微光機電系統(tǒng)ppt課件-資料下載頁
2025-01-14 16:46本頁面
【正文】 ,在 MOEMS中廣泛 ? 用于刻蝕光纖對準用的 V型槽、深腔、硅彈簧等結構。硅的體微加工技術的關鍵技術是硅的刻蝕 ,它主要包括干法和濕法兩種刻蝕。硅的濕法刻蝕又可分為各向同性刻蝕和各向異性的刻蝕 ? 2表面微機械加工技術 ? 表面微機械加工技術是制造 MOEMS器件的一項十分關鍵的微加工技術 ,常用這一技術來加工微鉸鏈、懸臂梁、隔膜以及空腔等結構。 ? 3 LIGA技術 ? LIGA技術是用同步輻射 X光源進行 X射線深層光刻、微電鑄和微復制 ,用三種工藝來加工三維微結構 ,LIGA就是這三種工藝的德文縮寫 實例 光開關 實例 微光傳感器微執(zhí)行機構 ? 紅外探測器 ? 微光開關 ? 微機械光纖耦合器 ? 柵狀光閥成像系統(tǒng) ? 數(shù)字微鏡器件與數(shù)字 光路處理器 總結 總結 ? MOEMS在控制領域的影響： ? 由于它“微小”的概念，在控制領域提高控制精度上有很大的潛力 ? 測量元件往往成為實際控制工程領域精度的決定因素， MOEMS的發(fā)展將帶來測量元件全面提升和發(fā)展。
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