odf段工藝設(shè)備培訓(xùn)資料-文庫(kù)吧在線文庫(kù)
【正文】 onics 28 UV Lamp (Metal Halide Lamp ) ＵＶ光 Seal材達(dá)到一定程度的硬化， 真空貼合后的 CF,TFT基板接著，形成穩(wěn)定盒厚。 早期的 HEPA主要采用玻璃纖維，而玻璃纖維對(duì)人體的皮膚有刺激作用， 特別脫落的玻璃纖維絲如果被人體的肺部吸附，會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的后果 （其后果就如同吸入石棉一樣）。 Spacer散布工程的工藝要求： 液晶滴下時(shí) Spacer不發(fā)生移動(dòng) 在工藝過(guò)程中基板上不附著 US Cleaner不可去除的不純物 Shanghai Tianma Microelectronics 33 三、主要設(shè)備工藝參數(shù) Seal（封框膠 ）涂布 Seal涂布的工藝參數(shù)特點(diǎn)： Seal材 粘度 20Pa? S～ 700Pa? S 混合 Spacer材： 3～ 10um 涂布位置精度 80um 涂布幅寬 涂布高度 2550um 斷面積精度 10% 最小拐角 R描畫 涂布速度 Max:150mm/s（常用為 20～ 100mm/s） 基臺(tái)移動(dòng)幅度： X方向： 177。） 液晶 Ｓｅａｌ 真空排氣 液晶 飛濺 Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ Ｇｌａｓｓ 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 26 貼合精度測(cè)定 測(cè)定方法：專用的 OffLine測(cè)定裝置 (MisAlign)，在 CF與TFT板貼合之后自動(dòng)進(jìn)行測(cè)定，測(cè)定的數(shù)據(jù)在 PC中自動(dòng)保存。 [原理 ]： 1將真空脫泡好的 LC Bottle裝載在支架上。 Nozzle通過(guò) 4次散布動(dòng)作均勻地 噴灑出的 Spacer，通過(guò)靜電力 的作用附著在放置在接地 (GND) 基臺(tái)上的基板上。 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Spacer材 Feeder內(nèi) Ｎ２ Purge Spacer 圧送 Spacer 投入口 高速氣流 【ＳＵＳ配管斷面 】 散布１ 散布２ 散布４ 散布３ 散布 nozzle ● ● ● ● 散布用（ 4箇所） 圧送用（ 1箇所） 固定Ｎｏｚｚｌｅ Shanghai Tianma Microelectronics 6 Spacer固著原理及裝置概要 Ｓｐａｃｅｒ本 體 表面 處理層 Ｇｌａｓｓ 表面 處 理 層 溶解固著 Ｇｌａｓｓ 原理 加熱 裝置構(gòu)造 ＯＶＥＮ（１臺(tái)） Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｒｏｂｏｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｕｎｉｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｕｎｉｔ Ｂｕｆｆｅｒ ＆ Ｃｏｏｌｉｎｇ Ｕｎｉｔ Ｒｅｔｕｒｎ 無(wú)塵 恒溫槽 ＨＥＰＡ ＨＥＡＴＥＲ ＦＡＮ Ｓｉｄｅ＋Ｃｅｎｔｅｒ Ａｉｒ Ｂｌｏｗ ? Ｃｅｎｔｅｒ Ｂｌｏｗ：防止基板破裂 Ｃｅｎｔｅｒ Ｂｌｏｗ Ｓｉｄｅ Ｂｌｏｗ 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 7 未開(kāi)封襯墊球 剛開(kāi)封襯墊球 開(kāi)封時(shí)間過(guò)長(zhǎng)襯墊球 供給部 裝置簡(jiǎn)圖 一、 ODF段主要工裝設(shè)備 Shanghai Tianma Microelectronics 8 Seal涂布 [目的 ]： TFT 基板和 CF 基板緊密粘合，為構(gòu)成均一盒厚，在 Seal中添加 Slica。 2通過(guò) Dummy Drop將 Tube中的空氣排光。 貼 合后的Array/CF基板 Vernier與 對(duì) 位 標(biāo) 志 Panel 【Vernier】 【對(duì) 位 標(biāo) 志 】 X/Vernier Y/Vernier 利用畫像處理 、 自動(dòng)
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