《微光機(jī)電系統(tǒng)》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 的是當(dāng)物體尺寸 L改變時(shí)，種種物理量比例于 ? 而變化的現(xiàn)象。目前， MEMS發(fā)展的一個(gè)屏障 : ? 輸出力矩小 – 而光系統(tǒng)無(wú)需力矩輸出，由于通過(guò)微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了可動(dòng)結(jié)構(gòu)，使得 微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù) 與 微光學(xué) 相結(jié)合而形成的微光機(jī)電系統(tǒng)（ MOEMS）受到人們更大的關(guān)注 微光機(jī)電 系統(tǒng) 【 1】 ? 這是因?yàn)?MEMS器件的尺寸和作用距離可以達(dá)到光的波長(zhǎng)量級(jí)，并且絕緣體、半導(dǎo)體、金屬可以平滑的構(gòu)成一體 【 2】 ? 光子幾乎沒(méi)有質(zhì)量，所以即使是單薄的 MEMS器件也可以輕松的控制它 MEMS器件非常適合應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域： 研究?jī)?nèi)容 ? 目前（ 2022），微光機(jī)電系統(tǒng)的研究?jī)?nèi)容主要有： – 光通信用波分復(fù)用器、光開關(guān)、顯示器、微型光譜儀、光學(xué)連接器、可調(diào)波長(zhǎng)濾波器，微光掃描器、微、微干涉儀、微可變焦透鏡、微外腔激光器、斬波器微鏡陣列、透鏡陣列、光學(xué)探測(cè)器、集成光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)編碼器等。微光機(jī)電系統(tǒng) 高爽 | 蔣秀珍 0704102 微光機(jī) 電系統(tǒng) ? 微光機(jī)電 系統(tǒng)： ? MicroOptica
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