單晶爐機械結構-展示頁
2025-01-07 07:09本頁面
【正文】 左端蓋 取出右端蓋 花鍵軸、纜索管 取出晶轉磁流體 10 拆下提升腔右端蓋的 4顆螺釘。 把提升腔垂直平穩(wěn)向上提起，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉磁流體密封的 O型圈和軸。 拆下把提升腔固定到晶升底板上的兩個螺釘。小心不要把聯(lián)軸器上的十字塊跌落。 將纜索管下降到如左圖所示位置之后，取下鋼絲繩。 工藝過程 加熱器 籽晶 CCD 坩堝提升旋轉機構 坩堝 ? 抽真空 ? 檢漏 ? 調(diào)壓 ? 熔料 ? 穩(wěn)定 ? 熔接 ? 引晶 ? 放肩 ? 轉肩 ? 等徑 ? 收尾 ? 停爐 ? 氧化 籽晶提升旋轉機構 單晶棒 液面測溫儀 熱場測溫儀 氬氣流量 熔 料 引 晶 放 肩 等 晶 收 尾 TDR85AZJS全自動 晶體生長爐 整體結構尺寸 爐體 電控柜 電源柜 總重 整體結構尺寸 接口尺寸 ? 籽晶提升機構經(jīng)過靜平衡和動平衡測試 ? 帶稱重傳感器 ? 快慢速雙電機 ? 外置限位調(diào)節(jié) ? 觀測玻璃窗 ? 光電編碼計行程 晶體提升機構 晶體提升機構結構（主視） 晶體提升機構結構（俯視） 晶體提升腔拆裝及調(diào)整 拔下稱重傳感器腔上的航空插頭。TDR85AZJS單晶爐的機械 結構與維修 背景 — 半導體生產(chǎn)流程 拉制單晶棒 （本產(chǎn)品研究環(huán)節(jié)） 石英砂－金屬硅 多晶 單晶硅棒 單晶硅片 集成電路 太陽能電池 太陽能電池應用 集成電路應用 設 備 簡 介 直拉式單晶硅生長爐是一種高效率制備硅單晶體的設備 。 將
教學課件相關推薦
鄂ICP備17016276號-1