《微光機(jī)電系統(tǒng)》ppt課件-文庫(kù)吧
2024-12-30 16:46 本頁(yè)面
【正文】 術(shù) 三大支撐技術(shù) 微機(jī) 電系統(tǒng) ? LIGA: – LIGA是德文 Lithographie， Galanoformung和Abformung三個(gè)詞，即光刻、電鑄和注塑。 LIGA工藝是一種基于 X射線光刻技術(shù)的 MEMS加工技術(shù)，主要包括 X光深度同步輻射光刻，電鑄制模和注模復(fù)制三個(gè)工藝步驟。 微光機(jī)電 系統(tǒng) ? MEMS應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬。目前， MEMS發(fā)展的一個(gè)屏障 : ? 輸出力矩小 – 而光系統(tǒng)無(wú)需力矩輸出，由于通過(guò)微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了可動(dòng)結(jié)構(gòu)，使得 微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù) 與 微光學(xué) 相結(jié)合而形成的微光機(jī)電系統(tǒng)（ MOEMS）受到人們更大的關(guān)注 微光機(jī)電 系統(tǒng) 【 1】 ? 這是因?yàn)?MEMS器件的尺寸和作用距離可以達(dá)到光的波長(zhǎng)量級(jí)，并且絕緣體、半導(dǎo)體、金屬可以平滑的構(gòu)成一體 【 2】 ? 光子幾乎沒(méi)有質(zhì)量，所以即使是單薄的 MEMS器件也可以輕松的控制它 MEMS器件非常適合應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域： 研究?jī)?nèi)容 ? 目前（ 2022），微光機(jī)電系統(tǒng)的研究?jī)?nèi)容主要有： – 光通信用波分復(fù)用器、光開(kāi)關(guān)、顯示器、
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