微光機(jī)電系統(tǒng)ppt課件(留存版)
【正文】 們的需要，成為整個(gè)微光機(jī)電系統(tǒng)進(jìn)一步發(fā)展的瓶頸。 nL慣性力 電磁力 粘性力 彈性力 表面張力 靜電力 L4 L3 L2 L2 L1 L0 尺寸效應(yīng) 1 ?幾何結(jié)構(gòu)學(xué)中的尺寸效應(yīng) 2 ?部分力的尺寸效應(yīng) 3 ?流體力學(xué)中的尺寸效應(yīng) 4 ?熱傳遞中的尺寸效應(yīng) 尺寸效應(yīng) ? 1幾何結(jié)構(gòu)學(xué)中的尺寸效應(yīng) ： – 表面積和體積比的變化，介質(zhì)不連續(xù)性突出 ? 2部分力的尺寸效應(yīng) – 各種作用力的相對(duì)重要性變化，介質(zhì)連續(xù)的宏觀概念不成立，要對(duì)力學(xué)理論修正。目前， MEMS發(fā)展的一個(gè)屏障 : ? 輸出力矩小 – 而光系統(tǒng)無(wú)需力矩輸出，由于通過(guò)微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了可動(dòng)結(jié)構(gòu)，使得 微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù) 與 微光學(xué) 相結(jié)合而形成的微光機(jī)電系統(tǒng)（ MOEMS）受到人們更大的關(guān)注 微光機(jī)電 系統(tǒng) 【 1】 ? 這是因?yàn)?MEMS器件的尺寸和作用距離可以達(dá)到光的波長(zhǎng)量級(jí)，并且絕緣體、半導(dǎo)體、金屬可以平滑的構(gòu)成一體 【 2】 ? 光子幾乎沒(méi)
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