微機(jī)電系統(tǒng)課程機(jī)電專業(yè)-資料下載頁(yè)
2025-05-11 06:10本頁(yè)面
【正文】 。用矩陣記為 。同樣地，若采用電子學(xué)的技術(shù)，可提供的實(shí)施方案有 P個(gè)，用矩陣記作為 { }。 多種方案的綜合評(píng)價(jià)，優(yōu)化設(shè)計(jì) 1iM 2iM miMim{M}piE．朱鐘淦 — 捤谷誠(chéng)方法 MEMS資訊網(wǎng)（ ） 接口設(shè)計(jì) 在 MEMS產(chǎn)品中，接口設(shè)計(jì)是十分重要的，一般接口 分為硬接口和軟接口，還應(yīng)考慮微觀與宏觀接口設(shè)計(jì)。 硬接口 以硬件形式完成子系統(tǒng)，功能模塊之間的物質(zhì)，信息， 能量的輸入與輸出的變換，傳輸。按其作用可分為零接 口，主動(dòng)接口，被動(dòng)接口，智能接口。 應(yīng)用軟件實(shí)現(xiàn)接口功能。 MEMS資訊網(wǎng)（ ） 計(jì)算機(jī)控制與電子硬件運(yùn)行依靠軟接口實(shí)現(xiàn)，而計(jì)算機(jī)控制與機(jī)械之間不能直接接口，而是通過傳感器的轉(zhuǎn)換，才能用軟接口連接。 微觀與宏觀接口設(shè)計(jì) 根據(jù)目前的技術(shù)，實(shí)現(xiàn)微觀與宏觀接口設(shè)計(jì)的傳輸原理和相應(yīng)的傳輸元件列于表 。 微觀與宏觀接口設(shè)計(jì)中傳輸元件的設(shè)計(jì)是多樣性的，在設(shè)計(jì)過程中難免重復(fù)進(jìn)行。對(duì)于這種接口設(shè)計(jì)必須采用多次中間相遇的設(shè)計(jì)方法。 （ 1）電學(xué)的微觀與宏觀耦合設(shè)計(jì) MEMS資訊網(wǎng)（ ） （ 2）光學(xué)的微觀和宏觀接口設(shè)計(jì) （ 3）機(jī)械的微觀與宏觀接口 （ 4）超聲傳輸 物質(zhì)傳輸 （ 1）流體的微觀和宏觀接口 從原理上講，液體作為傳輸?shù)奈镔|(zhì)，本身不能與傳輸系統(tǒng)相互影響，若有化學(xué)反應(yīng)吸收或釋放時(shí)，才與傳輸系統(tǒng)發(fā)生相互影響。 （ 2）流體微元件 MEMS資訊網(wǎng)（ ） 21()ni iiy y??? 當(dāng)被測(cè)物理量與影響因素之間呈現(xiàn)線形關(guān)系，或者可以轉(zhuǎn)換成線形關(guān)系，則可應(yīng)用多元線性回歸理論分析。其數(shù)學(xué)模型： =bo+b1x1+b2X2+……+b pxp （ 2— 1） 式中： 可確定的物理量； Xi 第 i次影響因素； Bi 未知參數(shù)。 假設(shè) n次隨機(jī)樣本為 xi1， xi2， ……x ip， yi（ i=1， 2， ……n ），根據(jù)最小二乘法，得到 : Q= ．微傳感器布陣設(shè)計(jì)方法 MEMS資訊網(wǎng)（ ） 選擇未知參數(shù) bo， b1…… ， bp，使得 Q獲得最小值，通過求偏導(dǎo)數(shù)，獲得方程組 j=1， 2， ……p 上式中 xij為第 j次影響因素的第 i次觀察值?，F(xiàn)用矩陣表示 （ 24） 于是得到 (25） 102 ( ) 0ni iiQb y y?? ? ? ? ?? ?12 ( ) 0niji ijjQ xb y y?? ? ? ? ?? ?39。39。X X B X Y?1( 39。 ) 39。B X X X Y??MEMS資訊網(wǎng)（ ） 其中矩陣 B是未知參數(shù)的矩陣。為確定未知參數(shù)，這里應(yīng)用逐步線性回歸方法。 逐步線性回歸 的基本思想是將因子一個(gè)個(gè)地引入回歸方程，引入的條件是該因子的偏回歸平方和經(jīng)檢驗(yàn)是顯著的。同時(shí)，每引入一個(gè)因子，要對(duì)老因子逐個(gè)檢驗(yàn)，將偏回歸平方和變?yōu)椴伙@著的因子剔出。 當(dāng)被測(cè)物理量與影響因素之間的關(guān)系是非線性而函數(shù)關(guān)系是已知時(shí)，函數(shù)中的系數(shù)是未知的 ,此時(shí)用多元線性回歸是無法解決的 ,而非線回歸分析卻可以解決上述問題。 這里探求多元非線性的數(shù)學(xué)模型和最小二乘法的準(zhǔn)則 ,以及阻尼最小二乘法（又稱 LevenbergMarquarat algorithm） MEMS資訊網(wǎng)（ ） 1 2 , 1 2( , . . . , , , , . . . , )prY x x x? ? ? ? ??? ? ? ?? ?? px ,? ?12, , , ,i i ip ix x x y1 2 , 1 2( , . . . , , , , . . . , )prY x x x? ? ? ? ???2~ ( , )i No??i??（ 2－ 12） 從觀察值可得到： 是獨(dú)立的 ? ?1 , 2 ,iN? 根據(jù)最小二乘法，選擇 的估計(jì)值，以使剩余值 Q的平方和是最小的。 如何正確地進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，用最小的次數(shù)，獲得最好的結(jié)果。這需要對(duì)試驗(yàn)?zāi)Ｊ竭M(jìn)行正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)。 對(duì)正交試驗(yàn)結(jié)果的分析，通常采用兩種方法，一種是直觀分析法或稱極差分析法，另一種是方差分析法。 MEMS資訊網(wǎng)（ ） 第二章 思考題 ? MEMS的設(shè)計(jì)涉及那些學(xué)科？簡(jiǎn)述 MEMS的設(shè)計(jì)方法及特點(diǎn) ? 工程系統(tǒng)設(shè)計(jì)通常有幾種方法？其主要思路是什么？試舉例說明。 ? 什么是接口設(shè)計(jì)？接口設(shè)計(jì)包含那些方面？ ? 微傳感器布陣設(shè)計(jì)方法主要思路是什么？如何應(yīng)用回歸理論和正交設(shè)計(jì)方法進(jìn)行陣列布陣設(shè)計(jì)？ ? 在 MEMS產(chǎn)品中如何應(yīng)用尺度效應(yīng)進(jìn)行設(shè)計(jì)？其根據(jù)是什么？對(duì)于一階尺度，如表面 — 體積尺度變化規(guī)律是什么？ ? 什么是微觀力學(xué)？其基本假設(shè)是什么？ ? 簡(jiǎn)述如何應(yīng)用 ANASYS和 NASTRAN程序進(jìn)行變形分析 ? MEMS中如何應(yīng)用 CAD技術(shù)。
公司管理相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1