【正文】 F基板導通。同時有利于后工程的切斷 Gap Sensor Glass基板 Seal材 Syringe nozzle Nozzle高度由 Gap Sensor 實時 Feedback校正 N2壓力 基臺移動方向 Gap [原理 ]： 1將 Seal與 Spacer充分調(diào)合好后填充 入 Syringe，并進行真空離心脫泡。 2UV Lamp Shutter開啟后， Lamp開始照射，保證基板各個部分受到均勻的 UV照射。 330mm Y方向： +630mm， 550mm Shanghai Tianma Microelectronics 34 三、主要設(shè)備工藝參數(shù) 液晶滴下（ ODF） 主要控制參數(shù)： ? 液晶滴下量（ mg/drop） ? 液晶滴下位置 (滴定形狀 ) ? 液晶滴下打點數(shù)（每屏所需液晶量） ? 液晶脫泡條件（時間、真空度） ? QTime（液晶滴下～真空貼合） Shanghai Tianma Microelectronics 35 三、主要設(shè)備工藝參數(shù) 工藝性能要求： 貼合精度： 177。 2通過 Dummy Drop將 Tube中的空氣排光。 Nozzle通過 4次散布動作均勻地 噴灑出的 Spacer，通過靜電力 的作用附著在放置在接地 (GND) 基臺上的基板上。） 液晶 Ｓｅａｌ 真空排氣 液晶 飛濺 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 26 貼合精度測定 測定方法：專用的 OffLine測定裝置 (MisAlign)，在 CF與TFT板貼合之后自動進行測定，測定的數(shù)據(jù)在 PC中自動保存。 早期的 HEPA主要采用玻璃纖維，而玻璃纖維對人體的皮膚有刺激作用， 特別脫落的玻璃纖維絲如果被人體的肺部吸附，會導致嚴重的后果 （其后果就如同吸入石棉一樣）。 周邊 Gap不良 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 17 Ｇａｐ値（μｍ） 測定 point Ａ Ａ’ 滴下量：少 滴下量：適正 滴下量：多 Ａ Ａ’ ＜測定 Point＞ ＢＭ 表示部 ?Ｇａｐ大 滴下量：適正 滴下量：多 滴下量：少 ?Ｇａｐ小 滴下量對盒厚（ Gap）值影響： 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 18 球狀 Spacer 柱狀 Spacer 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 19 真空貼合 [目的 ]： 在真空中將上下基板經(jīng)過對位后貼合在一起 [原理 ]： 1真空吸著方式受取上下基板，并做粗對位，以保證精對位時精對位 Mark都在 Camera的視野范圍內(nèi)。Shanghai Tianma Microelectronics 1 Cell段 ODF工裝 設(shè)備 2022年 2月 7日星期一 Shanghai Tianma Microelectronics 2 目 錄 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 二、 ODF段輔助設(shè)備 三、主要工裝設(shè)備工藝參數(shù) 四、高效空氣微粒子過濾器 Shanghai Tianma Microelectronics 3 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 廠家可按需求提供模塊化的設(shè)備配置，方便選擇 主要工裝設(shè)備： 框膠涂布、液晶滴下機、導電膠涂布、真空貼合、 UV固化 ODF產(chǎn)線簡圖