微光機電系統(tǒng)ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-10 16:46 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 微型光譜儀、光學(xué)連接器、可調(diào)波長濾波器，微光掃描器、微、微干涉儀、微可變焦透鏡、微外腔激光器、斬波器微鏡陣列、透鏡陣列、光學(xué)探測器、集成光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)編碼器等。 現(xiàn)階段 MOEMS研究的主要問題 *有關(guān) MOEMS封裝的研究現(xiàn)在還處于初級階段 *MOEMS很難形成相對統(tǒng)一的設(shè)計基礎(chǔ)和標(biāo)準(zhǔn)制造工藝 *目前絕大多數(shù)微器件都沒有精確的解析模型預(yù)測其行為 *目前 MOEMS專業(yè)技術(shù)人員還非常匱乏 微型化帶來的“特殊”理論問題 ? 目前， MOEMS基礎(chǔ)理論的研究還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足人們的需要，成為整個微光機電系統(tǒng)進一步發(fā)展的瓶頸。 ? 微型化的構(gòu)件所產(chǎn)生的效應(yīng)使其具有自身獨特的性能，導(dǎo)致在各個相關(guān)的科學(xué)領(lǐng)域都產(chǎn)生了新的問題。 ? MOEMS微小尺寸和微小空間內(nèi)，許多宏觀狀態(tài)的物理量都發(fā)生了變化，異于傳統(tǒng)機械的特點：呈現(xiàn)了特有的規(guī)律和尺寸效應(yīng)。 尺寸效應(yīng) ? 指的是當(dāng)物體尺寸 L改變時，種種物理量比例于 ? 而變化的現(xiàn)象。 ? 當(dāng)系統(tǒng)或器件的尺寸縮小到微觀領(lǐng)域時，與尺寸 L高次方成比例的慣性力（ L4）、電磁力（ L3）等
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