微光機電系統(tǒng)ppt課件(存儲版)
【正文】 光開關(guān)、顯示器、微型光譜儀、光學(xué)連接器、可調(diào)波長濾波器，微光掃描器、微、微干涉儀、微可變焦透鏡、微外腔激光器、斬波器微鏡陣列、透鏡陣列、光學(xué)探測器、集成光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)編碼器等。硅的體微加工技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)是硅的刻蝕 ,它主要包括干法和濕法兩種刻蝕。 nL慣性力 電磁力 粘性力 彈性力 表面張力 靜電力 L4 L3 L2 L2 L1 L0 尺寸效應(yīng) 1 ?幾何結(jié)構(gòu)學(xué)中的尺寸效應(yīng) 2 ?部分力的尺寸效應(yīng) 3 ?流體力學(xué)中的尺寸效應(yīng) 4 ?熱傳遞中的尺寸效應(yīng) 尺寸效應(yīng) ? 1幾何結(jié)構(gòu)學(xué)中的尺寸效應(yīng) ： – 表面積和體積比的變化，介質(zhì)不連續(xù)性突出 ? 2部分力的尺寸效應(yīng) – 各種作用力的相對重要性變化，介質(zhì)連續(xù)的宏觀概念不成立，要對力學(xué)理論修正。 LIGA工藝是一種基于 X射線光刻技術(shù)的 MEMS加工技術(shù)，主要包括 X光深度同步輻射光刻，電鑄制模和注模復(fù)制三個工藝步驟。 現(xiàn)階段 MOEMS研究的主要問題 *有關(guān) MOEMS封裝的研究現(xiàn)在還
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