半導(dǎo)體制造工藝_08擴(kuò)散(下)-閱讀頁
2025-03-13 14:53本頁面
【正文】 2 ???? 2P2O5 + 10Cl2 ? ? 例 ： 預(yù)淀積 :1050 ?C N2 和 O2 再分布 : 950 ?C O2 26 半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ) 第六章 擴(kuò)散原理 (下 ) 固態(tài)源擴(kuò)散 （ B2O3， P2O5， BN等） 舟 惰性氣體作為載氣把雜質(zhì)源蒸氣輸運(yùn)到硅片表面，在擴(kuò)散溫度下，雜質(zhì)化合物與硅反應(yīng)生成單質(zhì)雜質(zhì)原子相硅內(nèi)擴(kuò)散。不需載氣，但以 N2或 Ar2保護(hù)。 源： As （ arsenosilica）； Sb （ antimonysilica）； B （ borosilica）； P （ phosphorosilica） 烘焙 200 ?C 15分鐘去處溶劑 根據(jù) Rs和 xj要求決定擴(kuò)散溫度和時間 特點(diǎn) ：摻雜元素多 濃度范圍廣 29 半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ) 第六章 擴(kuò)散原理 (下 ) 擴(kuò)散層質(zhì)量檢驗(yàn) ?薄層電阻測量 ?結(jié)深測量 ?摻雜分布測量 30 半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ) 第六章 擴(kuò)散原理 (下 ) ?四探針薄層電阻測量 四根探針的四個針尖都保持在一條直線上（ linear），并以等壓力壓在半導(dǎo)體樣品表面。 ?常用染色液： HF與 0?1％ HNO3的混合液，使 p區(qū)的顯示的顏色比 n區(qū)深。 VR 1/C2 對于均勻摻雜的單邊突變結(jié)，結(jié)電容由下式給出： ?s 硅的介電常數(shù) 。 VR 反偏電壓 ? ????????????qkTVVNqAVCRbiBs220??? ?dVCdqAWNs????????20212??33 半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ) 第六章 擴(kuò)散原理 (下 ) ?二次離子質(zhì)譜（ Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS） 用高能離子束轟擊樣品，使其產(chǎn)生正負(fù)二次離子，將這些二次離子引入質(zhì)譜儀進(jìn)行分析，再由檢測系統(tǒng)收集，據(jù)此識別樣品的組分。當(dāng)雜質(zhì)濃度大于 ni時，擴(kuò)散系數(shù)變得與濃度有關(guān)，稱為非本征擴(kuò)散。 36 與濃度有關(guān)的擴(kuò)散 當(dāng)基質(zhì)原子離開晶格位置而產(chǎn)生空位，依照空位的電荷數(shù)，可有中性空位 V0、受主空位 V－ 、雙電荷受主 V2－ 、施主空位 V+等。 e xp( )FiVi EECC kT??如果雜質(zhì)擴(kuò)散以空位擴(kuò)散為主，則 D正比于空位密度。正比與 Ci的 D也將和雜質(zhì)濃度無關(guān)。如上圖的右側(cè)所示。 擴(kuò)散方程式為： ()C F CDt x x x? ? ? ?? ? ?? ? ? ?可將擴(kuò)散方程式寫成一常微分方程式并以數(shù)值法求解。 Au和 Pt， γ＝ 2，曲線（ d）所示， 呈一凹陷的形狀。但由于 離解效應(yīng)，擴(kuò)散分布將呈現(xiàn)出不 規(guī)則的形狀?？瘴辉谏榛墧U(kuò)散過程中扮演了一個主要角色，因?yàn)?p型和 n型雜質(zhì)最終必須進(jìn)駐晶格位置上，然而空位的荷電狀態(tài)迄今尚未確定。并注意即使是最低表面濃度的情況，擴(kuò)散型態(tài)也屬于非本征擴(kuò)散。這時必須考慮二維的擴(kuò)散方程式，并使用數(shù)值分析技術(shù)求得在不同初始與邊界條件下的擴(kuò)散分布。 垂直滲透約為 橫向滲透約為 44 由于橫向擴(kuò)散作用，結(jié)包含了一個中央平面區(qū)及一個近似圓柱、曲率半徑為 rj的邊。既然電場強(qiáng)度在圓柱與圓球結(jié)處較強(qiáng)，則該處雪崩擊穿電壓遠(yuǎn)低于有相同襯底摻雜的平面結(jié)處。 , March 22, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 :53:0614:53Mar2322Mar23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 :53:0614:53:06March 22, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 。 2023年 3月 22日星期三 2時 53分 6秒 14:53:0622 March 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 , March 22, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 :53:0614:53Mar2322Mar23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 :53:0614:53:06March 22, 2023 ? 1意志堅強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 。 2023年 3月 22日星期三 2時 53分 6秒 14:53:0622 March 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 , March 22, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 :53:0614:53Mar2322Mar23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 2023年 3月 22日星期三 下午 2時 53分 6秒 14:53: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 2023年 3月 22日星期三 2時 53分 6秒 14:53:0622 March 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)
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