, 2023? 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 4:50:06 上午 4:50 上午 04:50:06二月 21? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 04:50:0604:50:0604:502/1/2023 4:50:06 AM? 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 04:50:0604:50:0604:50Monday, February 01, 2023? 1知人者智，自知者明。 二月 21二月 2104:50:0604:50:06February 01, 2023? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 二月 214:50 上午 二月 2104:50February 01, 2023? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 4:50:06 上午 4:50 上午 04:50:06二月 21MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看專家告
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