單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)(參考版)
2025-01-03 07:09本頁(yè)面
【正文】 機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特色 謝 謝 ！ 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH 。 松開外端的 2只外六角螺釘 松開內(nèi)端的 2只內(nèi)六角螺釘 水平調(diào)整機(jī)構(gòu) 副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 氬氣分流系統(tǒng) 真空系統(tǒng) 冷卻水系統(tǒng) ?采用光學(xué)系統(tǒng)將晶體圖像分到 2個(gè)獨(dú)立 CCD完成引晶、等徑的單獨(dú)控制。 當(dāng)壓力抽到極限真空時(shí)，將翻板閥兩端的固定螺釘上緊。 打開真空泵，真空球閥，抽取主爐室真空。 確認(rèn) O型圈已經(jīng)裝好，把翻板閥關(guān)閉。 1把對(duì)中工具裝在坩堝軸上，調(diào)整坩堝在底下 3個(gè)調(diào)整墊鐵上的位置，使工具可以輕松進(jìn)入爐底板下法蘭 。 1在坩堝軸組件上重新裝上旋轉(zhuǎn)接頭夾緊圈并緊固。 1重新裝上旋轉(zhuǎn)皮帶并緊固坩堝旋轉(zhuǎn)電機(jī)齒輪箱組件，皮帶應(yīng)松緊適宜；檢查旋轉(zhuǎn)皮帶的對(duì)中性，如果有必要的話，就進(jìn)行調(diào)整。 1裝上坩堝軸波紋管。 1重新裝上把磁流體密封固定到提升架上的 4顆 M6內(nèi)六角螺釘。 從提升架上提起磁流體密封。 從爐底板的上方將坩堝軸從堝轉(zhuǎn)磁流體密封中抽出。 松開固定波紋管的螺釘，取下波紋管。 從坩堝軸組件上松開并取下旋轉(zhuǎn)接頭夾緊圈。 晶體提升機(jī)構(gòu)維護(hù)周期表 設(shè)備名稱 維修周期 步驟 籽晶鋼纜 每次運(yùn)行 檢查磨損、損壞情況 籽晶提升滑輪及卷絲輪 每個(gè)月 清潔并檢查對(duì)中性 晶轉(zhuǎn)和晶升皮帶 3個(gè)月 檢查磨損 /對(duì)中和張力 晶轉(zhuǎn)、晶升電機(jī)噪聲、刷磨損 3個(gè)月 檢查碳刷長(zhǎng)度 聯(lián)軸器緊定螺釘 3個(gè)月 檢查緊固性 晶升離合器組件的調(diào)整 3個(gè)月 檢查離合器間隙及動(dòng)作
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