odf段工藝設(shè)備培訓(xùn)資料-文庫(kù)吧資料
2025-01-16 13:02本頁(yè)面
【正文】 低 真空） Ｓｅａｌ 液晶 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 氣泡 Ｓｐａｃｅｒ 大氣開(kāi)放 大氣開(kāi)放 真空貼合過(guò)程 1. 若沒(méi)有達(dá)到要求的真空度，則貼合之后的面板會(huì)出現(xiàn) Gap不良，發(fā)生氣泡 2. 排氣速度（在液晶脫泡不充分或者排氣速度太快的情況下，會(huì)導(dǎo)致液晶飛濺出來(lái)，若飛濺到seal材上，則會(huì)導(dǎo)致 seal材接著不良，液晶泄漏。 2Chamber抽真空，真空中用物理粘著ChuckPSC和低電壓靜電 ChuckLVC保持基板，并完成高精度對(duì)位。 4主要參數(shù)： ?液晶滴下量 (新品種導(dǎo)入時(shí)經(jīng)試作決定 ) 5難點(diǎn)： ?不同品種液晶使用的 Pump的區(qū)分管理 ?Pump的組裝和清掃 MPP工作原理簡(jiǎn)圖 原點(diǎn) 充填 閥門切換 Drop 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 15 Syringe ， Nozzle 洗凈 Flow Valve ， Tube 洗凈 Flow Plunger Syringe Nozzle Valve Tube Acetone 1 Acetone 2 Acetone 3 Dip 洗凈 漂洗 Dip 洗凈 漂洗 USC洗凈 80kHz 超聲波洗 N2 干燥 N2 Gun 吹干 Acetone 用氣缸驅(qū)動(dòng)三通 Valve， 通丙酮進(jìn)行沖洗 壓力為 流量 125mL/min N2 干燥 用氣缸驅(qū)動(dòng)三通閥，通 N2 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 16 滴下位置：Ｓｅａｌ寄り 液晶 本 Seal 補(bǔ)助 Seal 液晶 液晶 glass glass 滴下位置：最適 液晶 本 Seal 補(bǔ)助 Seal 液晶 液晶 glass glass 滴下位置：Ｃｅｌｌ中央寄り 液晶 本 Seal 補(bǔ)助 Seal 液晶 液晶 glass glass 滴下位置穩(wěn)定性 滴下位置不是最佳位置時(shí)，在大氣開(kāi)放時(shí)，面內(nèi)壓力差產(chǎn)生。 2通過(guò) Dummy Drop將 Tube中的空氣排光。 Au ｐａｄ 正常 量ＮＧ（多） ↓ 盒厚不均 Au ｐａｓｔｅ Ａu ｐａｓｔｅ 導(dǎo)電 涂布前 Ｐａｄ狀態(tài) 導(dǎo)電 涂布后形狀 量ＮＧ（少） ↓ 接觸 不良 Ａu ｐａｓｔｅ 位置ＮＧ ↓ 接觸 不良 Ａu ｐａｓｔｅ 導(dǎo)電膠涂布穩(wěn)定性 正常 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 13 Seal – PI –Au涂布的位置關(guān)系： Seal膠 PI膜 Ag涂布 Pad 顯示區(qū) 適用于 TN型產(chǎn)品 IPS型產(chǎn)品不需要轉(zhuǎn)移電極 另一種獲得 V的方法 Seal膠內(nèi)摻入金球，通過(guò)接觸孔導(dǎo)通 優(yōu)點(diǎn)： V更均勻 Seal膠 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 14 液晶滴下機(jī) [目的 ]： 為 形成目標(biāo)盒厚，在 CF基板上滴下合適的液晶量。 3通過(guò)基臺(tái)的移動(dòng)獲得不同的 Pattern。同時(shí)有利于后工程的切斷 Gap Sensor Glass基板 Seal材 Syringe nozzle Nozzle高度由 Gap Sensor 實(shí)時(shí) Feedback校正 N2壓力 基臺(tái)移動(dòng)方向 Gap [原理 ]： 1將 Seal與 Spacer充分調(diào)合好后填充 入 Syringe，并進(jìn)行真空離心脫泡。 一、
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