單晶爐機(jī)械結(jié)構(gòu)-全文預(yù)覽
【正文】 TH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH 。 松開外端的 2只外六角螺釘 松開內(nèi)端的 2只內(nèi)六角螺釘 水平調(diào)整機(jī)構(gòu) 副室旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 氬氣分流系統(tǒng) 真空系統(tǒng) 冷卻水系統(tǒng) ?采用光學(xué)系統(tǒng)將晶體圖像分到 2個獨(dú)立 CCD完成引晶、等徑的單獨(dú)控制。 打開真空泵，真空球閥，抽取主爐室真空。 1把對中工具裝在坩堝軸上，調(diào)整坩堝在底下 3個調(diào)整墊鐵上的位置，使工具可以輕松進(jìn)入爐底板下法蘭 。 1重新裝上旋轉(zhuǎn)皮帶并緊固坩堝旋轉(zhuǎn)電機(jī)齒輪箱組件，皮帶應(yīng)松緊適宜；檢查旋轉(zhuǎn)皮帶的對中性，如果有必要的話，就進(jìn)行調(diào)整。 1重新裝上把磁流體密封固定到提升架上的 4顆 M6內(nèi)六角螺釘。 從爐底板的上方將坩堝軸從堝轉(zhuǎn)磁流體密封中抽出。 從坩堝軸組件上松開并取下旋轉(zhuǎn)接頭夾緊圈。 離合器斷電，用 塞尺檢查間隙是否有變化。 上緊三個壓緊塊，觀察對中針是否有偏差。 降下籽晶夾頭，使對中針幾乎觸及對中靶。 籽晶鋼纜的對中 安放對中靶在坩堝軸的托盤上，保證其位于托盤正中。 2裝回鋼絲繩，并重新檢查限位開關(guān)的設(shè)置。 左端蓋及銅螺母 對中針 纜索管的對中 晶體提升腔拆裝及調(diào)整 2提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破壞提升腔的內(nèi)孔以及晶轉(zhuǎn) 磁流體密封的 O型圈和軸。 2將花鍵軸、纜索管、右端蓋以及晶轉(zhuǎn)磁流體密封作為一個整體從提升腔右側(cè)送入，逆時針旋轉(zhuǎn)花鍵軸使得纜索管擰入銅螺母，將右端蓋完全壓入提升腔，上緊 4顆固定螺釘。 1重裝時，首先銅螺母裝回端蓋，裝回把銅螺母固定到蓋端上的 4顆螺釘。 9 松開壓力滾子組件固定到提升腔上的 4顆螺釘，拆下
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