微光機(jī)電系統(tǒng)ppt課件-wenkub
2023-01-29 16:46:42 本頁面
【正文】 為一體 – MEMS的制作工藝?yán)昧顺Ｒ?guī)的 IC(Integrated Circuit)制作工藝把微型的電子系統(tǒng)和微型機(jī)械系統(tǒng)復(fù)合到微米，甚至是納米量級(jí)的尺寸刻度里面 – 微機(jī) 電系統(tǒng) MEMS工藝技術(shù) 硅微機(jī)械加工技術(shù) LIGA技術(shù) 特種超精密微機(jī)械加工技術(shù) 三大支撐技術(shù) 微機(jī) 電系統(tǒng) ? LIGA: – LIGA是德文 Lithographie， Galanoformung和Abformung三個(gè)詞，即光刻、電鑄和注塑。 LIGA工藝是一種基于 X射線光刻技術(shù)的 MEMS加工技術(shù)，主要包括 X光深度同步輻射光刻，電鑄制模和注模復(fù)制三個(gè)工藝步驟。 ? 微型化的構(gòu)件所產(chǎn)生的效應(yīng)使其具有自身獨(dú)特的性能，導(dǎo)致在各個(gè)相關(guān)的科學(xué)領(lǐng)域都產(chǎn)生了新的問題。 nL慣性力 電磁力 粘性力 彈性力 表面張力 靜電力 L4 L3 L2 L2 L1 L0 尺寸效應(yīng) 1 ?幾何結(jié)構(gòu)學(xué)中的尺寸效應(yīng) 2 ?部分力的尺寸效應(yīng) 3 ?流體力學(xué)中的尺寸效應(yīng)
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