微光機(jī)電系統(tǒng)ppt課件(參考版)
2025-01-17 16:46本頁(yè)面
【正文】 ? 3 LIGA技術(shù) ? LIGA技術(shù)是用同步輻射 X光源進(jìn)行 X射線深層光刻、微電鑄和微復(fù)制 ,用三種工藝來(lái)加工三維微結(jié)構(gòu) ,LIGA就是這三種工藝的德文縮寫 實(shí)例 光開(kāi)關(guān) 實(shí)例 微光傳感器微執(zhí)行機(jī)構(gòu) ? 紅外探測(cè)器 ? 微光開(kāi)關(guān) ? 微機(jī)械光纖耦合器 ? 柵狀光閥成像系統(tǒng) ? 數(shù)字微鏡器件與數(shù)字 光路處理器 總結(jié) 總結(jié) ? MOEMS在控制領(lǐng)域的影響： ? 由于它“微小”的概念，在控制領(lǐng)域提高控制精度上有很大的潛力 ? 測(cè)量元件往往成為實(shí)際控制工程領(lǐng)域精度的決定因素， MOEMS的發(fā)展將帶來(lái)測(cè)量元件全面提升和發(fā)展。硅的體微加工技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)是硅的刻蝕 ,它主要包括干法和濕法兩種刻蝕。 nL慣性力 電磁力 粘性力 彈性力 表面張力 靜電力 L4 L3 L2 L2 L1 L0 尺寸效應(yīng) 1 ?幾何結(jié)構(gòu)學(xué)中的尺寸效應(yīng) 2 ?部分力的尺寸效應(yīng) 3 ?流體力學(xué)中的尺寸效應(yīng) 4
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