微光機電系統(tǒng)ppt課件(已修改)
2025-01-26 16:46 本頁面
【正文】 微光機電系統(tǒng) 高爽 | 蔣秀珍 0704102 微光機 電系統(tǒng) ? 微光機電 系統(tǒng)： ? MicroOpticalElectroMechanicalSystem，MOEMS for short. ? 微光學(xué)、微電子和微機械相結(jié)合而產(chǎn)生的一種新型的微光學(xué)結(jié)構(gòu)系統(tǒng) 微機 電系統(tǒng) ? 微機電系統(tǒng) MicroElectroMechanicalSystem ,MEMS for short. – 以批量化的微電子技術(shù)為基礎(chǔ)，通過各向異性腐蝕、各向同性腐蝕、犧牲層腐蝕、鍵合等技術(shù)，制造出各種微機械結(jié)構(gòu)，并使之與電路相集成，組成一個可以完成信息 獲取 、 處理 及 執(zhí)行 功能的 微系統(tǒng)。 它將 微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)、電源融為一體 – MEMS的制作工藝?yán)昧顺Ｒ?guī)的 IC(Integrated Circuit)制作工藝把微型的電子系統(tǒng)和微型機械系統(tǒng)復(fù)合到微米，甚至是納米量級的尺寸刻度里面 – 微機 電系統(tǒng) MEMS工藝技術(shù) 硅微機械加工技術(shù) LIGA技術(shù) 特種超精密微機械加工技
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