《微光機(jī)電系統(tǒng)》ppt課件-預(yù)覽頁(yè)
【正文】 lElectroMechanicalSystem，MOEMS for short. ? 微光學(xué)、微電子和微機(jī)械相結(jié)合而產(chǎn)生的一種新型的微光學(xué)結(jié)構(gòu)系統(tǒng) 微機(jī) 電系統(tǒng) ? 微機(jī)電系統(tǒng) MicroElectroMechanicalSystem ,MEMS for short. – 以批量化的微電子技術(shù)為基礎(chǔ)，通過(guò)各向異性腐蝕、各向同性腐蝕、犧牲層腐蝕、鍵合等技術(shù)，制造出各種微機(jī)械結(jié)構(gòu)，并使之與電路相集成，組成一個(gè)可以完成信息 獲取 、 處理 及 執(zhí)行 功能的 微系統(tǒng)。 微光機(jī)電 系統(tǒng) ? MEMS應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬。 ? MOEMS微小尺寸和微小空間內(nèi)，許多宏觀狀態(tài)的物理量都發(fā)生了變化，異于傳統(tǒng)機(jī)械的特點(diǎn)：呈現(xiàn)了特有的規(guī)律和尺寸效應(yīng)。 ? 3流體力學(xué)中的尺寸效應(yīng) ? 4熱傳遞中的尺寸效應(yīng) 1熱流密度相當(dāng)大 , 107W/ m2 2熱慣性小 L3 微光機(jī)電系統(tǒng)的制造技術(shù) ? 微光機(jī)電系統(tǒng)的制造技術(shù)（ ） ? 1體微加工技術(shù) ? 硅的體微加工技術(shù) ,在 MOEMS中廣泛 ? 用于刻蝕光纖對(duì)準(zhǔn)用的 V型槽、深腔、硅彈簧等結(jié)構(gòu)。
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