微光機(jī)電系統(tǒng)ppt課件-文庫吧在線文庫
【正文】 處于初級(jí)階段 *MOEMS很難形成相對(duì)統(tǒng)一的設(shè)計(jì)基礎(chǔ)和標(biāo)準(zhǔn)制造工藝 *目前絕大多數(shù)微器件都沒有精確的解析模型預(yù)測(cè)其行為 *目前 MOEMS專業(yè)技術(shù)人員還非常匱乏 微型化帶來的“特殊”理論問題 ? 目前， MOEMS基礎(chǔ)理論的研究還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足人們的需要，成為整個(gè)微光機(jī)電系統(tǒng)進(jìn)一步發(fā)展的瓶頸。硅的濕法刻蝕又可分為各向同性刻蝕和各向異性的刻蝕 ? 2表面微機(jī)械加工技術(shù) ? 表面微機(jī)械加工技術(shù)是制造 MOEMS器件的一項(xiàng)十分關(guān)鍵的微加工技術(shù) ,常用這一技術(shù)來加工微鉸鏈、懸臂梁、隔膜以及空腔等結(jié)構(gòu)。 ? 當(dāng)系統(tǒng)或器件的尺寸縮小到微觀領(lǐng)域時(shí)，與尺寸 L高次方成比例的慣性力（ L4）、電磁力（ L3）等的作用相對(duì)減小，而與尺寸 L低次方成比例的粘性力（ L2）、彈性力（ L2）、表面張力（ L1）、靜電力（ L0）等的作用相對(duì)增強(qiáng)，同時(shí)表面積與體積的比值增大，熱傳導(dǎo)、化學(xué)反應(yīng)顯著加快和表面摩擦顯著增加。 它將 微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)、電源融為一體 – MEMS的制作工藝?yán)昧顺Ｒ?guī)的 IC(Integrated Ci
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