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正文內(nèi)容

ldk單晶爐熱場ppt課件(參考版)

2024-12-11 02:48本頁面
  

【正文】 ③結(jié)晶界面處的縱向溫度梯度 適當?shù)拇?,從而形成必要的過冷度 ,使單晶有足夠的生長動力,不能太大,否則會產(chǎn)生結(jié)構(gòu)缺陷,而徑向溫度梯度要盡可能小,即 ,使結(jié)晶界面趨于平坦。 0SLdTdr ????????SLdTdr???????0SLdTdr ????????0SLdTdr ????????SLdTdr???????0SLdTdr ????????SLdTdr???????? 總之, 合理的熱場的溫度分布需要滿足以下條件: ①晶體中縱向溫度梯度 足夠大,但不能過大,保證晶體生長中有 足夠散熱能力,帶走結(jié)晶潛熱。這說明生長界面的徑向溫度梯度 由等于 0變成 0,而且負值越來越小。 晶體生正過程中 變化情況 SLdTdr ???????SLdTdr ???????三、熱場的溫度梯度 ? 單晶硅最初等直徑生長時,生長界面的徑向溫度梯度是正數(shù),即 隨著單晶不斷生長,結(jié)晶界面由凸向熔體逐漸變平,生長界面的徑向 溫度梯度 逐漸等于 0。 0LdTdy???????LdTdy??????LdTdy??????LdTdy??????三、熱場的溫度梯度 ? 熱場的徑向溫度梯度,包括晶體 、熔體 、固液交界面 三種晶向溫度梯度。單晶硅生長不穩(wěn)定。即 ①溫度梯度 較大 時:離開液面越遠,溫度越高,即使有較小的溫度降低,生長界面以下熔體溫度高于結(jié)晶溫度,不會使局部生長較快,生長界面較平坦,晶體生正是穩(wěn)定的。 總之,晶體的縱向溫度梯度要足夠大,但不能過大。 ② 如果 較小 :晶體生長產(chǎn)生的結(jié)晶潛熱不能及時散掉,單晶硅溫 度增高,結(jié)晶界面溫度隨著增高,熔體表面的過冷度減少,單晶硅的 正常生長就會受到影響。 這是兩種完全不同的溫度分布,但是最能影響結(jié)晶狀 態(tài)的生長界面處的溫度梯度 。 溫度梯度也有兩種: 晶體中的縱向溫度梯度 和徑向溫度梯度 。 三、熱場的溫度梯度 dTdy 然后沿著軸線上某點沿著徑向測量,發(fā)現(xiàn)溫度是逐漸上升的, 加熱器中心溫度最低 ,加熱器溫度 最高 ,成拋物線變化,它的變化率稱為 徑向溫度梯度 ,用 表示。 dTdr1212TTTr r r?? ???三、熱場的溫度梯度 顯
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